Глыбокае разуменне сістэмы SPC у вытворчасці вафель

1. Агляд сістэмы SPC

SPC - гэта метад, які выкарыстоўвае статыстычныя метады для маніторынгу і кантролю вытворчых працэсаў. Яго асноўная функцыя - выяўляць анамаліі ў вытворчым працэсе шляхам збору і аналізу дадзеных у рэжыме рэальнага часу, дапамагаючы інжынерам своечасова ўносіць карэктывы і прымаць рашэнні. Мэта SPC - паменшыць варыяцыі ў вытворчым працэсе, гарантуючы, што якасць прадукцыі застаецца стабільнай і адпавядае спецыфікацыям.

SPC выкарыстоўваецца ў працэсе тручэння для:

Кантралюйце важныя параметры абсталявання (напрыклад, хуткасць тручэння, радыёчастотную магутнасць, ціск у камеры, тэмпературу і г.д.)

Аналіз асноўных паказчыкаў якасці прадукцыі (напрыклад, шырыня лініі, глыбіня пратручвання, шурпатасць краю і г.д.)

Кантралюючы гэтыя параметры, інжынеры могуць выяўляць тэндэнцыі, якія сведчаць аб пагаршэнні прадукцыйнасці абсталявання або адхіленнях у вытворчым працэсе, тым самым зніжаючы ўзровень лому.

2. Асноўныя кампаненты сістэмы SPC

Сістэма SPC складаецца з некалькіх ключавых модуляў:

Модуль збору даных: збірае дадзеныя ў рэжыме рэальнага часу з абсталявання і працэсаў (напрыклад, праз сістэмы FDC, EES) і запісвае важныя параметры і вынікі вытворчасці.

Модуль кантрольнай дыяграмы: выкарыстоўвае статыстычныя кантрольныя дыяграмы (напрыклад, дыяграму X-Bar, R-дыяграму, Cp/Cpk-дыяграму), каб візуалізаваць стабільнасць працэсу і дапамагчы вызначыць, ці кантралюецца працэс.

Сістэма сігналізацыі: запускае сігналы трывогі, калі крытычныя параметры перавышаюць кантрольныя межы або паказваюць змены тэндэнцыі, што прымушае інжынераў прыняць меры.

Модуль аналізу і справаздачнасці: аналізуе асноўную прычыну анамалій на аснове дыяграм SPC і рэгулярна стварае справаздачы аб прадукцыйнасці працэсу і абсталявання.

3. Падрабязнае тлумачэнне кантрольных карт у SPC

Дыяграмы кантролю з'яўляюцца адным з найбольш часта выкарыстоўваных інструментаў у SPC, які дапамагае адрозніваць "нармальныя змены" (выкліканыя натуральнымі варыяцыямі працэсу) і "ненармальныя варыяцыі" (выкліканыя збоямі абсталявання або адхіленнямі працэсу). Агульныя кантрольныя карты ўключаюць:

Дыяграмы X-Bar і R: выкарыстоўваюцца для кантролю сярэдняга значэння і дыяпазону ў вытворчых партыях, каб назіраць, ці стабільны працэс.

Індэксы Cp і Cpk: Выкарыстоўваецца для вымярэння магчымасці працэсу, г. зн. таго, ці можа вынік працэсу пастаянна адпавядаць патрабаванням спецыфікацыі. Cp вымярае патэнцыйную здольнасць, у той час як Cpk ўлічвае адхіленне працэснага цэнтра ад межаў спецыфікацыі.

Напрыклад, у працэсе тручэння вы можаце кантраляваць такія параметры, як хуткасць тручэння і шурпатасць паверхні. Калі хуткасць тручэння пэўнай часткі абсталявання перавышае кантрольны ліміт, вы можаце выкарыстоўваць кантрольныя карты, каб вызначыць, ці з'яўляецца гэта натуральным змяненнем або прыкметай няспраўнасці абсталявання.

4. Прымяненне SPC у травільным абсталяванні

У працэсе тручэння кантроль параметраў абсталявання мае вырашальнае значэнне, і SPC дапамагае палепшыць стабільнасць працэсу наступнымі спосабамі:

Маніторынг стану абсталявання: такія сістэмы, як FDC, збіраюць у рэжыме рэальнага часу даныя аб ключавых параметрах абсталявання для тручэння (напрыклад, радыёчастотная магутнасць, паток газу) і аб'ядноўваюць гэтыя даныя з кантрольнымі картамі SPC для выяўлення магчымых праблем з абсталяваннем. Напрыклад, калі вы бачыце, што радыёчастотная магутнасць на кантрольнай графіцы паступова адхіляецца ад зададзенага значэння, вы можаце прыняць раннія меры для рэгулявання або абслугоўвання, каб пазбегнуць уплыву на якасць прадукту.

Маніторынг якасці прадукцыі: Вы таксама можаце ўвесці ключавыя параметры якасці прадукцыі (напрыклад, глыбіню тручэння, шырыню лініі) у сістэму SPC, каб кантраляваць іх стабільнасць. Калі некаторыя крытычныя паказчыкі прадукту паступова адхіляюцца ад мэтавых значэнняў, сістэма SPC выдасць сігнал трывогі, паказваючы, што неабходныя карэкціроўкі працэсу.

Прафілактычнае абслугоўванне (PM): SPC можа дапамагчы аптымізаваць цыкл прафілактычнага абслугоўвання абсталявання. Аналізуючы шматгадовыя дадзеныя аб прадукцыйнасці абсталявання і выніках працэсу, можна вызначыць аптымальны час для абслугоўвання абсталявання. Напрыклад, кантралюючы радыёчастотную магутнасць і працягласць службы ESC, вы можаце вызначыць, калі патрэбна чыстка або замена кампанентаў, зніжаючы ўзровень адмоваў абсталявання і час прастою вытворчасці.

5. Штодзённыя парады па выкарыстанні сістэмы SPC

Пры выкарыстанні сістэмы SPC у штодзённай працы можна выконваць наступныя дзеянні:

Вызначце ключавыя параметры кантролю (KPI): вызначце найбольш важныя параметры ў працэсе вытворчасці і ўключыце іх у маніторынг SPC. Гэтыя параметры павінны быць цесна звязаны з якасцю прадукцыі і прадукцыйнасцю абсталявання.

Усталюйце ліміты кантролю і ліміты сігналізацыі: на аснове гістарычных дадзеных і патрабаванняў працэсу ўсталюйце разумныя ліміты кантролю і ліміты сігналізацыі для кожнага параметра. Межы кантролю звычайна ўсталёўваюцца на ±3σ (стандартныя адхіленні), у той час як межы сігналізацыі заснаваны на канкрэтных умовах працэсу і абсталявання.

Пастаянны маніторынг і аналіз: рэгулярна праглядайце кантрольныя карты SPC для аналізу тэндэнцый і варыяцый дадзеных. Калі некаторыя параметры перавышаюць кантрольныя ліміты, неабходныя неадкладныя меры, такія як рэгуляванне параметраў абсталявання або правядзенне тэхнічнага абслугоўвання абсталявання.

Апрацоўка адхіленняў ад нормы і аналіз асноўных прычын: калі адбываецца адхіленне ад нормы, сістэма SPC запісвае падрабязную інфармацыю аб здарэнні. На аснове гэтай інфармацыі вам неабходна ліквідаваць непаладкі і прааналізаваць асноўную прычыну парушэння. Часта можна аб'яднаць даныя з сістэм FDC, сістэм EES і г. д., каб прааналізаваць, ці звязана праблема з няспраўнасцю абсталявання, адхіленнем ад працэсу або знешнімі фактарамі навакольнага асяроддзя.

Пастаяннае паляпшэнне: выкарыстоўваючы гістарычныя дадзеныя, запісаныя сістэмай SPC, вызначце слабыя месцы ў працэсе і прапануйце планы паляпшэння. Напрыклад, у працэсе тручэння аналізаваць уплыў тэрміну службы ESC і метадаў ачысткі на цыклы тэхнічнага абслугоўвання абсталявання і пастаянна аптымізаваць параметры працы абсталявання.

6. Практычны выпадак прымянення

У якасці практычнага прыкладу выкажам здагадку, што вы адказваеце за абсталяванне для тручэння E-MAX, а катод камеры адчувае заўчасны знос, што прыводзіць да павелічэння значэнняў D0 (дэфект BARC). Адсочваючы радыёчастотную магутнасць і хуткасць тручэння праз сістэму SPC, вы заўважаеце тэндэнцыю, калі гэтыя параметры паступова адхіляюцца ад зададзеных значэнняў. Пасля спрацоўвання сігналізацыі SPC вы аб'ядноўваеце даныя з сістэмы FDC і вызначаеце, што праблема выклікана нестабільным кантролем тэмпературы ўнутры камеры. Затым вы ўкараняеце новыя метады ачысткі і стратэгіі абслугоўвання, у выніку зніжаючы значэнне D0 з 4,3 да 2,4, тым самым паляпшаючы якасць прадукцыі.

7.У XINKEHUI вы можаце атрымаць.

У XINKEHUI вы можаце атрымаць ідэальную пласціну, няхай гэта будзе крэмніевая або карбідная. Мы спецыялізуемся на пастаўках высакаякасных пласцін для розных галін прамысловасці, удзяляючы ўвагу дакладнасці і прадукцыйнасці.