4H/6H-P 6-цалевая пласціна SiC Zero MPD Вытворчы клас Фігурны клас
Кампазітныя падкладкі тыпу 4H/6H-P з карбіду крэмнію. Табліца агульных параметраў
6 Падкладка з карбіду крэмнію (SiC) дыяметрам цалі Спецыфікацыя
| Клас | Нулявая вытворчасць MPDКлас (Z) Клас) | Стандартная вытворчасцьКлас (P) Клас) | Фіктивны клас (D Клас) | ||
| Дыяметр | 145,5 мм~150,0 мм | ||||
| Таўшчыня | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Арыентацыя пласціны | -Offвось: 2,0°-4,0° у напрамку [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, па восі: 〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
| Шчыльнасць мікратруб | 0 см-2 | ||||
| Супраціўленне | p-тыпу 4H/6H-P | ≤0,1 Ом·см | ≤0,3 Ом·см | ||
| n-тыпу 3C-N | ≤0,8 мОм·см | ≤1 м Ом см | |||
| Асноўная арыентацыя кватэры | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Даўжыня асноўнай плоскай паверхні | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Даўжыня другаснай плоскай паверхні | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Другасная плоская арыентацыя | Сіліконавая паверхня ўверх: 90° па гадзіннікавай стрэлцы ад паверхні Prime flat ± 5,0° | ||||
| Выключэнне па краях | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Лук/Дэфармацыя | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Шурпатасць | Польскі Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Краёвыя расколіны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Сукупная даўжыня ≤ 10 мм, адзінкавая даўжыня ≤ 2 мм | |||
| Шасцігранныя пласціны з дапамогай высокаінтэнсіўнага святла | Агульная плошча ≤0,05% | Агульная плошча ≤0,1% | |||
| Палітыпныя зоны пад уздзеяннем святла высокай інтэнсіўнасці | Няма | Агульная плошча ≤3% | |||
| Візуальныя ўключэнні вугляроду | Агульная плошча ≤0,05% | Агульная плошча ≤3% | |||
| Драпіны на крэмніевай паверхні ад высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Агульная даўжыня ≤1 × дыяметр пласціны | |||
| Краёвыя сколы высокай інтэнсіўнасці святла | Не дапускаецца шырыня і глыбіня ≥0,2 мм | Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны | |||
| Забруджванне паверхні крэмнію высокай інтэнсіўнасцю | Няма | ||||
| Упакоўка | Касета для некалькіх пласцін або кантэйнер для адной пласціны | ||||
Заўвагі:
※ Абмежаванні на дэфекты распаўсюджваюцца на ўсю паверхню пласціны, за выключэннем зоны, дзе не выяўлены краю. # Драпіны варта правяраць на паверхні крэмнію o
6-цалевая пласціна SiC тыпу 4H/6H-P з класам Zero MPD і вытворчым або фіктыўным класам шырока выкарыстоўваецца ў перадавых электронных прыладах. Яе выдатная цеплаправоднасць, высокае напружанне прабоя і ўстойлівасць да неспрыяльных умоў эксплуатацыі робяць яе ідэальнай для сілавой электронікі, такой як высакавольтныя выключальнікі і інвертары. Клас Zero MPD забяспечвае мінімальныя дэфекты, што вельмі важна для высоканадзейных прылад. Пласціны вытворчага класа выкарыстоўваюцца ў буйной вытворчасці сілавых прылад і радыёчастотных прылад, дзе прадукцыйнасць і дакладнасць маюць вырашальнае значэнне. Пласціны фіктыўнага класа, з іншага боку, выкарыстоўваюцца для каліброўкі працэсаў, выпрабавання абсталявання і прататыпавання, што дазваляе паслядоўны кантроль якасці ў вытворчых асяроддзях паўправаднікоў.
Перавагі кампазітных падкладак з карбіду крэмнію N-тыпу ўключаюць
- Высокая цеплаправоднасцьПласціна SiC 4H/6H-P эфектыўна рассейвае цяпло, што робіць яе прыдатнай для выкарыстання ў электронных прыладах з высокай тэмпературай і высокай магутнасцю.
- Высокае напружанне прабоюЗдольнасць яго без збояў вытрымліваць высокія напружанні робіць яго ідэальным для сілавой электронікі і камутацыйных прылад высокага напружання.
- Нулявы клас MPD (мікрадэфект труб)Мінімальная шчыльнасць дэфектаў забяспечвае больш высокую надзейнасць і прадукцыйнасць, што вельмі важна для патрабавальных электронных прылад.
- Вытворчы клас для масавай вытворчасціПадыходзіць для буйной вытворчасці высокапрадукцыйных паўправадніковых прылад з высокімі стандартамі якасці.
- Фігурны клас для тэставання і каліброўкіДазваляе аптымізаваць працэсы, тэставаць абсталяванне і ствараць прататыпы без выкарыстання дарагіх пласцін вытворчага класа.
У цэлым, 6-цалевыя пласціны SiC 4H/6H-P з класам Zero MPD, прамысловым класам і фіктыўным класам прапануюць значныя перавагі для распрацоўкі высокапрадукцыйных электронных прылад. Гэтыя пласціны асабліва карысныя ў прымяненнях, якія патрабуюць працы пры высокіх тэмпературах, высокай шчыльнасці магутнасці і эфектыўнага пераўтварэння энергіі. Клас Zero MPD гарантуе мінімальныя дэфекты для надзейнай і стабільнай працы прылад, у той час як пласціны вытворчага класа падтрымліваюць буйную вытворчасць са строгім кантролем якасці. Пласціны фіктыўнага класа забяспечваюць эканамічна эфектыўнае рашэнне для аптымізацыі працэсаў і каліброўкі абсталявання, што робіць іх незаменнымі для вырабу высокадакладных паўправаднікоў.
Падрабязная дыяграма
