12-цалевая падкладка з сапфіравай пласціны дыяметрам 300x1,0 мм, C-плоскасць SSP/DSP
Сітуацыя на рынку 12-цалёвага сапфіравага субстрата
У цяперашні час сапфір мае два асноўныя сферы прымянення: адно - матэрыял падкладкі, які ў асноўным з'яўляецца матэрыялам падкладкі для святлодыёдаў, другое - цыферблат гадзіннікаў, авіяцыя, аэракасмічная прамысловасць, спецыяльны выраб аконных матэрыялаў.
Нягледзячы на тое, што ў якасці падкладак для святлодыёдаў, акрамя сапфіру, таксама даступныя карбід крэмнію, крэмній і нітрыд галію, масавая вытворчасць усё яшчэ немагчымая з-за кошту і некаторых нявырашаных тэхнічных праблем. Дзякуючы тэхнічнаму развіццю ў апошнія гады сапфіравая падкладка значна палепшыла сваю адпаведнасць рашотцы, электраправоднасць, механічныя ўласцівасці, цеплаправоднасць і іншыя ўласцівасці, што значна палепшыла яе эканамічную эфектыўнасць, таму сапфір стаў найбольш сталым і стабільным матэрыялам для падкладак у святлодыёднай прамысловасці і шырока выкарыстоўваецца на рынку, а яго доля дасягае 90%.
Характарыстыка 12-цалевай падкладкі сапфіравай пласціны
1. Паверхні сапфіравай падкладкі маюць надзвычай нізкую колькасць часціц: менш за 50 часціц памерам 0,3 мікрона або больш на 2 цалі ў дыяпазоне памераў ад 2 да 8 цаляў, а асноўныя металы (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) — ніжэй за 2E10/см2. Чакаецца, што асноўны матэрыял таўшчынёй 12 цаляў таксама дасягне гэтага класа.
2. Можа выкарыстоўвацца ў якасці апорнай пласціны для вытворчага працэсу 12-цалевых паўправаднікоў (транспартныя паддоны ўнутры прылады) і ў якасці падкладкі для злучэння.
3. Можна кантраляваць форму ўвагнутай і выпуклай паверхні.
Матэрыял: монакрышталь Al2O3 высокай чысціні, сапфіравая пласціна.
Якасць святлодыёдаў, без бурбалак, расколін, двайнікоў, лініі паходжання, без колеру і г.д.
12-цалевыя сапфіравыя пласціны
Арыентацыя | С-плоскасць<0001> +/- 1 град. |
Дыяметр | 300,0 +/-0,25 мм |
Таўшчыня | 1,0 +/-25 мкм |
Выемка | Выемка або плоская |
ТТВ | <50 мкм |
ЛУК | <50 мкм |
Краі | Ахоўная фаска |
Пярэдняя частка – паліраваная 80/50 | |
Лазерная маркіроўка | Няма |
Упакоўка | Аднакампанентная скрынка для пераноскі пласцін |
Пярэдняя частка паліраваная да гатоўнасці да эпідэмічнай апрацоўкі (Ra <0,3 нм) | |
Адваротны бок паліраваны Epi Ready (Ra <0,3 нм) |
Падрабязная дыяграма

