4H/6H-P 6-цалевая SiC пласціна Нулявы клас MPD Вытворчы клас, фіктыўны клас
Табліца агульных параметраў кампазітных падкладак SiC тыпу 4H/6H-P
6 дыяметр цаляў Падкладка з карбіду крэмнія (SiC). Спецыфікацыя
Гатунак | Нулявая вытворчасць MPDГатунак (З клас) | Стандартная вытворчасцьГатунак (П клас) | Падстаўная адзнака (D клас) | ||
Дыяметр | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
Таўшчыня | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
Вафельная арыентацыя | -Offвось: 2,0°-4,0° у бок [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, па восі: 〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
Шчыльнасць мікратрубы | 0 см-2 | ||||
Удзельнае супраціўленне | р-тып 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏсм | ≤0,3 Ωꞏсм | ||
n-тып 3C-N | ≤0,8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
Першасная плоская арыентацыя | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Першасная плоская даўжыня | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
Другасная плоская даўжыня | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
Другасная плоская арыентацыя | Крэмній тварам уверх: 90° CW. ад прайм-плоскасці ± 5,0° | ||||
Выключэнне краю | 3 мм | 6 мм | |||
LTV/TTV/Лук/Дэфармацыя | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
Шурпатасць | Польскі Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
Расколіны па краях ад святла высокай інтэнсіўнасці | Няма | Сукупная даўжыня ≤ 10 мм, адзінкавая даўжыня ≤ 2 мм | |||
Шасцігранныя пласціны ад святла высокай інтэнсіўнасці | Сукупная плошча ≤0,05% | Сукупная плошча ≤0,1% | |||
Политипные вобласці высокай інтэнсіўнасці святла | Няма | Сукупная плошча≤3% | |||
Візуальныя ўключэнні вугляроду | Сукупная плошча ≤0,05% | Сукупная плошча ≤3% | |||
Сіліконавыя драпіны на паверхні высокай інтэнсіўнасці святла | Няма | Сукупная даўжыня≤1×дыяметр пласціны | |||
Кромкавыя сколы высокай інтэнсіўнасці святла | Шырыня і глыбіня ≥0,2 мм не дапускаюцца | Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны | |||
Забруджванне паверхні крэмніем высокай інтэнсіўнасцю | Няма | ||||
Ўпакоўка | Касета з некалькімі пласцінамі або кантэйнер з адной пласцінай |
Заўвагі:
※ Ліміты дэфектаў распаўсюджваюцца на ўсю паверхню пласцін, за выключэннем зоны выключэння краёў. # Драпіны трэба праверыць на твары Si o
6-цалевая SiC-пласціна 4H/6H-P тыпу Zero MPD і вытворчага або фіктыўнага класа шырока выкарыстоўваецца ў перадавых электронных праграмах. Яго выдатная цеплаправоднасць, высокае напружанне прабоя і ўстойлівасць да суровых умоў навакольнага асяроддзя робяць яго ідэальным для сілавой электронікі, такой як высакавольтныя выключальнікі і інвертары. Марка Zero MPD гарантуе мінімальныя дэфекты, крытычныя для высоканадзейных прылад. Пласціны вытворчага ўзроўню выкарыстоўваюцца ў буйнамаштабнай вытворчасці сілавых прылад і радыёчастотных прылад, дзе прадукцыйнасць і дакладнасць маюць вырашальнае значэнне. Пласціны фіктыўнага класа, з іншага боку, выкарыстоўваюцца для каліброўкі працэсу, тэсціравання абсталявання і стварэння прататыпаў, што забяспечвае паслядоўны кантроль якасці ў асяроддзі вытворчасці паўправаднікоў.
Перавагі кампазітных падкладак N-тыпу SiC ўключаюць
- Высокая цеплаправоднасць: Пласціна 4H/6H-P SiC эфектыўна рассейвае цяпло, што робіць яе прыдатнай для высокатэмпературных і магутных электронных прыкладанняў.
- Высокае напружанне прабоя: Яго здольнасць апрацоўваць высокае напружанне без збояў робіць яго ідэальным для сілавой электронікі і высакавольтных пераключальнікаў.
- Нулявы клас MPD (мікра-дэфект трубы).: Мінімальная шчыльнасць дэфектаў забяспечвае больш высокую надзейнасць і прадукцыйнасць, што вельмі важна для патрабавальных электронных прылад.
- Вытворчы клас для масавай вытворчасці: Падыходзіць для буйнамаштабнай вытворчасці высокапрадукцыйных паўправадніковых прыбораў з строгімі стандартамі якасці.
- Фіктыўны клас для тэсціравання і каліброўкі: Дазваляе аптымізаваць працэс, тэставаць абсталяванне і ствараць прататыпы без выкарыстання дарагіх пласцін вытворчага класа.
У цэлым, 6-цалевыя пласціны SiC 4H/6H-P класа Zero MPD, вытворчага класа і фіктыўнага класа даюць значныя перавагі для распрацоўкі высокапрадукцыйных электронных прылад. Гэтыя пласціны асабліва карысныя ў прыкладаннях, якія патрабуюць працы пры высокай тэмпературы, высокай шчыльнасці магутнасці і эфектыўным пераўтварэнні энергіі. Гатунак Zero MPD забяспечвае мінімальныя дэфекты для надзейнай і стабільнай працы прылады, у той час як пласціны серыйнага ўзроўню падтрымліваюць буйнамаштабную вытворчасць са строгім кантролем якасці. Падстаўныя пласціны забяспечваюць эканамічнае рашэнне для аптымізацыі працэсаў і каліброўкі абсталявання, што робіць іх незаменнымі для вырабу высокадакладных паўправаднікоў.