SPC (статыстычны кантроль працэсаў) — гэта найважнейшы інструмент у працэсе вытворчасці пласцін, які выкарыстоўваецца для маніторынгу, кантролю і паляпшэння стабільнасці розных этапаў вытворчасці.
1. Агляд сістэмы SPC
SPC — гэта метад, які выкарыстоўвае статыстычныя метады для маніторынгу і кантролю вытворчых працэсаў. Яго асноўная функцыя заключаецца ў выяўленні анамалій у вытворчым працэсе шляхам збору і аналізу дадзеных у рэжыме рэальнага часу, што дапамагае інжынерам своечасова ўносіць карэктывы і прымаць рашэнні. Мэта SPC — паменшыць адрозненні ў вытворчым працэсе, гарантуючы стабільнасць якасці прадукцыі і яе адпаведнасць спецыфікацыям.
SPC выкарыстоўваецца ў працэсе травлення для:
Кантраляваць крытычныя параметры абсталявання (напрыклад, хуткасць травлення, магутнасць радыёчастот, ціск у камеры, тэмпературу і г.д.)
Аналіз ключавых паказчыкаў якасці прадукцыі (напрыклад, шырыня лініі, глыбіня травлення, шурпатасць краю і г.д.)
Кантралюючы гэтыя параметры, інжынеры могуць выяўляць тэндэнцыі, якія паказваюць на пагаршэнне прадукцыйнасці абсталявання або адхіленні ў вытворчым працэсе, тым самым зніжаючы ўзровень браку.
2. Асноўныя кампаненты сістэмы SPC
Сістэма SPC складаецца з некалькіх ключавых модуляў:
Модуль збору дадзеных: збірае дадзеныя ў рэжыме рэальнага часу з абсталявання і тэхналагічных працэсаў (напрыклад, праз сістэмы FDC, EES) і запісвае важныя параметры і вынікі вытворчасці.
Модуль кантрольных карт: выкарыстоўвае статыстычныя кантрольныя карты (напрыклад, X-Bar дыяграму, R-дыяграму, дыяграму Cp/Cpk) для візуалізацыі стабільнасці працэсу і вызначэння таго, ці знаходзіцца працэс пад кантролем.
Сістэма сігналізацыі: спрацоўвае, калі крытычныя параметры перавышаюць кантрольныя межы або паказваюць тэндэнцыі змены, што падштурхоўвае інжынераў да дзеянняў.
Модуль аналізу і справаздачнасці: аналізуе першапрычыну анамалій на аснове дыяграм SPC і рэгулярна генеруе справаздачы аб прадукцыйнасці працэсу і абсталявання.
3. Падрабязнае тлумачэнне кантрольных карт у SPC
Кантрольныя карты з'яўляюцца адным з найбольш распаўсюджаных інструментаў у SPC, якія дапамагаюць адрозніваць «нармальныя адхіленні» (выкліканыя натуральнымі варыяцыямі працэсу) ад «анамальных адхіленняў» (выкліканых адмовамі абсталявання або адхіленнямі працэсу). Звычайныя кантрольныя карты ўключаюць:
X-Bar і R-дыяграмы: выкарыстоўваюцца для маніторынгу сярэдняга значэння і дыяпазону ў вытворчых партыях, каб назіраць за стабільнасцю працэсу.
Індэксы Cp і Cpk: выкарыстоўваюцца для вымярэння прапускной здольнасці працэсу, г.зн. таго, ці можа вынік працэсу паслядоўна адпавядаць патрабаванням спецыфікацыі. Cp вымярае патэнцыйную прапускную здольнасць, а Cpk улічвае адхіленне цэнтра працэсу ад межаў спецыфікацыі.
Напрыклад, у працэсе травлення можна кантраляваць такія параметры, як хуткасць травлення і шурпатасць паверхні. Калі хуткасць травлення пэўнага абсталявання перавышае кантрольную мяжу, можна выкарыстоўваць кантрольныя карты, каб вызначыць, ці з'яўляецца гэта натуральным змяненнем, ці прыкметай няспраўнасці абсталявання.
4. Ужыванне SPC у абсталяванні для травлення
У працэсе травлення кантроль параметраў абсталявання мае вырашальнае значэнне, і SPC дапамагае палепшыць стабільнасць працэсу наступнымі спосабамі:
Маніторынг стану абсталявання: такія сістэмы, як FDC, збіраюць дадзеныя ў рэжыме рэальнага часу аб ключавых параметрах абсталявання для травлення (напрыклад, магутнасць радыёчастотных выпраменьванняў, расход газу) і аб'ядноўваюць гэтыя дадзеныя з кантрольнымі картамі SPC для выяўлення патэнцыйных праблем з абсталяваннем. Напрыклад, калі вы бачыце, што магутнасць радыёчастотных выпраменьванняў на кантрольнай карце паступова адхіляецца ад зададзенага значэння, вы можаце своечасова прыняць меры для карэкціроўкі або тэхнічнага абслугоўвання, каб пазбегнуць уплыву на якасць прадукцыі.
Маніторынг якасці прадукцыі: Вы таксама можаце ўвесці ключавыя параметры якасці прадукцыі (напрыклад, глыбіню травлення, шырыню лініі) у сістэму SPC для кантролю іх стабільнасці. Калі некаторыя крытычныя паказчыкі прадукцыі паступова адхіляюцца ад мэтавых значэнняў, сістэма SPC падасць сігнал трывогі, паказваючы, што неабходна карэктаваць працэс.
Прафілактычнае абслугоўванне (ПТ): ПТ можа дапамагчы аптымізаваць цыкл прафілактычнага абслугоўвання абсталявання. Аналізуючы доўгатэрміновыя дадзеныя аб прадукцыйнасці абсталявання і выніках працэсаў, вы можаце вызначыць аптымальны час для тэхнічнага абслугоўвання абсталявання. Напрыклад, кантралюючы магутнасць радыёчастотных рухавікоў і тэрмін службы стабілізатара хуткасці, вы можаце вызначыць, калі патрэбна чыстка або замена кампанентаў, што зніжае частату паломак абсталявання і прастоі вытворчасці.
5. Парады па штодзённым выкарыстанні сістэмы SPC
Пры штодзённым выкарыстанні сістэмы SPC можна выканаць наступныя дзеянні:
Вызначэнне ключавых параметраў кантролю (KPI): Вызначэнне найбольш важных параметраў у вытворчым працэсе і ўключэнне іх у маніторынг SPC. Гэтыя параметры павінны быць цесна звязаны з якасцю прадукцыі і прадукцыйнасцю абсталявання.
Устанавіць кантрольныя межы і межы сігналізацыі: на падставе гістарычных дадзеных і патрабаванняў працэсу ўстанавіць разумныя кантрольныя межы і межы сігналізацыі для кожнага параметра. Кантрольныя межы звычайна ўсталёўваюцца на ўзроўні ±3σ (стандартныя адхіленні), а межы сігналізацыі вызначаюцца ў залежнасці ад канкрэтных умоў працэсу і абсталявання.
Пастаянны маніторынг і аналіз: рэгулярна праглядайце кантрольныя карты SPC для аналізу тэндэнцый і адхіленняў дадзеных. Калі некаторыя параметры перавышаюць кантрольныя межы, неабходныя неадкладныя дзеянні, такія як карэкціроўка параметраў абсталявання або выкананне тэхнічнага абслугоўвання абсталявання.
Апрацоўка адхіленняў і аналіз першапрычын: пры ўзнікненні адхіленняў сістэма SPC запісвае падрабязную інфармацыю пра інцыдэнт. На падставе гэтай інфармацыі неабходна ліквідаваць непаладак і прааналізаваць першапрычыну адхіленняў. Часта можна аб'яднаць дадзеныя з сістэм FDC, сістэм EES і г.д., каб прааналізаваць, ці звязана праблема з няспраўнасцю абсталявання, адхіленнем ад працэсу або знешнімі фактарамі навакольнага асяроддзя.
Пастаяннае ўдасканаленне: выкарыстоўваючы гістарычныя дадзеныя, запісаныя сістэмай SPC, выяўляйце слабыя месцы ў працэсе і прапануйце планы па ўдасканаленні. Напрыклад, у працэсе травлення аналізуйце ўплыў тэрміну службы ESC і метадаў ачысткі на цыклы тэхнічнага абслугоўвання абсталявання і пастаянна аптымізуйце рабочыя параметры абсталявання.
6. Практычны прыклад прымянення
У якасці практычнага прыкладу выкажам здагадку, што вы адказваеце за абсталяванне для травлення E-MAX, і катод камеры заўчасна зношваецца, што прыводзіць да павелічэння значэнняў D0 (дэфект BARC). Кантралюючы магутнасць радыёчастот і хуткасць травлення праз сістэму SPC, вы заўважаеце тэндэнцыю, калі гэтыя параметры паступова адхіляюцца ад зададзеных значэнняў. Пасля спрацоўвання сігналізацыі SPC вы аб'ядноўваеце дадзеныя з сістэмы FDC і вызначаеце, што праблема выклікана нестабільным кантролем тэмпературы ўнутры камеры. Затым вы ўкараняеце новыя метады ачысткі і стратэгіі тэхнічнага абслугоўвання, у рэшце рэшт зніжаючы значэнне D0 з 4,3 да 2,4, тым самым паляпшаючы якасць прадукцыі.
7. У XINKEHUI вы можаце атрымаць.
У XINKEHUI вы можаце атрымаць ідэальную пласціну, няхай гэта будзе крэмніевая пласціна ці пласціна з карбіду крэмнію. Мы спецыялізуемся на пастаўцы высакаякасных пласцін для розных галін прамысловасці, засяроджваючыся на дакладнасці і прадукцыйнасці.
(крэмніевая пласціна)
Нашы крэмніевыя пласціны вырабляюцца з найвышэйшай чысцінёй і аднастайнасцю, што забяспечвае выдатныя электрычныя ўласцівасці для вашых патрэб у паўправадніковай прамысловасці.
Для больш патрабавальных ужыванняў нашы пласціны SiC забяспечваюць выключную цеплаправоднасць і больш высокую энергаэфектыўнасць, што ідэальна падыходзіць для сілавой электронікі і асяроддзяў з высокімі тэмпературамі.
(пласціна SiC)
З XINKEHUI вы атрымліваеце перадавыя тэхналогіі і надзейную падтрымку, што гарантуе пласціны, якія адпавядаюць самым высокім галіновым стандартам. Абярыце нас для атрымання ідэальных пласцін!
Час публікацыі: 16 кастрычніка 2024 г.