4-цалевая SiC Epi пласціна для MOS або SBD

Кароткае апісанне:

SiCC мае поўную лінію па вытворчасці пласцін з карбіду крэмнію (SiC), якая аб'ядноўвае рост крышталяў, апрацоўку пласцін, выраб пласцін, паліроўку, ачыстку і тэставанне. У цяперашні час мы можам забяспечыць восевыя або пазавосевыя паўізаляцыйныя і паўправадніковыя пласціны 4H і 6H SiC з памерамі 5x5 мм2, 10x10 мм2, 2 ″, 3 ″, 4 ″ і 6 ″, прабіваючы падаўленне дэфектаў, апрацоўку крышталяў і хуткі рост і іншыя Ён прарваўся праз ключавыя тэхналогіі, такія як дэфект падаўлення, апрацоўкі крышталяў і хуткага росту, а таксама спрыяў фундаментальным даследаванням і распрацоўкам эпітаксіі карбіду крэмнію, прылад і іншых звязаных з імі фундаментальных даследаванняў.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Эпітаксія адносіцца да росту пласта больш якаснага монакрысталічнага матэрыялу на паверхні падкладкі з карбіду крэмнію. Сярод іх рост эпітаксіяльнага пласта нітрыду галію на паўізаляцыйнай падкладцы з карбіду крэмнію называецца гетэрагеннай эпітаксіяй; рост эпітаксіяльнага пласта карбіду крэмнію на паверхні токаправоднай падкладкі з карбіду крэмнію называецца гамагеннай эпітаксіяй.

Эпітаксіяльны ў адпаведнасці з патрабаваннямі канструкцыі прылады росту асноўнага функцыянальнага пласта, у значнай ступені вызначае прадукцыйнасць чыпа і прылады, кошт 23%. Асноўныя метады тонкаплёнкавай эпітаксіі SiC на гэтай стадыі ўключаюць: хімічнае нанясенне з паравай фазы (CVD), малекулярна-прамянёвую эпітаксію (MBE), вадкасную эпітаксію (LPE) і імпульснае лазернае нанясенне і сублімацыю (PLD).

Эпітаксія з'яўляецца вельмі важным звяном ва ўсёй індустрыі. Шляхам вырошчвання эпітаксіяльных слаёў GaN на паўізаляцыйных падкладках з карбіду крэмнію атрымліваюцца эпітаксіяльныя пласціны GaN на аснове карбіду крэмнія, якія ў далейшым могуць быць ператвораны ў радыёчастотныя прылады GaN, такія як транзістары з высокай рухомасцю электронаў (HEMT);

Вырошчваючы эпітаксіяльны пласт карбіду крэмнію на токаправоднай падкладцы, каб атрымаць эпітаксіяльную пласціну з карбіду крэмнію, і ў эпітаксіяльным пласце на вытворчасці дыёдаў Шоткі, золата-кіслародных паўпалявых транзістараў, біпалярных транзістараў з ізаляваным засаўкам і іншых сілавых прылад, таму якасць эпітаксіяльная на прадукцыйнасць прылады вельмі вялікі ўплыў на развіццё галіны таксама гуляе вельмі важную ролю.