4-цалевыя пласціны SiC, паўізаляцыйныя падложкі SiC 6H для першаснага, даследчых і тэставых канструкцый

4-цалевыя пласціны з карбіду крэмнію 6H Паўізаляцыйныя падложкі з карбіду крэмнію першакласнага, даследчых і макетных тыпаў Выбранае выява

Кароткае апісанне:

Паўізаляваная падкладка з карбіду крэмнію пасля вырошчвання крышталя паўізаляванага карбіду крэмнію фарміруецца шляхам рэзкі, шліфоўкі, паліроўкі, ачысткі і іншых тэхналогій апрацоўкі. На падкладцы вырошчваецца пласт або шматслаёвы крышталічны пласт, які адпавядае патрабаванням якасці, такім як эпітаксія, а затым шляхам спалучэння схемы і ўпакоўкі вырабляецца мікрахвалевая радыёчастотная прылада. Даступная ў выглядзе прамысловых, даследчых і выпрабавальных паўізаляваных монакрышталічных падкладак з карбіду крэмнію памерам 2, 3, 4, 6 і 8 цаляў.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Спецыфікацыя прадукту

Клас			Вытворчы клас нулявога MPD (клас Z)			Стандартны вытворчы клас (клас P)		Фіктивны клас (клас D)
Дыяметр			99,5 мм~100,0 мм
	4H-SI		500 мкм±20 мкм			500 мкм±25 мкм
Арыентацыя пласціны			Па-за воссю: 4,0° у напрамку <1120 > ±0,5° для 4H-N, па восі: <0001>±0,5° для 4H-SI
	4H-SI		≤1 см^-2			≤5 см^-2		≤15 см^-2
	4H-SI		≥1E9 Ом·см					≥1E5 Ом·см
Асноўная арыентацыя кватэры		{10-10} ±5,0°
Даўжыня асноўнай плоскай паверхні		32,5 мм±2,0 мм
Даўжыня другаснай плоскай паверхні		18,0 мм±2,0 мм
Другасная плоская арыентацыя		Крэмніевая паверхня ўверх: 90° па гадзіннікавай стрэлцы ад паверхні Prime ±5,0°
Выключэнне па краях		3 мм
LTV/TTV/Лук/Дэфармацыя		≤3 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм						≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Шурпатасць			C-твар				Польскі		Ra≤1 нм
			Сі твар	CMP	Ra≤0,2 нм					Ra≤0,5 нм
Краёвыя расколіны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла		Няма						Агульная даўжыня ≤ 10 мм, адзіночная даўжыня ≤2 мм
Шасцігранныя пласціны з дапамогай высокаінтэнсіўнага святла		Агульная плошча ≤0,05%						Агульная плошча ≤0,1%
Палітыпныя зоны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла		Няма						Агульная плошча ≤3%
Візуальныя ўключэнні вугляроду		Агульная плошча ≤0,05%						Агульная плошча ≤3%
Драпіны на крэмніевай паверхні ад высокаінтэнсіўнага святла		Няма						Агульная даўжыня ≤1＊дыяметр пласціны
Краёвыя сколы высокай інтэнсіўнасці святла		Не дапускаецца шырыня і глыбіня ≥0,2 мм						Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны
Забруджванне паверхні крэмнію высокай інтэнсіўнасцю		Няма
Упакоўка		Касета для некалькіх пласцін або кантэйнер для адной пласціны