8-цалёвая падкладка SiC вытворчага пласціны 4H-N

8-цалевы SiC, вытворчая пласціна 4H-N SiC, падкладка, прадстаўленая выява

Кароткае апісанне:

8-цалевыя падкладкі SiC выкарыстоўваюцца ў магутных электронных прыладах, такіх як сілавыя МАП-транзістары (металаксідна-паўправадніковыя палявыя транзістары), дыёды Шоткі і іншыя сілавыя паўправадніковыя прылады.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

У наступнай табліцы паказаны тэхнічныя характарыстыкі нашых 8-цалевых пласцін SiC:

8-цалевы N-тып SiC DSP Спецыфікацыі
Нумар	Пункт	Адзінка	Вытворчасць	Даследаванні	манекен
1: параметры
1.1	політып	--	4H	4H	4H
1.2	арыентацыя паверхні	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2:Электрычны параметр
2.1	допант	--	Азот п-тыпу	Азот п-тыпу	Азот п-тыпу
2.2	удзельнае супраціўленне	Ом ·см	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Механічны параметр
3.1	дыяметр	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	таўшчыня	мкм	500±25	500±25	500±25
3.3	Арыентацыя выемкі	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Глыбіня надрэзу	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	мкм	≤5 (10 мм * 10 мм)	≤5 (10 мм * 10 мм)	≤10 (10 мм * 10 мм)
3.6	TTV	мкм	≤10	≤10	≤15
3.7	Лук	мкм	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Дэфармацыя	мкм	≤30	≤50	≤70
3.9	АСМ	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4:Структура
4.1	шчыльнасць микротрубки	эа/см2	≤2	≤10	≤50
4.2	ўтрыманне металу	атамаў/см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	ТСД	эа/см2	≤500	≤1000	NA
4.4	БЛД	эа/см2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	эа/см2	≤7000	≤10000	NA
5.Пярэдняя якасць
5.1	пярэдні	--	Si	Si	Si
5.2	аздабленне паверхні	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	часціца	шт./вафля	≤100 (памер ≥0,3 мкм)	NA	NA
5.4	драпаць	шт./вафля	≤5, Агульная даўжыня ≤200 мм	NA	NA
5.5	край сколы / водступы / расколіны / плямы / забруджвання	--	Няма	Няма	NA
5.6	Политипные вобласці	--	Няма	Плошча ≤10%	Плошча ≤30%
5.7	фасадная разметка	--	Няма	Няма	Няма
6: Якасць спіны
6.1	задняя аздабленне	--	З-асабовы дэпутат	З-асабовы дэпутат	З-асабовы дэпутат
6.2	драпаць	mm	NA	NA	NA
6.3	Дэфекты краю спіны сколы/водступы	--	Няма	Няма	NA
6.4	Шурпатасць спіны	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Разметка спіны	--	Выемка	Выемка	Выемка
7: край
7.1	краю	--	Фаска	Фаска	Фаска
8: Пакет
8.1	ўпакоўка	--	Epi-ready з вакуумам ўпакоўка	Epi-ready з вакуумам ўпакоўка	Epi-ready з вакуумам ўпакоўка
8.2	ўпакоўка	--	Мультывафельны касетная ўпакоўка	Мультывафельны касетная ўпакоўка	Мультывафельны касетная ўпакоўка