У чым розніца паміж токаправоднай падкладкай SiC і напаўізаляванай падкладкай?

Карбід крэмнію SiCпрылада адносіцца да прылады з карбіду крэмнію ў якасці сыравіны.

У адпаведнасці з рознымі ўласцівасцямі супраціву, ён дзеліцца на электраправодныя карбід крэмнію прылады харчавання іпаўізаляваны карбід крэмніярадыёчастотныя прылады.

Асноўныя формы прылады і прымяненне карбіду крэмнію

Асноўныя перавагі SiC надSi матэрыялыз'яўляюцца:

Шырыня забароненай зоны SiC у 3 разы большая, чым у Si, што можа паменшыць уцечку і павысіць устойлівасць да тэмпературы.

SiC мае ў 10 разоў большую напружанасць поля прабоя, чым Si, можа палепшыць шчыльнасць току, рабочую частату, здольнасць вытрымліваць напружанне і паменшыць страты пры ўключэнні-выключэнні, больш падыходзіць для прымянення высокага напружання.

SiC мае ў два разы большую хуткасць дрэйфу насычэння электронаў, чым Si, таму ён можа працаваць на больш высокай частаце.

SiC мае ў 3 разы большую цеплаправоднасць, чым Si, лепшае рассейванне цяпла, можа падтрымліваць высокую шчыльнасць магутнасці і зніжаць патрабаванні да рассейвання цяпла, што робіць прыладу лягчэйшай.

Токаправодная падкладка

Праводзячая падкладка: шляхам выдалення розных прымешак у крышталі, асабліва дробных прымешак, для дасягнення ўласнага высокага ўдзельнага супраціву крышталя.

а1

Праводныпадкладка з карбіду крэмніяSiC пласціна

Прылада электраправоднасці з карбіду крэмнію адбываецца праз рост эпітаксіяльнага пласта з карбіду крэмнію на токаправоднай падкладцы, эпітаксіяльны ліст з карбіду крэмнія падвяргаецца далейшай апрацоўцы, уключаючы вытворчасць дыёдаў Шоткі, MOSFET, IGBT і г.д., якія ў асноўным выкарыстоўваюцца ў электрамабілях, фотаэлектрычнай энергіі генерацыя, чыгуначны транзіт, цэнтр апрацоўкі дадзеных, зарадка і іншая інфраструктура. Перавагі прадукцыйнасці наступныя:

Палепшаныя характарыстыкі высокага ціску. Напружанасць электрычнага поля прабоя карбіду крэмнію больш чым у 10 разоў перавышае напружанасць крэмнію, што робіць устойлівасць прылад з карбіду крэмнія да высокага ціску значна вышэйшай, чым у эквівалентных крэмніевых прылад.

Лепшыя высокатэмпературныя характарыстыкі. Карбід крэмнію мае больш высокую цеплаправоднасць, чым крэмній, што палягчае рассейванне цяпла прылады і павышае лімітавую працоўную тэмпературу. Устойлівасць да высокіх тэмператур можа прывесці да значнага павелічэння шчыльнасці магутнасці, адначасова зніжаючы патрабаванні да сістэмы астуджэння, так што тэрмінал можа быць больш лёгкім і мініяцюрным.

Меншае спажыванне энергіі. ① Прылада з карбіду крэмнію мае вельмі нізкі супраціў уключэння і нізкія страты пры ўключэнні; (2) Ток уцечкі прылад з карбіду крэмнію значна зніжаны, чым у прылад з крэмнія, што зніжае страты магутнасці; ③ У працэсе выключэння прылад з карбіду крэмнію няма з'явы хваста току, а страты пры пераключэнні нізкія, што значна паляпшае частату пераключэнняў у практычных прымяненнях.

Напаўізаляваная падкладка SiC

Напаўізаляваная падкладка з карбіда карбіду: азотнае легіраванне выкарыстоўваецца для дакладнага кантролю ўдзельнага супраціўлення токаправодных прадуктаў шляхам каліброўкі адпаведнай залежнасці паміж канцэнтрацыяй легіравання азотам, хуткасцю росту і ўдзельным супраціўленнем крышталя.

а2
а3

Паўізаляцыйны матэрыял падкладкі высокай чысціні

Напаўізаляваныя радыёчастотныя прылады на аснове вугляроду крэмнія вырабляюцца шляхам вырошчвання эпітаксіяльнага пласта нітрыду галію на паўізаляванай падкладцы з карбіду крэмнію для падрыхтоўкі эпітаксіяльнага ліста з нітрыду крэмнія, у тым ліку HEMT і іншых радыёчастотных прылад на аснове нітрыду галію, якія ў асноўным выкарыстоўваюцца ў сувязі 5G, сувязі ў транспартных сродках, абаронныя прымянення, перадача даных, касм.

Хуткасць насычанага дрэйфу электронаў матэрыялаў з карбіду крэмнію і нітрыду галію ў 2,0 і 2,5 разы вышэй, чым у крэмнію адпаведна, таму працоўная частата прылад з карбіду крэмнія і нітрыду галію большая, чым у традыцыйных крамянёвых прылад. Тым не менш, матэрыял з нітрыду галію мае недахоп нізкай тэрмаўстойлівасці, у той час як карбід крэмнію мае добрую тэрмаўстойлівасць і цеплаправоднасць, што можа кампенсаваць дрэнную тэрмаўстойлівасць прылад з нітрыду галію, таму прамысловасць бярэ паўізаляваны карбід крэмнія ў якасці падкладкі , а эпітаксійны пласт ган вырошчваецца на падкладцы з карбіду крэмнія для вытворчасці радыёчастотных прылад.

Калі ёсць парушэнне, кантакт выдаліце


Час публікацыі: 16 ліпеня 2024 г