Што азначаюць TTV, BOW, WARP і TIR у пласцінах?

Пры вывучэнні паўправадніковых крэмніевых пласцін або падложак з іншых матэрыялаў мы часта сутыкаемся з такімі тэхнічнымі індыкатарамі, як: TTV, BOW, WARP і, магчыма, TIR, STIR, LTV і іншымі. Якія параметры яны прадстаўляюць?

 

TTV — агульная варыяцыя таўшчыні
ЛУК — Лук
WARP — Дэфармацыя
TIR — Агульнае індыкаванае паказанне
STIR — Агульнае паказанае паказанне на сайце
LTV — лакальная варыяцыя таўшчыні

 

1. Агульная варыяцыя таўшчыні — TTV

da81be48e8b2863e21d68a6b25f09db7Розніца паміж максімальнай і мінімальнай таўшчынёй пласціны адносна плоскасці адліку, калі пласціна заціснута і знаходзіцца ў цесным кантакце. Звычайна яна выражаецца ў мікраметрах (мкм), часта падаецца як: ≤15 мкм.

 

2. Паклон — БОК

081e298fdd6abf4be6f882cfbb704f12

Адхіленне паміж мінімальнай і максімальнай адлегласцю ад цэнтральнай кропкі паверхні пласціны да плоскасці адліку, калі пласціна знаходзіцца ў свабодным (незаціснутым) стане. Гэта ўключае як увагнуты (адмоўны выгіб), так і выпуклы (станоўчы выгіб) выпадкі. Звычайна яно выражаецца ў мікраметрах (мкм), часта падаецца як: ≤40 мкм.

 

3. Дэфармацыя — WARP

e3c709bbb4ed2b11345e6a942df24fa4

Адхіленне паміж мінімальнай і максімальнай адлегласцю ад паверхні пласціны да плоскасці адліку (звычайна задняй паверхні пласціны), калі пласціна знаходзіцца ў свабодным (не заціснутым) стане. Гэта ўключае як увагнуты (адмоўная дэфармацыя), так і выпуклы (станоўчая дэфармацыя) выпадкі. Звычайна выражаецца ў мікраметрах (мкм), часта падаецца як: ≤30 мкм.

 

4. Агульнае індыкаванае паказанне — TIR

8923bc5c7306657c1df01ff3ccffe6b4

 

Калі пласціна заціснута і знаходзіцца ў цесным кантакце, выкарыстоўваючы плоскасць адліку, якая мінімізуе суму перасячэнняў усіх кропак у зоне якасці або зададзенай лакальнай вобласці на паверхні пласціны, TIR - гэта адхіленне паміж максімальнай і мінімальнай адлегласцямі ад паверхні пласціны да гэтай плоскасці адліку.

 

Кампанія XKH, заснаваная на глыбокім вопыце ў галіне спецыфікацый паўправадніковых матэрыялаў, такіх як TTV, BOW, WARP і TIR, прадастаўляе паслугі па дакладнай апрацоўцы пласцін на заказ, адаптаваныя да строгіх галіновых стандартаў. Мы пастаўляем і падтрымліваем шырокі спектр высокапрадукцыйных матэрыялаў, у тым ліку сапфір, карбід крэмнію (SiC), крэмніевыя пласціны, SOI і кварц, забяспечваючы выключную плоскасць, стабільнасць таўшчыні і якасць паверхні для перадавых ужыванняў у оптаэлектроніцы, сілавых прыладах і MEMS. Даверцеся нам, мы прапануем надзейныя рашэнні па матэрыялах і дакладную апрацоўку, якія адпавядаюць вашым самым патрабавальным патрабаванням да дызайну.

 

https://www.xkh-semitech.com/single-crystal-silicon-wafer-si-substrate-type-np-optional-silicon-carbide-wafer-product/

 


Час публікацыі: 29 жніўня 2025 г.