4-цалевыя пласціны SiC 6H паўізаляцыйныя падкладкі SiC першаснага, даследчага і фіктыўнага класа

4-цалевыя пласціны SiC 6H паўізаляцыйныя падкладкі SiC першакласнага, даследчага і фіктыўнага класа Рэкамендаваны малюнак

Кароткае апісанне:

Паўізаляваная падкладка з карбіду крэмнію ўтвараецца шляхам рэзкі, шліфоўкі, паліроўкі, ачысткі і іншых тэхналогій апрацоўкі пасля росту паўізаляванага крышталя карбіду крэмнія. Пласт або шматслаёвы крышталічны пласт вырошчваецца на падкладцы, якая адпавядае патрабаванням якасці, напрыклад, эпітаксіі, а затым ствараецца мікрахвалевая радыёчастотная прылада шляхам спалучэння канструкцыі схемы і ўпакоўкі. Даступны ў выглядзе паўізаляваных монакрышталічных падкладак з карбіду крэмнію памерам 2 цалі, 3 цалі, 4 цалі і 6 цаляў, 8 цаляў.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Спецыфікацыя прадукту

Гатунак			Вытворчы клас Zero MPD (Z Grade)			Стандартны клас вытворчасці (клас P)		Фіктыўны клас (клас D)
Дыяметр			99,5 мм~100,0 мм
	4H-SI		500 мкм±20 мкм			500 мкм±25 мкм
Вафельная арыентацыя			Ад восі: 4,0° у бок < 1120 > ±0,5° для 4H-N, ад восі: <0001>±0,5° для 4H-SI
	4H-SI		≤1 см^-2			≤5 см^-2		≤15 см^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·см					≥1E5 Ω·см
Першасная плоская арыентацыя		{10-10} ±5,0°
Першасная плоская даўжыня		32,5 мм±2,0 мм
Другасная плоская даўжыня		18,0 мм±2,0 мм
Другасная плоская арыентацыя		Крэмній тварам уверх: 90° CW. ад прайм-плоскасці ±5,0°
Выключэнне краю		3 мм
LTV/TTV/Лук/Дэфармацыя		≤3 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм						≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм
Шурпатасць			C твар				польская		Ra≤1 нм
			Si твар	CMP	Ra≤0,2 нм					Ra≤0,5 нм
Расколіны па краях ад святла высокай інтэнсіўнасці		Няма						Кумулятыўная даўжыня ≤ 10 мм, адзінкавыя даўжыня≤2 мм
Шасцігранныя пласціны ад святла высокай інтэнсіўнасці		Сукупная плошча ≤0,05%						Сукупная плошча ≤0,1%
Политипные вобласці высокай інтэнсіўнасці святла		Няма						Сукупная плошча≤3%
Візуальныя ўключэнні вугляроду		Сукупная плошча ≤0,05%						Сукупная плошча ≤3%
Сіліконавыя драпіны на паверхні высокай інтэнсіўнасці святла		Няма						Сукупная даўжыня≤1＊дыяметр пласціны
Кромкавыя сколы высокай інтэнсіўнасці святла		Шырыня і глыбіня ≥0,2 мм не дапускаюцца						Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны
Забруджванне паверхні крэмніем высокай інтэнсіўнасцю		Няма
Ўпакоўка		Касета з некалькімі пласцінамі або кантэйнер з адной пласцінай