12-цалевая цалкам аўтаматычная піла для дакладнай нарэзкі кубікамі, спецыяльная сістэма рэзкі вафельных пласцін Si/SiC і HBM (Al)

12-цалевая цалкам аўтаматычная піла для дакладнай нарэзкі кубікамі, спецыялізаваная сістэма рэзкі Si/SiC і HBM (Al), выява

Кароткае апісанне:

Цалкам аўтаматычнае абсталяванне для дакладнай нарэзкі кубікамі — гэта высокадакладная сістэма рэзкі, спецыяльна распрацаваная для паўправадніковай і электронных кампанентаў. Яна ўключае ў сябе перадавую тэхналогію кіравання рухам і інтэлектуальнае візуальнае пазіцыянаванне для дасягнення дакладнасці апрацоўкі на ўзроўні мікрон. Гэта абсталяванне падыходзіць для дакладнай нарэзкі кубікамі розных цвёрдых і далікатных матэрыялаў, у тым ліку:
1. Паўправадніковыя матэрыялы: крэмній (Si), карбід крэмнію (SiC), арсенід галію (GaAs), падкладкі з танталата літыя/ніабата літыя (LT/LN) і г.д.
2. Матэрыялы для ўпакоўкі: керамічныя падкладкі, рамы QFN/DFN, падкладкі для ўпакоўкі BGA.
3. Функцыянальныя прылады: фільтры павярхоўных акустычных хваль (ПАХ), тэрмаэлектрычныя модулі астуджэння, пласціны WLCSP.

XKH прадастаўляе паслугі па тэсціраванні на сумяшчальнасць матэрыялаў і наладжванні працэсаў, каб гарантаваць, што абсталяванне ідэальна адпавядае вытворчым патрэбам кліентаў, прапаноўваючы аптымальныя рашэнні як для ўзораў даследаванняў і распрацовак, так і для пакетнай апрацоўкі.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Тэхнічныя параметры

Параметр	Спецыфікацыя
Рабочы памер	Φ8", Φ12"
Верацень	Двухвосевы 1.2/1.8/2.4/3.0, макс. 60000 аб/мін
Памер ляза	2" ~ 3"
Вось Y1 / Y2	Аднакрокавы крок: 0,0001 мм
	Дакладнасць пазіцыянавання: < 0,002 мм
	Дыяпазон рэзкі: 310 мм
Вось X	Дыяпазон хуткасці падачы: 0,1–600 мм/с
Вось Z1 / Z2	Аднакрокавы крок: 0,0001 мм
Вось Z1 / Z2	Дакладнасць пазіцыянавання: ≤ 0,001 мм
Вось θ	Дакладнасць пазіцыянавання: ±15"
Станцыя ачысткі	Хуткасць кручэння: 100–3000 аб/мін
Станцыя ачысткі	Спосаб ачысткі: аўтаматычнае паласканне і адцісканне
Працоўнае напружанне	3-фазны 380 В 50 Гц
Памеры (Ш×Г×В)	1550×1255×1880 мм
Вага	2100 кг

Прынцып працы

Абсталяванне дасягае высокай дакладнасці рэзкі з дапамогай наступных тэхналогій:
1. Высокатрывалая сістэма шпіндзеля: хуткасць кручэння да 60 000 абаротаў у хвіліну, абсталявана алмазнымі дыскамі або лазернымі рэжучымі галоўкамі для адаптацыі да розных уласцівасцей матэрыялу.

2. Кіраванне рухам па некалькіх восях: дакладнасць пазіцыянавання па восях X/Y/Z складае ±1 мкм у спалучэнні з высокадакладнымі рашоткавымі шкаламі для забеспячэння траекторый рэзання без адхіленняў.

3. Інтэлектуальнае візуальнае выраўноўванне: ПЗС-матрыца высокага разрознення (5 мегапікселяў) аўтаматычна распазнае вуліцы рэзу і кампенсуе дэфармацыю матэрыялу або няправільнае выраўноўванне.

4. Астуджэнне і выдаленне пылу: Інтэграваная сістэма астуджэння чыстай вадой і вакуумнае выдаленне пылу для мінімізацыі цеплавога ўздзеяння і забруджвання часціцамі.

Рэжымы рэзкі

1. Нарэзка лязом: падыходзіць для традыцыйных паўправадніковых матэрыялаў, такіх як Si і GaAs, з шырынёй прапілу 50–100 мкм.

2. Лазерная нарэзка Stealth: выкарыстоўваецца для ультратонкіх пласцін (<100 мкм) або далікатных матэрыялаў (напрыклад, LT/LN), што дазваляе падзяляць без напружання.

Тыповыя прымянення

Сумяшчальны матэрыял	Сфера прымянення	Патрабаванні да апрацоўкі
Крэмній (Si)	ІС, МЭМС-датчыкі	Высокадакладная рэзка, сколы <10 мкм
Карбід крэмнію (SiC)	Прылады харчавання (MOSFET/дыёды)	Рэзка з мінімальным пашкоджаннем, аптымізацыя тэрмічнага рэжыму
Арсенід галію (GaAs)	радыёчастотныя прылады, оптаэлектронныя мікрасхемы	Прадухіленне мікратрэшчынаў, кантроль чысціні
LT/LN субстраты	Фільтры SAW, аптычныя мадулятары	Рэзка без напружання, захаванне п'езаэлектрычных уласцівасцей
Керамічныя падкладкі	Модулі харчавання, корпус святлодыёдаў	Апрацоўка матэрыялаў высокай цвёрдасці, роўнасць краёў
Рамкі QFN/DFN	Пашыраная ўпакоўка	Адначасовая шматстружкавая рэзка, аптымізацыя эфектыўнасці
Вафлі WLCSP	Упакоўка на ўзроўні вафлі	Нарэзка ультратонкіх пласцін (50 мкм) без пашкоджанняў

Перавагі

1. Высокахуткаснае сканаванне кадраў касеты з сігналізацыяй прадухілення сутыкненняў, хуткім пазіцыянаваннем пры перамяшчэнні і высокай магчымасцю карэкцыі памылак.

2. Аптымізаваны рэжым рэзання з двума шпіндзелямі, які павышае эфектыўнасць прыблізна на 80% у параўнанні з аднашпіндзельнымі сістэмамі.

3. Імпартныя шарыкавыя шрубы высокай дакладнасці, лінейныя накіроўвалыя і замкнёнае кіраванне шкалой рашоткі па восі Y забяспечваюць доўгатэрміновую стабільнасць высокадакладнай апрацоўкі.

4. Цалкам аўтаматызаваная загрузка/разгрузка, перамяшчэнне пазіцыянавання, выраўноўванне рэзкі і праверка прапіла, што значна зніжае нагрузку на аператара.

5. Канструкцыя мацавання шпіндзеля ў партальным стылі з мінімальнай адлегласцю паміж падвойнымі лязамі 24 мм, што забяспечвае больш шырокую адаптацыю для працэсаў рэзкі з падвойным шпіндзелем.

Асаблівасці

1. Высокадакладнае бескантактавае вымярэнне вышыні.

2. Рэзка некалькіх пласцін з двума лязамі на адным латку.

3. Аўтаматычная каліброўка, праверка прапілу і сістэмы выяўлення паломкі ляза.

4. Падтрымлівае розныя працэсы з дапамогай выбіраемых алгарытмаў аўтаматычнага выраўноўвання.

5. Функцыя самакарэкцыі няспраўнасцей і маніторынг некалькіх пазіцый у рэжыме рэальнага часу.

6. Магчымасць праверкі першага разрэзу пасля пачатковай нарэзкі кубікамі.

7. Наладжвальныя модулі аўтаматызацыі вытворчасці і іншыя дадатковыя функцыі.

Сумяшчальныя матэрыялы

Паслугі па абслугоўванні абсталявання

Мы прапануем комплексную падтрымку ад выбару абсталявання да доўгатэрміновага абслугоўвання:

(1) Распрацоўка на заказ
· Рэкамендаваць рашэнні для рэзкі лязом/лазерам на аснове ўласцівасцей матэрыялу (напрыклад, цвёрдасць SiC, далікатнасць GaAs).

· Прапануем бясплатнае тэставанне ўзораў для праверкі якасці рэзкі (у тым ліку сколаў, шырыні прапіла, шурпатасці паверхні і г.д.).

(2) Тэхнічная падрыхтоўка
· Базавая падрыхтоўка: эксплуатацыя абсталявання, налада параметраў, рэгулярнае тэхнічнае абслугоўванне.
· Пашыраныя курсы: аптымізацыя працэсаў для складаных матэрыялаў (напрыклад, рэзка LT-падкладак без напружання).

(3) Пасляпродажнае абслугоўванне
· Кругласутачная дапамога: дыстанцыйная дыягностыка або дапамога на месцы.
· Пастаўка запасных частак: шпіндзелі, ляза і аптычныя кампаненты ў наяўнасці для хуткай замены.
· Прафілактычнае абслугоўванне: рэгулярная каліброўка для падтрымання дакладнасці і падаўжэння тэрміну службы.

Нашы перавагі

✔ Вопыт працы ў галіны: абслугоўванне больш за 300 сусветных вытворцаў паўправаднікоў і электронікі.
✔ Перадавыя тэхналогіі: дакладныя лінейныя накіроўвалыя і сервасістэмы забяспечваюць найлепшую ў галіны стабільнасць.
✔ Глабальная сетка абслугоўвання: пакрыццё ў Азіі, Еўропе і Паўночнай Амерыцы для лакалізаванай падтрымкі.
Для тэставання або запытаў звяжыцеся з намі!