З бесперапынным развіццём паўправадніковых тэхналогій у паўправадніковай прамысловасці і нават у фотаэлектрычнай прамысловасці патрабаванні да якасці паверхні падкладкі пласціны або эпітаксійнага ліста таксама вельмі строгія. Такім чынам, якія патрабаванні да якасці вафель? Прымаючысапфіравая пласцінаВось, напрыклад, па якіх паказчыках можна ацаніць якасць паверхні пласцін?
Якія паказчыкі ацэнкі вафель?
Тры індыкатара
Для сапфіравых пласцін паказчыкамі ацэнкі з'яўляюцца сумарнае адхіленне таўшчыні (TTV), выгіб (Bow) і дэфармацыя (Warp). Гэтыя тры параметры разам адлюстроўваюць плоскасць і аднастайнасць таўшчыні крамянёвай пласціны і могуць вымяраць ступень пульсацыі пласціны. Для ацэнкі якасці паверхні пласціны гафрыраванне можна камбінаваць з плоскасцю.
Што такое TTV, BOW, Warp?
TTV (агульная варыяцыя таўшчыні)
TTV - гэта розніца паміж максімальнай і мінімальнай таўшчынёй пласціны. Гэты параметр з'яўляецца важным паказчыкам, які выкарыстоўваецца для вымярэння аднастайнасці таўшчыні пласцін. У паўправадніковым працэсе таўшчыня пласціны павінна быць вельмі аднастайнай па ўсёй паверхні. Вымярэнні звычайна праводзяцца ў пяці месцах на пласціне і вылічваецца розніца. У рэшце рэшт, гэта значэнне з'яўляецца важнай асновай для ацэнкі якасці пласцін.
Лук
Лук у вытворчасці паўправаднікоў адносіцца да выгібу пласціны, вызваляючы адлегласць паміж сярэдзінай незаціснутай пласціны і базавай плоскасцю. Верагодна, слова паходзіць ад апісання формы прадмета, калі ён сагнуты, напрыклад, выгнутай формы лука. Значэнне Bow вызначаецца шляхам вымярэння адхілення паміж цэнтрам і краем крамянёвай пласціны. Гэта значэнне звычайна выяўляецца ў мікраметрах (мкм).
Дэфармацыя
Дэфармацыя - гэта глабальная ўласцівасць пласцін, якая вымярае розніцу паміж максімальнай і мінімальнай адлегласцю паміж сярэдзінай свабодна незаціснутай пласціны і базавай плоскасцю. Уяўляе сабой адлегласць ад паверхні крамянёвай пласціны да плоскасці.
У чым розніца паміж TTV, Bow, Warp?
TTV засяроджваецца на зменах таўшчыні і не заклапочаны выгібам або скажэннем пласціны.
Бант акцэнтуе ўвагу на агульным выгібе, у асноўным улічваючы выгіб цэнтральнай кропкі і краю.
Дэфармацыя больш комплексная, уключаючы згінанне і скручванне ўсёй паверхні вафелі.
Хоць гэтыя тры параметры звязаны з формай і геаметрычнымі ўласцівасцямі крамянёвай пласціны, яны вымяраюцца і апісваюцца па-рознаму, і іх уплыў на паўправадніковы працэс і апрацоўку пласцін таксама адрозніваецца.
Чым менш тры параметры, тым лепш, і чым больш параметр, тым большы негатыўны ўплыў на паўправадніковы працэс. Такім чынам, як спецыяліст па вытворчасці паўправаднікоў, мы павінны ўсведамляць важнасць параметраў профілю пласцін для ўсяго тэхналагічнага працэсу, выконваць паўправадніковы працэс і звяртаць увагу на дэталі.
（цэнзура）
Час публікацыі: 24 чэрвеня 2024 г