Змест
1. Агляд і асноўныя функцыі FOUP
2. Структура і асаблівасці дызайну FOUP
3. Класіфікацыя і рэкамендацыі па ўжыванні FOUP
4. Аперацыі і значэнне FOUP у вытворчасці паўправаднікоў
5. Тэхнічныя праблемы і будучыя тэндэнцыі развіцця
6. Індывідуальныя рашэнні і падтрымка паслуг XKH
У працэсе вытворчасці паўправаднікоў кантэйнер з пярэднім адкрыццём (FOUP) з'яўляецца найважнейшым кантэйнерам, які выкарыстоўваецца для абароны, транспарціроўкі і захоўвання пласцін. У яго ўнутранай частцы можа змясціцца 25 пласцін памерам 300 мм, а яго асноўнымі кампанентамі з'яўляюцца кантэйнер з пярэднім адкрыццём і спецыяльная рама дзвярэй для адкрыцця і закрыцця. FOUP з'яўляецца асноўным кантэйнерам у аўтаматызаванай сістэме транспарціроўкі на заводах па вытворчасці 12-цалевых пласцін. Звычайна ён транспартуецца ў закрытым стане і адкрываецца толькі пры прасоўванні да порта загрузкі абсталявання, што дазваляе перамяшчаць пласціны ў порт загрузкі/разгрузкі абсталявання.
Канструкцыя FOUP адаптавана да патрабаванняў мікраасяроддзя. Ззаду ён мае прарэзы для ўстаўкі пласцін, а вечка спецыяльна распрацавана ў адпаведнасці з заціскам адкрывальніка. Робаты для апрацоўкі пласцін працуюць у асяроддзі чыстага паветра класа 1, што гарантуе, што пласціны не забруджваюцца падчас перадачы. Акрамя таго, FOUP перамяшчаецца паміж тэхналагічнымі інструментамі з дапамогай аўтаматызаванай сістэмы апрацоўкі матэрыялаў (AMHS). Сучасныя заводы па вытворчасці пласцін у асноўным выкарыстоўваюць паветраныя рэйкавыя сістэмы для транспарціроўкі, у той час як некаторыя старыя заводы могуць выкарыстоўваць наземныя аўтаматычныя кіраваныя транспартныя сродкі (AGV).
FOUP не толькі дазваляе аўтаматызаваць перадачу пласцін, але і выконвае функцыю захоўвання. З-за шматлікіх этапаў вытворчасці пласцін можа спатрэбіцца некалькі месяцаў, каб завяршыць увесь працэс. У спалучэнні з высокімі штомесячнымі аб'ёмамі вытворчасці гэта азначае, што дзясяткі тысяч пласцін на адной фабрыцы пастаянна знаходзяцца ў транспарце або часовым захоўванні ў любы момант часу. Падчас захоўвання FOUP перыядычна прадзімаюцца азотам, каб прадухіліць кантакт забруджванняў з пласцінамі, забяспечваючы чысты і надзейны вытворчы працэс.
1. Функцыі і значэнне FOUP
Асноўная функцыя FOUP — абараняць пласціны ад знешніх удараў і забруджвання, асабліва прадухіляючы ўплыў на выхад падчас перадачы. Ён эфектыўна прадухіляе трапленне вільгаці з дапамогай такіх метадаў, як прачыстка газам і кантроль лакальнай атмасферы (LAC), гарантуючы, што пласціны застаюцца ў бяспечным стане ў чаканні наступнага этапу вытворчасці. Яго герметычная і кантраляваная сістэма дазваляе трапляць толькі неабходным злучэнням і элементам, значна зніжаючы негатыўны ўплыў лятучых арганічных злучэнняў, кіслароду і вільгаці на пласціны.
Паколькі FOUP, цалкам загружаны 25 пласцінамі, можа важыць да 9 кілаграмаў, яго транспарціроўка павінна абапірацца на аўтаматызаваную сістэму апрацоўкі матэрыялаў (AMHS). Для палягчэння гэтага FOUP распрацаваны з рознымі камбінацыямі злучальных пласцін, штыфтоў і адтулін, а таксама абсталяваны электроннымі меткамі RFID для лёгкай ідэнтыфікацыі і класіфікацыі. Гэта аўтаматызаванае перамяшчэнне практычна не патрабуе ручнога кіравання, што значна зніжае ўзровень памылак і павышае бяспеку і дакладнасць вытворчага працэсу.
2. Структура і класіфікацыя FOUP
Тыповыя памеры FOUP складаюць прыблізна 420 мм у шырыню, 335 мм у глыбіню і 335 мм у вышыню. Яго асноўныя структурныя кампаненты ўключаюць: верхні OHT (грыбападобны блок) для транспарціроўкі пад'ёмнікам; пярэдняя дзверы для доступу да пласцін абсталявання; бакавыя ручкі, часта з каляровым кадаваннем для адрознення тэхналагічных зон з рознымі ўзроўнямі забруджвання; вобласць для картак для размяшчэння картак з паведамленнямі; і ніжняя RFID-метка, якая служыць унікальным ідэнтыфікатарам FOUP, што дазваляе інструментам і пад'ёмнікам распазнаваць яго. Аснова таксама абсталявана чатырма ідэнтыфікацыйнымі і пазіцыянавальнымі адтулінамі для супастаўлення з інструментамі і адрознення тэхналагічных зон.
У залежнасці ад выкарыстання, FOUP класіфікуюцца на тры тыпы: PRD (для вытворчасці), ENG (для інжынерных пласцін) і MON (для маніторных пласцін). FOUP PRD могуць выкарыстоўвацца для вытворчасці прадуктаў, тыпы ENG падыходзяць для даследаванняў і распрацовак або эксперыментаў, а тыпы MON прызначаны для маніторынгу працэсаў, такіх як CMP і DIFF. Важна адзначыць, што FOUP PRD могуць выкарыстоўвацца як для ENG, так і для MON, прычым тыпы ENG могуць выкарыстоўвацца для MON, але зваротная аперацыя стварае рызыкі для якасці.
Па ўзроўні забруджвання FOUP можна падзяліць на FE FOUP (працэс пачатковай апрацоўкі, без металу), BE FOUP (працэс задняй апрацоўкі, утрымлівае метал) і тыя, што спецыялізуюцца на канкрэтных працэсах апрацоўкі металаў, такія як NI FOUP, CU FOUP і CO FOUP. FOUP для розных працэсаў звычайна адрозніваюцца колерам бакавых ручак або дзвярных панэляў. FOUP з працэсаў пачатковай апрацоўкі можна выкарыстоўваць у працэсах задняй апрацоўкі, але FOUP з задняй часткі ніколі нельга выкарыстоўваць у працэсах пачатковай апрацоўкі, бо гэта можа прывесці да рызыкі забруджвання.
Як ключавы перавозчык у вытворчасці паўправаднікоў, FOUP, дзякуючы высокай аўтаматызацыі і строгаму кантролю забруджвання, забяспечвае бяспеку і чысціню пласцін падчас вытворчага працэсу, што робіць яго незаменнай інфраструктурай у сучасных фабрыках пласцін.
Выснова
Кампанія XKH імкнецца прадастаўляць кліентам высокаіндывідуальныя рашэнні для франтальных адкрываючыхся ўніфікаваных падаў (FOUP), строга выконваючы вашыя канкрэтныя патрабаванні да працэсу і спецыфікацыі інтэрфейсу абсталявання. Выкарыстоўваючы перадавыя тэхналогіі матэрыялаў і дакладныя вытворчыя працэсы, мы гарантуем, што кожны прадукт FOUP забяспечвае выключную герметычнасць, чысціню і механічную стабільнасць. Наша тэхнічная каманда валодае глыбокімі галіновымі ведамі, прапаноўваючы комплексную падтрымку на працягу жыццёвага цыклу — ад кансультацый па выбары і структурнай аптымізацыі да ачысткі і тэхнічнага абслугоўвання — забяспечваючы бесперабойную інтэграцыю і эфектыўнае супрацоўніцтва паміж FOUP і вашай аўтаматызаванай сістэмай апрацоўкі матэрыялаў (AMHS), а таксама тэхналагічным абсталяваннем. Мы паслядоўна надаем прыярытэт бяспецы пласцін і павышэнню выхаду прадукцыі як нашым асноўным мэтам. Дзякуючы інавацыйным прадуктам і ўсебаковым тэхнічным паслугам мы забяспечваем надзейную гарантыю для вашых працэсаў вытворчасці паўправаднікоў, у канчатковым выніку павышаючы эфектыўнасць вытворчасці і выхад прадукцыі.
Час публікацыі: 8 верасня 2025 г.