4-цалевая 6-цалевая монакрышталічная плёнка ніабата літыя LNOI пласціна
Працэс падрыхтоўкі матэрыялаў LNOI ў асноўным падзяляецца на наступныя чатыры этапы
(1) Іоны He былі ўведзены ў матэрыял ніабата літыя з X-разрэзам з пэўнай энергіяй і ўведзены ў дэфектны пласт на пэўнай глыбіні пад павярхоўным пластом ніабата літыя;
(2) Іённа-імплантаваны матэрыял ніабата літыя злучаны з крэмніевай падкладкай з дапамогай аксіднага пласта для ўтварэння злучальнай структуры;
(3) Злучальная структура была адпаленая, каб дэфекты, унесеныя імплантацыяй іонаў гелію, развіваліся і агрэгаваліся з утварэннем расколін. Нарэшце, ніабат літыя быў аддзелены ўздоўж дэфектнага пласта для ўтварэння рэшткавых пласцін ніабата літыя і пласцін LNOI.
Прымяненне і перавагі пласціны LNOI
1. П'езаэлектрычныя плёнкі з ніабата літыя (LNOI) маюць высокі п'езаэлектрычны каэфіцыент і дыэлектрычную пранікальнасць, што дазваляе ім пераўтвараць механічную энергію ў электрычную або электрычную энергію ў механічную. Таму яны шырока выкарыстоўваюцца ў галіне датчыкаў, такіх як датчыкі ціску, датчыкі паскарэння, датчыкі тэмпературы і г.д. Акрамя таго, п'езаэлектрычная плёнка з ніабата літыя можа выкарыстоўвацца ў акустычных прыладах і вібрацыйных прыладах, такіх як п'езаэлектрычны керамічны пераўтваральнік і складаны п'езаэлектрычны керамічны фільтр.
2. Стабільнасць п'езаэлектрычнай плёнкі з ніабата літыя таксама з'яўляецца адной з яе пераваг. Дзякуючы стабільнасці крышталічнай структуры і хімічнай інертнасці, п'езаэлектрычная плёнка з ніабата літыя можа працаваць пры высокіх тэмпературах, высокай вільготнасці, моцных кіслотах, моцных шчолачах і іншых агрэсіўных умовах, валодаючы добрай каразійнай устойлівасцю і даўгавечнасцю.
3-П'езаэлектрычная плёнка з ніабата літыя — гэта новы п'езаэлектрычны матэрыял з выдатнымі характарыстыкамі і стабільнасцю, які мае шырокія перспектывы прымянення. З пастаянным развіццём навукі і тэхналогій п'езаэлектрычная плёнка з ніабата літыя будзе ўжывацца ў большай колькасці гарадоў, што прынясе больш зручнасці і інавацый у жыццё людзей.
Падрабязная дыяграма


