Цалкам аўтаматычнае абсталяванне для рэзкі вафельных кольцаў. Памер рэзкі вафельных кольцаў: 8/12 цаляў

Цалкам аўтаматычнае абсталяванне для рэзкі вафельных кольцаў. Рабочы памер: 8/12 цаляў. Рэзка вафельных кольцаў. Выява.

Кароткае апісанне:

Кампанія XKH самастойна распрацавала цалкам аўтаматычную сістэму абрэзкі краёў пласцін, якая ўяўляе сабой перадавое рашэнне, прызначанае для вытворчасці паўправаднікоў на пярэднім этапе. Гэта абсталяванне ўключае ў сябе інавацыйную тэхналогію шматвосевага сінхроннага кіравання і мае высокатрывалую сістэму шпіндзеля (максімальная хуткасць кручэння: 60 000 абаротаў у хвіліну), што забяспечвае дакладную абрэзку краёў з дакладнасцю рэзкі да ±5 мкм. Сістэма дэманструе выдатную сумяшчальнасць з рознымі паўправадніковымі падложкамі, у тым ліку, але не абмяжоўваючыся імі:
1. Крэмніевыя пласціны (Si): Падыходзяць для апрацоўкі краёў пласцін памерам 8-12 цаляў;
2. Складаныя паўправаднікі: паўправадніковыя матэрыялы трэцяга пакалення, такія як GaAs і SiC;
3. Спецыяльныя падкладкі: п'езаэлектрычныя матэрыяльныя пласціны, у тым ліку LT/LN;

Модульная канструкцыя дазваляе хутка замяняць розныя расходныя матэрыялы, у тым ліку алмазныя дыскі і галоўкі для лазернай рэзкі, прычым сумяшчальнасць перавышае галіновыя стандарты. Для спецыялізаваных патрэб працэсаў мы прапануем комплексныя рашэнні, якія ўключаюць:
· Пастаўка спецыялізаваных расходных матэрыялаў для рэзкі
· Паслугі па апрацоўцы тавараў на заказ
· Рашэнні па аптымізацыі параметраў працэсу

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Тэхнічныя параметры

Параметр	Адзінка	Спецыфікацыя
Максімальны памер нарыхтоўкі	mm	ø12"
Верацень	Канфігурацыя	Адзін шпіндзель
	Хуткасць	3000–60 000 абаротаў у хвіліну
	Выхадная магутнасць	1,8 кВт (2,4 па жаданні) пры 30 000 абаротаў у хвіліну⁻¹
	Максімальны дыяметр ляза.	Ø58 мм
Вось X	Дыяпазон рэзкі	310 мм
Вось Y	Дыяпазон рэзкі	310 мм
	Павялічэнне кроку	0,0001 мм
	Дакладнасць пазіцыянавання	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (адзінкавая памылка)
Вось Z	Разрозненне руху	0,00005 мм
Вось Z	Паўтаральнасць	0,001 мм
Вось θ	Максімальнае кручэнне	380 градусаў
Тып шпіндзеля		Адзін шпіндзель, абсталяваны жорсткім лязом для рэзкі кольцаў
Дакладнасць рэзкі кольцаў	мкм	±50
Дакладнасць пазіцыянавання пласціны	мкм	±50
Эфектыўнасць адной пласціны	мін/пласціна	8
Эфектыўнасць некалькіх пласцін		Да 4 пласцін апрацоўваецца адначасова
Вага абсталявання	kg	≈3 200
Памеры абсталявання (Ш×Г×В)	mm	2730 × 1550 × 2070

Прынцып працы

Сістэма дасягае выключнай прадукцыйнасці абрэзкі дзякуючы наступным асноўным тэхналогіям:

1. Інтэлектуальная сістэма кіравання рухам:
· Высокадакладны лінейны прывад рухавіка (дакладнасць паўторнага пазіцыянавання: ±0,5 мкм)
· Шасцівосевае сінхроннае кіраванне, якое падтрымлівае планаванне складанай траекторыі
· Алгарытмы падаўлення вібрацыі ў рэжыме рэальнага часу, якія забяспечваюць стабільнасць рэзання

2. Пашыраная сістэма выяўлення:
· Інтэграваны 3D-лазерны датчык вышыні (дакладнасць: 0,1 мкм)
· Візуальнае пазіцыянаванне з высокім разрозненнем CCD (5 мегапікселяў)
· Модуль онлайн-кантролю якасці

3. Цалкам аўтаматызаваны працэс:
· Аўтаматычная загрузка/разгрузка (сумяшчальнасць са стандартным інтэрфейсам FOUP)
· Інтэлектуальная сістэма сартавання
· Замкнёная ўстаноўка ачысткі (клас чысціні: 10)

Тыповыя прымянення

Гэта абсталяванне мае значную каштоўнасць у вытворчасці паўправаднікоў:

Сфера прымянення	Працэсныя матэрыялы	Тэхнічныя перавагі
Вытворчасць ІС	8/12" крэмніевыя пласціны	Паляпшае выраўноўванне літаграфіі
Прылады харчавання	Пласціны SiC/GaN	Прадухіляе дэфекты краёў
МЭМС-датчыкі	SOI пласціны	Забяспечвае надзейнасць прылады
радыёчастотныя прылады	Пласціны GaAs	Паляпшае высокачастотныя характарыстыкі
Пашыраная ўпакоўка	Адноўленыя вафлі	Павялічвае выхад упакоўкі

Асаблівасці

1. Канфігурацыя з чатырох станцый для высокай эфектыўнасці апрацоўкі;
2. Стабільнае адклейванне і выдаленне кольцаў TAIKO;
3. Высокая сумяшчальнасць з асноўнымі расходнымі матэрыяламі;
4. Тэхналогія сінхроннай абрэзкі па некалькіх восях забяспечвае дакладнасць рэзкі краёў;
5. Цалкам аўтаматызаваны працэс значна зніжае выдаткі на працу;
6. Канструкцыя працоўнага стала на заказ забяспечвае стабільную апрацоўку спецыяльных канструкцый;

Функцыі

1. Сістэма выяўлення падзення кольца;
2. Аўтаматычная ачыстка працоўнага стала;
3. Інтэлектуальная сістэма УФ-адклейвання;
4. Запіс журнала аперацый;
5. Інтэграцыя модуля аўтаматызацыі вытворчасці;

Абавязацельствы па абслугоўванні

XKH прадастаўляе комплексныя паслугі падтрымкі на працягу ўсяго жыццёвага цыкла, прызначаныя для максімальнай прадукцыйнасці абсталявання і аперацыйнай эфектыўнасці на працягу ўсяго вытворчага працэсу.
1. Паслугі па наладжванні
· Канфігурацыя абсталявання пад заказ: Наша інжынерная каманда цесна супрацоўнічае з кліентамі для аптымізацыі параметраў сістэмы (хуткасць рэзання, выбар ляза і г.д.) у залежнасці ад канкрэтных уласцівасцей матэрыялу (Si/SiC/GaAs) і патрабаванняў працэсу.
· Падтрымка распрацоўкі працэсу: Мы прапануем апрацоўку ўзораў з падрабязнымі справаздачамі аб аналізе, уключаючы вымярэнне шурпатасці краёў і картаграфаванне дэфектаў.
· Сумесная распрацоўка расходных матэрыялаў: для новых матэрыялаў (напрыклад, Ga₂O₃) мы супрацоўнічаем з вядучымі вытворцамі расходных матэрыялаў для распрацоўкі спецыялізаваных лязоў/лазернай оптыкі.

2. Прафесійная тэхнічная падтрымка
· Спецыяльная падтрымка на месцы: Прызначце сертыфікаваных інжынераў для выканання крытычна важных этапаў разгортвання (звычайна 2-4 тыдні), якія ахопліваюць:
Каліброўка абсталявання і тонкая налада працэсу
Навучанне аператарскай кампетэнтнасці
Кіраўніцтва па інтэграцыі чыстых памяшканняў класа ISO 5
· Прагназаванае тэхнічнае абслугоўванне: штоквартальныя праверкі стану з аналізам вібрацыі і дыягностыкай серварухавікоў для прадухілення незапланаваных прастояў.
· Дыстанцыйны маніторынг: адсочванне прадукцыйнасці абсталявання ў рэжыме рэальнага часу праз нашу платформу Інтэрнэту рэчаў (JCFront Connect®) з аўтаматызаванымі папярэджаннямі аб анамаліях.

3. Паслугі з дабаўленай вартасцю
· База ведаў па працэсах: доступ да больш чым 300 правераных рэцэптаў рэзкі розных матэрыялаў (абнаўляецца штоквартальна).
· Узгадненне тэхналагічнай дарожнай карты: забяспечце будучыню сваіх інвестыцый з дапамогай шляхоў мадэрнізацыі абсталявання/праграмнага забеспячэння (напрыклад, модуль выяўлення дэфектаў на аснове штучнага інтэлекту).
· Рэагаванне на надзвычайныя сітуацыі: гарантаваная 4-гадзінная дыстанцыйная дыягностыка і 48-гадзіннае ўмяшанне на месцы (глабальнае пакрыццё).

4. Інфраструктура абслугоўвання
· Гарантыя прадукцыйнасці: Кантрактнае абавязацельства па бесперабойнай працы абсталявання ≥98% з часам рэагавання, падмацаваным пагадненнем аб узроўні абслугоўвання.

Пастаяннае ўдасканаленне

Мы праводзім паўгадавыя апытанні аб задаволенасці кліентаў і ўкараняем ініцыятывы Кайдзен для паляпшэння якасці паслуг. Наша каманда даследаванняў і распрацовак пераўтварае вынікі палявых даследаванняў у мадэрнізацыю абсталявання — 30% паляпшэнняў прашыўкі зыходзяць з водгукаў кліентаў.