З пастаянным развіццём паўправадніковых тэхналогій у паўправадніковай прамысловасці і нават у фотаэлектрычнай прамысловасці патрабаванні да якасці паверхні падложкі пласціны або эпітаксіяльнага ліста таксама вельмі строгія. Дык якія ж патрабаванні да якасці пласцін?сапфіравая пласцінаНапрыклад, якія паказчыкі можна выкарыстоўваць для ацэнкі якасці паверхні пласцін?
Якія паказчыкі ацэнкі пласцін?
Тры паказчыкі
Для сапфіравых пласцін паказчыкамі ацэнкі з'яўляюцца агульнае адхіленне таўшчыні (TTV), выгіб (Bow) і дэфармацыя (Warp). Гэтыя тры параметры разам адлюстроўваюць плоскасць і аднастайнасць таўшчыні крэмніевай пласціны і дазваляюць вымераць ступень яе рабізны. Гафрыранасць можна спалучаць з плоскасцю для ацэнкі якасці паверхні пласціны.
Што такое TTV, BOW, Warp?
TTV (Агульная варыяцыя таўшчыні)
ТТВ — гэта розніца паміж максімальнай і мінімальнай таўшчынёй пласціны. Гэты параметр з'яўляецца важным паказчыкам, які выкарыстоўваецца для вымярэння аднастайнасці таўшчыні пласціны. У паўправадніковым працэсе таўшчыня пласціны павінна быць вельмі аднастайнай па ўсёй паверхні. Вымярэнні звычайна праводзяцца ў пяці месцах на пласціне, і розніца вылічваецца. У канчатковым выніку, гэта значэнне з'яўляецца важнай асновай для ацэнкі якасці пласціны.
Лук
Выгіб у вытворчасці паўправаднікоў азначае выгіб пласціны, вызваляючы адлегласць паміж сярэдзінай незаціснутай пласціны і плоскасцю адліку. Слова, верагодна, паходзіць ад апісання формы аб'екта пры яго выгібе, напрыклад, выгнутай формы дугі. Значэнне выгібу вызначаецца шляхам вымярэння адхілення паміж цэнтрам і краем крэмніевай пласціны. Гэта значэнне звычайна выражаецца ў мікраметрах (мкм).
Дэфармацыя
Дэфармацыя — гэта глабальная ўласцівасць пласцін, якая вымярае розніцу паміж максімальнай і мінімальнай адлегласцю паміж сярэдзінай свабодна незаціснутай пласціны і плоскасцю адліку. Уяўляе сабой адлегласць ад паверхні крэмніевай пласціны да плоскасці.
У чым розніца паміж TTV, Bow і Warp?
TTV факусуецца на зменах таўшчыні і не тычыцца выгібу або дэфармацыі пласціны.
Лук факусуюць на агульным выгібе, галоўным чынам улічваючы выгіб цэнтральнай кропкі і краю.
Дэфармацыя больш комплексная, у тым ліку выгіб і скручванне ўсёй паверхні пласціны.
Нягледзячы на тое, што гэтыя тры параметры звязаны з формай і геаметрычнымі ўласцівасцямі крэмніевай пласціны, яны вымяраюцца і апісваюцца па-рознаму, і іх уплыў на працэс вырабу паўправаднікоў і апрацоўку пласцін таксама адрозніваецца.
Чым меншыя тры параметры, тым лепш, а чым большы параметр, тым большы негатыўны ўплыў на працэс вытворчасці паўправаднікоў. Таму, як спецыялісты па паўправадніковых прыладах, мы павінны ўсведамляць важнасць параметраў профілю пласціны для ўсяго працэсу вытворчасці паўправаднікоў і звяртаць увагу на дэталі.
(цэнзура)
Час публікацыі: 24 чэрвеня 2024 г.