12-цалевая сапфіравая пласціна для масавай вытворчасці паўправаднікоў

Кароткае апісанне:

12-цалевая сапфіравая пласціна распрацавана для задавальнення расце попыту на вытворчасць паўправаднікоў і оптаэлектронікі вялікай плошчы з высокай прапускной здольнасцю. Па меры таго, як архітэктуры прылад працягваюць маштабавацца, а вытворчыя лініі пераходзяць да больш буйных фарматаў пласцін, сапфіравыя падложкі з ультравялікім дыяметрам прапануюць відавочныя перавагі ў прадукцыйнасці, аптымізацыі выхаду і кантролі выдаткаў.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Увядзенне 12-цалевай сапфіравай пласціны

Вырабленыя з высакаякаснага монакрышталічнага Al₂O₃, нашы 12-цалевыя сапфіравыя пласціны спалучаюць у сабе выдатную механічную трываласць, тэрмічную стабільнасць і якасць паверхні. Дзякуючы аптымізаванаму росту крышталяў і дакладнай апрацоўцы пласцін, гэтыя падложкі забяспечваюць надзейную прадукцыйнасць для перадавых прымяненняў у святлодыёдах, GaN і спецыяльных паўправадніковых прыладах.

Характарыстыкі матэрыялу

Сапфір (монакрышталічны аксід алюмінію, Al₂O₃) добра вядомы сваімі выдатнымі фізічнымі і хімічнымі ўласцівасцямі. 12-цалевыя сапфіравыя пласціны маюць усе перавагі сапфіравага матэрыялу, забяспечваючы пры гэтым значна большую карысную плошчу паверхні.

Асноўныя характарыстыкі матэрыялу ўключаюць:

Вельмі высокая цвёрдасць і зносаўстойлівасць
Выдатная тэрмічная стабільнасць і высокая тэмпература плаўлення
Высокая хімічная ўстойлівасць да кіслот і шчолачаў
Высокая аптычная празрыстасць ад ультрафіялетавага да інфрачырвонага дыяпазону
Выдатныя электраізаляцыйныя ўласцівасці

Дзякуючы гэтым характарыстыкам 12-цалевыя сапфіравыя пласціны падыходзяць для жорсткіх умоў апрацоўкі і высокатэмпературных працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.

Вытворчы працэс

Вытворчасць 12-цалевых сапфіравых пласцін патрабуе перадавых тэхналогій вырошчвання крышталяў і звышдакладнай апрацоўкі. Тыповы вытворчы працэс уключае ў сябе:

Рост монакрышталяў
Крышталі сапфіра высокай чысціні вырошчваюцца з выкарыстаннем перадавых метадаў, такіх як KY або іншыя тэхналогіі вырошчвання крышталяў вялікага дыяметра, што забяспечвае аднастайную арыентацыю крышталяў і нізкае ўнутранае напружанне.
Формаванне і разразанне крышталяў
Сапфіравы злітак дакладна фармуецца і разразаецца на 12-цалевыя пласціны з выкарыстаннем высокадакладнага рэжучага абсталявання, каб мінімізаваць пашкоджанне падпаверхні.
Шліфоўка і паліроўка
Для дасягнення выдатнай шурпатасці паверхні, роўнасці і аднастайнасці таўшчыні выкарыстоўваюцца шматэтапныя працэсы прыцірання і хіміка-механічнай паліроўкі (ХМП).
Ачыстка і праверка
Кожная 12-цалевая сапфіравая пласціна праходзіць дбайную ачыстку і строгую праверку, у тым ліку на якасць паверхні, TTV, аналіз выгібу, дэфармацыі і дэфектаў.

Прыкладанні

12-цалевыя сапфіравыя пласціны шырока выкарыстоўваюцца ў перадавых і новых тэхналогіях, у тым ліку:

Падкладкі для магутных і ярка-святлодыёдных лямпаў
Прылады сілкавання і радыёчастотныя прылады на аснове GaN
Носьбіт паўправадніковага абсталявання і ізаляцыйныя падкладкі
Аптычныя вокны і аптычныя кампаненты вялікай плошчы
Пашыраная ўпакоўка паўправаднікоў і спецыяльныя носьбіты працэсаў

Вялікі дыяметр забяспечвае больш высокую прапускную здольнасць і павышае эканамічную эфектыўнасць пры масавай вытворчасці.

Перавагі 12-цалевых сапфіравых пласцін

Большая карысная плошча для больш высокай прадукцыйнасці прылады на пласціну
Палепшаная паслядоўнасць і аднастайнасць працэсу
Зніжэнне кошту адной прылады пры вытворчасці вялікіх аб'ёмаў
Выдатная механічная трываласць для апрацоўкі буйных прадметаў
Наладжвальныя характарыстыкі для розных ужыванняў

Параметры налады

Мы прапануем гнуткія магчымасці налады 12-цалевых сапфіравых пласцін, у тым ліку:

Арыентацыя крышталя (плоскасць C, плоскасць A, плоскасць R і г.д.)
Дапушчальнае адхіленне таўшчыні і дыяметра
Аднабаковая або двухбаковая паліроўка
Профіль краю і дызайн фаскі
Патрабаванні да шурпатасці і роўнасці паверхні

Параметр	Спецыфікацыя	Заўвагі
Дыяметр пласціны	12 цаляў (300 мм)	Стандартная пласціна вялікага дыяметра
Матэрыял	Монакрыштальны сапфір (Al₂O₃)	Высокачысты, электронны/аптычны клас
Арыентацыя крышталяў	С-плоскасць (0001), А-плоскасць (11-20), R-плоскасць (1-102)	Даступныя дадатковыя арыентацыі
Таўшчыня	430–500 мкм	Нестандартная таўшчыня даступная па запыце
Дапушчальная таўшчыня	±10 мкм	Жорсткая талерантнасць для перадавых прылад
Агульная варыяцыя таўшчыні (TTV)	≤10 мкм	Забяспечвае раўнамерную апрацоўку па ўсёй пласціне
Лук	≤50 мкм	Вымяраецца па ўсёй пласціне
Дэфармацыя	≤50 мкм	Вымяраецца па ўсёй пласціне
Аздабленне паверхні	Аднабаковая паліроўка (SSP) / Двухбаковая паліроўка (DSP)	Высокая аптычная якасць паверхні
Шурпатасць паверхні (Ra)	≤0,5 нм (паліраваны)	Гладкасць на атамарным узроўні для эпітаксіяльнага росту
Профіль краю	Фаска / Закруглены край	Каб пазбегнуць сколаў падчас апрацоўкі
Дакладнасць арыентацыі	±0,5°	Забяспечвае належны рост эпітаксіяльнага пласта
Шчыльнасць дэфектаў	<10 см⁻²	Вымяраецца аптычным кантролем
Плоскасць	≤2 мкм / 100 мм	Забяспечвае раўнамерную літаграфію і эпітаксіяльны рост
Чысціня	Клас 100 – Клас 1000	Сумяшчальнасць з чыстымі памяшканнямі
Аптычная перадача	>85% (УФ-ІЧ)	Залежыць ад даўжыні хвалі і таўшчыні

Часта задаваныя пытанні па 12-цалевых сапфіравых пласцінах

Пытанне 1: Якая стандартная таўшчыня 12-цалевай сапфіравай пласціны?
A: Стандартная таўшчыня вагаецца ад 430 мкм да 500 мкм. Таксама магчыма вырабляць пліты нестандартнай таўшчыні ў адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка.

Пытанне 2: Якія арыентацыі крышталяў даступныя для 12-цалевых сапфіравых пласцін?
A: Мы прапануем арыентацыі ў плоскасці C (0001), плоскасці A (11-20) і плоскасці R (1-102). Іншыя арыентацыі можна наладзіць у залежнасці ад канкрэтных патрабаванняў прылады.

Пытанне 3: Якая агульная варыяцыя таўшчыні (TTV) пласціны?
A: Нашы 12-цалевыя сапфіравыя пласціны звычайна маюць TTV ≤10 мкм, што забяспечвае аднастайнасць па ўсёй паверхні пласціны для вырабу высакаякасных прылад.

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на распрацоўцы, вытворчасці і продажы высокатэхналагічных матэрыялаў спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.