6-цалевыя 150-міліметровыя пласціны з карбіду крэмнію SiC тыпу 4H-N для вытворчасці MOS або SBD, даследаванняў і манекеннага класа
Галіны прымянення
6-цалевая падкладка з монакрышталічнага карбіду крэмнію адыгрывае вырашальную ролю ў розных галінах прамысловасці. Па-першае, яна шырока выкарыстоўваецца ў паўправадніковай прамысловасці для вырабу магутных электронных прылад, такіх як сілавыя транзістары, інтэгральныя схемы і сілавыя модулі. Яе высокая цеплаправоднасць і ўстойлівасць да высокіх тэмператур забяспечваюць лепшае рассейванне цяпла, што прыводзіць да павышэння эфектыўнасці і надзейнасці. Па-другое, пласціны з карбіду крэмнію маюць важнае значэнне ў даследчых галінах для распрацоўкі новых матэрыялаў і прылад. Акрамя таго, пласціна з карбіду крэмнію знаходзіць шырокае прымяненне ў галіне оптаэлектронікі, у тым ліку ў вытворчасці святлодыёдаў і лазерных дыёдаў.
Тэхнічныя характарыстыкі прадукту
6-цалевая падкладка з монакрышталічнага карбіду крэмнію мае дыяметр 6 цаляў (прыблізна 152,4 мм). Шурпатасць паверхні Ra < 0,5 нм, а таўшчыня — 600 ± 25 мкм. Падкладка можа быць выраблена з праводнасцю тыпу N або тыпу P у залежнасці ад патрабаванняў заказчыка. Акрамя таго, яна валодае выключнай механічнай стабільнасцю, здольнай вытрымліваць ціск і вібрацыю.
Дыяметр | 150±2,0 мм (6 цаляў) | ||||
Таўшчыня | 350 мкм±25 мкм | ||||
Арыентацыя | Па восі: <0001>±0,5° | Па-за воссю: 4,0° у напрамку 1120±0,5° | |||
Палітып | 4H | ||||
Супраціўленне (Ом·см) | 4H-N | 0,015~0,028 Ом·см/0,015~0,025 Ом·см | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Асноўная плоская арыентацыя | {10-10}±5,0° | ||||
Даўжыня асноўнай плоскай паверхні (мм) | 47,5 мм±2,5 мм | ||||
Край | Фаска | ||||
TTV/Лук/Дэфармацыя (гм) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
Пярэдняя частка AFM (Si-face) | Польскі Ra≤1 нм | ||||
CMP Ra≤0,5 нм | |||||
Засяроджаная каштоўнасць (LTV) | ≤3 мкм (10 мм * 10 мм) | ≤5 мкм (10 мм * 10 мм) | ≤10 мкм (10 мм * 10 мм) | ||
ТТВ | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ||
Апельсінавая скарынка/косткі/трэшчыны/забруджванне/плямы/палосы | Няма | Няма | Няма | ||
водступы | Няма | Няма | Няма |
6-цалевая падкладка з монакрышталічнага карбіду крэмнію — гэта высокапрадукцыйны матэрыял, які шырока выкарыстоўваецца ў паўправадніковай, даследчай і оптаэлектроннай прамысловасці. Яна валодае выдатнай цеплаправоднасцю, механічнай стабільнасцю і ўстойлівасцю да высокіх тэмператур, што робіць яе прыдатнай для вырабу магутных электронных прылад і даследаванняў новых матэрыялаў. Мы прапануем розныя спецыфікацыі і варыянты налады, каб задаволіць разнастайныя патрабаванні кліентаў.Звяжыцеся з намі для атрымання больш падрабязнай інфармацыі аб пласцінах з карбіду крэмнію!
Падрабязная дыяграма

