Керамічны патрон з карбіду крэмнію для пласцін з карбіду крэмнію, сапфіру і крэмнію GAA

Керамічны патрон з карбіду крэмнію для пласціны з карбіду крэмнію, сапфіру і крэмнію, GAAs. Выява.

Кароткае апісанне:

Керамічны патрон з карбіду крэмнію — гэта высокапрадукцыйная платформа, распрацаваная для кантролю паўправаднікоў, вырабу пласцін і злучэння. Выраблены з перадавых керамічных матэрыялаў, у тым ліку спечанага карбіду крэмнію (SSiC), рэакцыйна звязанага карбіду крэмнію (RSiC), нітрыду крэмнію і нітрыду алюмінію, ён забяспечвае высокую калянасць, нізкае цеплавое пашырэнне, выдатную зносаўстойлівасць і працяглы тэрмін службы.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Агляд керамічнага патрона з карбіду крэмнію (SiC)

ГэтыКерамічны патрон з карбіду крэмнію— гэта высокапрадукцыйная платформа, распрацаваная для кантролю паўправаднікоў, вырабу пласцін і іх злучэння. Выраблена з перадавых керамічных матэрыялаў, у тым лікуспечаны карбід крэмнію (SSiC), рэакцыйна звязаны SiC (RSiC), нітрыд крэмніюінітрыд алюмінію— прапануевысокая калянасць, нізкае цеплавое пашырэнне, выдатная зносаўстойлівасць і працяглы тэрмін службы.

Дзякуючы дакладнай інжынерыі і найноўшай паліроўцы, патрон забяспечваесубмікронная плоскасць, паверхні люстраной якасці і доўгатэрміновая стабільнасць памераў, што робіць яго ідэальным рашэннем для крытычна важных паўправадніковых працэсаў.

Асноўныя перавагі

Высокая дакладнасць
кантраляваная плоскасць знутры0,3–0,5 мкм, што забяспечвае стабільнасць пласцін і паслядоўную дакладнасць працэсу.
Паліроўка люстэрка
ДасягаеRa 0,02 мкмшурпатасць паверхні, мінімізацыя драпін і забруджвання пласцін — ідэальна падыходзіць для ультрачыстых умоў.
Ультралёгкі
Трывалейшыя, але лягчэйшыя за кварцавыя або металічныя падкладкі, што паляпшае кантроль руху, хуткасць рэагавання і дакладнасць пазіцыянавання.
Высокая калянасць
Выключны модуль Юнга забяспечвае стабільнасць памераў пры вялікіх нагрузках і працы на высокай хуткасці.
Нізкае цеплавое пашырэнне
КТР дакладна адпавядае крэмніевым пласцінам, што зніжае цеплавое напружанне і павышае надзейнасць працэсу.
Выдатная зносаўстойлівасць
Надзвычайная цвёрдасць захоўвае роўнасць і дакладнасць нават пры працяглым выкарыстанні з высокай частатой.

Вытворчы працэс

Падрыхтоўка сыравіны
Высокачыстыя парашкі SiC з кантраляваным памерам часціц і звышнізкім утрыманнем прымешак.
Фармаванне і спяканне
Такія метады, якспяканне без ціску (SSiC) or рэакцыйнае злучэнне (RSiC)ствараюць шчыльныя, аднастайныя керамічныя падкладкі.
Дакладная апрацоўка
Шліфаванне на станках з ЧПУ, лазерная абрэзка і звышдакладная апрацоўка дасягаюць дапушчальнай адхілкі ±0,01 мм і паралельнасці ≤3 мкм.
Апрацоўка паверхні
Шматступенчатая шліфоўка і паліроўка да Ra 0,02 мкм; даступныя дадатковыя пакрыцці для ўстойлівасці да карозіі або для індывідуальных уласцівасцей трэння.
Інспекцыя і кантроль якасці
Інтэрферометры і вымяральнікі шурпатасці правяраюць адпаведнасць спецыфікацыям паўправадніковага класа.

Тэхнічныя характарыстыкі

Параметр	Значэнне	Адзінка
Плоскасць	≤0,5	мкм
Памеры вафель	6'', 8'', 12'' (даступныя на заказ)	—
Тып паверхні	Тып штыфта / тып кольца	—
Вышыня шпількі	0,05–0,2	mm
Мін. дыяметр штыфта	ϕ0,2	mm
Мінімальная адлегласць паміж штыфтамі	3	mm
Мінімальная шырыня ўшчыльняльнага кольца	0,7	mm
Шурпатасць паверхні	Ra 0,02	мкм
Дапушчальная таўшчыня	±0,01	mm
Дапушчальнае дыяметра	±0,01	mm
Дапушчальная паралельнасць	≤3	мкм

Асноўныя сферы прымянення

Абсталяванне для праверкі паўправадніковых пласцін
Сістэмы вырабу і пераносу пласцін
Інструменты для склейвання і ўпакоўкі вафель
Вытворчасць перадавых оптаэлектронных прылад
Дакладныя прыборы, якія патрабуюць ультраплоскіх і ультрачыстых паверхняў

Пытанні і адказы – керамічны патрон з карбіду крэмнію

Пытанне 1: Як керамічныя патроны з карбіду крэмнію параўноўваюцца з кварцавымі або металічнымі патронамі?
A1: Патроны з карбіду крэмнію лягчэйшыя, больш жорсткія і маюць КТР, блізкі да крэмніевых пласцін, што мінімізуе цеплавую дэфармацыю. Яны таксама забяспечваюць найвышэйшую зносаўстойлівасць і больш працяглы тэрмін службы.

Пытанне 2: Якой роўнасці можна дасягнуць?
A2: Кантралюецца ўнутры0,3–0,5 мкм, што адпавядае строгім патрабаванням вытворчасці паўправаднікоў.

Пытанне 3: Ці будзе паверхня падрапаць пласціны?
A3: Не — адпаліравана да люстранога бляскуRa 0,02 мкм, што забяспечвае апрацоўку без драпін і памяншае ўтварэнне часціц.

Пытанне 4: Якія памеры пласцін падтрымліваюцца?
A4: Стандартныя памеры6 цаляў, 8 цаляў і 12 цаляў, з магчымасцю налады.

Пытанне 5: Як ацэньваецца цеплавое супраціўленне?
A5: Кераміка SiC забяспечвае выдатныя характарыстыкі пры высокіх тэмпературах з мінімальнай дэфармацыяй пры тэрмічным цыклічным уздзеянні.

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на распрацоўцы, вытворчасці і продажы высокатэхналагічных матэрыялаў спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.