6-цалевы GaN-на-сапфіры
150 мм 6 цаляў GaN на крэмніі/сапфіры/SiC эпітаксіяльная пласціна з нітрыду галію
6-цалевая пласціна з сапфіравай падкладкай - гэта высакаякасны паўправадніковы матэрыял, які складаецца з слаёў нітрыду галію (GaN), вырашчаных на сапфіравай падкладцы. Матэрыял валодае выдатнымі электроннымі транспартнымі ўласцівасцямі і ідэальна падыходзіць для вырабу магутных і высокачашчынных паўправадніковых прыбораў.
Метад вытворчасці: працэс вытворчасці ўключае вырошчванне слаёў GaN на сапфіравай падкладцы з выкарыстаннем перадавых метадаў, такіх як металаарганічнае хімічнае асаджэнне з паравай фазы (MOCVD) або малекулярна-прамянёвая эпітаксія (MBE). Працэс нанясення ажыццяўляецца ў кантраляваных умовах для забеспячэння высокай якасці крышталя і аднастайнай плёнкі.
Прымяненне 6-цалёвага GaN-On-Sapphire: 6-цалевыя чыпы з сапфіравай падкладкай шырока выкарыстоўваюцца ў мікрахвалевай сувязі, радыёлакацыйных сістэмах, бесправадных тэхналогіях і оптаэлектроніцы.
Некаторыя распаўсюджаныя прыкладанні ўключаюць
1. ВЧ-ўзмацняльнік магутнасці
2. Індустрыя святлодыёднага асвятлення
3. Абсталяванне бесправадной сеткі сувязі
4. Электронныя прылады ў асяроддзі з высокай тэмпературай
5. Оптыка-электронныя прылады
Тэхнічныя характарыстыкі вырабаў
- Памер: дыяметр падкладкі складае 6 цаляў (каля 150 мм).
- Якасць паверхні: паверхня была тонка адпаліравана, каб забяспечыць выдатную якасць люстэрка.
- Таўшчыня: таўшчыню пласта GaN можна наладзіць у адпаведнасці з канкрэтнымі патрабаваннямі.
- Упакоўка: падкладка старанна запакаваная антыстатычнымі матэрыяламі, каб прадухіліць пашкоджанне падчас транспарціроўкі.
- Краі пазіцыянавання: падкладка мае спецыяльныя краю пазіцыянавання, якія палягчаюць выраўноўванне і працу падчас падрыхтоўкі прылады.
- Іншыя параметры: Канкрэтныя параметры, такія як тонкасць, удзельнае супраціўленне і канцэнтрацыя допінгу, можна рэгуляваць у адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка.
Дзякуючы выдатным уласцівасцям матэрыялу і разнастайным прымяненням, 6-цалевыя пласціны з сапфіравай падкладкай з'яўляюцца надзейным выбарам для распрацоўкі высокапрадукцыйных паўправадніковых прылад у розных галінах прамысловасці.
Субстрат | 6” 1 мм <111> Si р-тыпу | 6” 1 мм <111> Si р-тыпу |
Epi ThickAvg | ~5 мкм | ~7 мкм |
Epi ThickUnif | <2% | <2% |
Лук | +/-45 мкм | +/-45 мкм |
Крэкінг | <5 мм | <5 мм |
Вертыкальны БВ | >1000В | >1400В |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT ThickAvg | 20-30 нм | 20-30 нм |
Insitu SiN Cap | 5-60 нм | 5-60 нм |
2DEG канц. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Мабільнасць | ~2000см2/ супраць (<2%) | ~2000см2/ супраць (<2%) |
Рш | <330 Ом/кв (<2%) | <330 Ом/кв (<2%) |