Як можна зрабіць пласціну «ультратонкай»?

Як можна зрабіць пласціну «ультратонкай»?
Што такое ультратонкая пласціна?

Тыповыя дыяпазоны таўшчыні (прыклады — пласціны 8″/12″)

• Стандартная вафля:600–775 мкм

• Тонкая вафля:150–200 мкм

• Ультратонкая пласціна:ніжэй за 100 мкм

• Вельмі тонкая пласціна:50 мкм, 30 мкм ці нават 10–20 мкм

Чаму вафлі становяцца танчэйшымі?

• Паменшыце агульную таўшчыню корпуса, скараціце даўжыню TSV і паменшыце затрымку RC

• Зніжэнне супраціўлення ўключэння і паляпшэнне цеплааддачы

• Адпавядаць патрабаванням да канчатковага прадукту для ультратонкіх форм-фактараў

Асноўныя рызыкі ультратонкіх пласцін

1. Механічная трываласць рэзка падае

2. Моцная дэфармацыя

3. Складаная апрацоўка і транспарціроўка

4. Структуры пярэдняга боку вельмі ўразлівыя; пласціны схільныя да расколін/паломак

Як можна зрабіць пласціну ультратонкай?

1. DBG (нарэзка кубікамі перад драбненнем)
   Часткова нарэжце пласціну кубікамі (не разразаючы наскрозь), каб кожны крышталь быў загадзя вызначаны, а пласціна заставалася механічна злучанай з адваротнага боку. Затым шліфуйце пласціну з адваротнага боку, каб паменшыць таўшчыню, паступова выдаляючы пакінуты неразрэзаны крэмній. Нарэшце, апошні тонкі пласт крэмнію шліфуецца, завяршаючы асобнае разразанне.

2. Працэс тайко
   Зрабіце танчэйшымі толькі цэнтральную частку пласціны, захаваўшы пры гэтым тоўстую краёвую зону. Больш тоўсты край забяспечвае механічную падтрымку, дапамагаючы знізіць рызыку дэфармацыі і небяспекі пры эксплуатацыі.

3. Часовае злучэнне пласцін
   Часовае злучэнне мацуе пласціну дачасовы перавозчык, ператвараючы надзвычай далікатную плёнкападобную пласціну ў трывалы, зручны для апрацоўкі блок. Носьбіт падтрымлівае пласціну, абараняе пярэднія структуры і змякчае цеплавое напружанне, што дазваляе зрабіць яе больш тонкай дадзесяткі мікронаўпры гэтым дазваляючы выкарыстоўваць агрэсіўныя працэсы, такія як фарміраванне TSV, гальванізацыя і злучэнне. Гэта адна з найважнейшых тэхналогій для сучаснай трохмернай упакоўкі.