4 цалі 6 цаляў монакрышталічная плёнка з ніябату літыя LNOI
Працэс падрыхтоўкі матэрыялаў LNOI у асноўным дзеліцца на наступныя чатыры этапы
(1) Іёны He былі ўведзены ў матэрыял ніябату літыя X-зрэзу пры пэўнай энергіі і ўведзены ў пласт дэфектаў на пэўнай глыбіні ніжэй павярхоўнага пласта ніябату літыя;
(2) Матэрыял з іённай імплантацыяй ніябату літыя злучаны з крэмніевай падкладкай аксідным слоем для фарміравання злучальнай структуры;
(3) Сувязная структура была адпалена, каб дэфекты, уведзеныя ў выніку імплантацыі іёнаў He, развіваліся і аб'ядноўваліся з утварэннем расколін. Нарэшце, ніябат літыя быў падзелены ўздоўж дэфектнага пласта з адукацыяй рэшткавых лустачак ніябату літыя і пласцін LNOI.
Прымяненне і перавагі пласцін LNOI
1--П'езаэлектрычныя плёнкі з ніябату літыя (LNOI) маюць высокі каэфіцыент п'езаэлектрычнасці і дыэлектрычную пранікальнасць, якія могуць пераўтвараць механічную энергію ў электрычную або электрычную энергію ў механічную. Такім чынам, ён шырока выкарыстоўваецца ў галіне датчыкаў, такіх як датчыкі ціску, датчыкі паскарэння, датчыкі тэмпературы і гэтак далей. Акрамя таго, п'езаэлектрычная плёнка ніябату літыя таксама можа быць выкарыстана ў акустычных прыладах і вібрацыйных прыладах, такіх як п'езаэлектрычны керамічны пераўтваральнік складанага п'езаэлектрычнага керамічнага фільтра.
2-Стабільнасць п'езаэлектрычнай плёнкі з ніябату літыя таксама з'яўляецца адной з яе пераваг. Дзякуючы стабільнасці крышталічнай структуры і хімічнай інэртнасці, п'езаэлектрычная плёнка з ніябату літыя можа працаваць пры высокай тэмпературы, высокай вільготнасці, моцных кіслотах, моцных шчолачах і іншых суровых умовах, з добрай устойлівасцю да карозіі і трываласцю.
П'езаэлектрычная плёнка з ніябату 3 літыя - гэта новы п'езаэлектрычны матэрыял з выдатнымі характарыстыкамі і стабільнасцю, які мае шырокія перспектывы прымянення. З бесперапынным развіццём навукі і тэхнікі п'езаэлектрычная плёнка з ніябату літыя будзе прымяняцца ў большай колькасці гарадоў, уносячы больш зручнасці і інавацый у жыццё людзей