FZ CZ Si пласціна ў наяўнасці 12-цалевая крэмніевая пласціна Prime або Test
Прадстаўленне вафельнай скрынкі
Паліраваныя вафлі
Крамянёвыя пласціны, якія спецыяльна паліруюцца з абодвух бакоў для атрымання люстраной паверхні. Выдатныя характарыстыкі, такія як чысціня і плоскасць, вызначаюць найлепшыя характарыстыкі гэтай пласціны.
Нелегаваныя крэмніевыя пласціны
Яны таксама вядомыя як уласныя крэмніевыя пласціны. Гэты паўправаднік уяўляе сабой чыстую крышталічную форму крэмнію без прысутнасці якіх-небудзь дабавак ва ўсёй пласціне, што робіць яго ідэальным і дасканалым паўправадніком.
Легіраваныя крэмніевыя пласціны
N-тып і P-тып - гэта два тыпы легіраваных крэмніевых пласцін.
Крэмніевыя пласціны N-тыпу ўтрымліваюць мыш'як або фосфар. Ён шырока выкарыстоўваецца ў вытворчасці сучасных прылад CMOS.
Крамянёвыя пласціны тыпу P, легаваныя борам. У асноўным ён выкарыстоўваецца для вырабу друкаваных схем або фоталітаграфіі.
Эпітаксійныя пласціны
Эпітаксійныя пласціны - гэта звычайныя пласціны, якія выкарыстоўваюцца для атрымання цэласнасці паверхні. Эпітаксійныя пласціны даступныя ў тоўстых і тонкіх пласцінах.
Шматслойныя эпітаксіяльныя пласціны і тоўстыя эпітаксіяльныя пласціны таксама выкарыстоўваюцца для рэгулявання спажывання энергіі і кантролю магутнасці прылад.
Тонкія эпітаксіяльныя пласціны звычайна выкарыстоўваюцца ў высакаякасных MOS-інструментах.
Вафлі SOI
Гэтыя пласціны выкарыстоўваюцца для электрычнай ізаляцыі тонкіх слаёў монакрысталічнага крэмнію ад усёй крамянёвай пласціны. Пласціны SOI звычайна выкарыстоўваюцца ў крамянёвай фатоніцы і высокапрадукцыйных радыёчастотных прылажэннях. Пласціны SOI таксама выкарыстоўваюцца для памяншэння ёмістасці паразітных прылад у мікраэлектронных прыладах, што дапамагае палепшыць прадукцыйнасць.
Чаму выраб пласцін складаны?
12-цалевыя крамянёвыя пласціны вельмі цяжка нарэзаць з пункту гледжання выхаду. Хоць крэмній цвёрды, ён таксама далікатны. Шурпатыя ўчасткі ўтвараюцца, калі краю спілаваных пласцін ламаюцца. Алмазныя дыскі выкарыстоўваюцца для згладжвання краёў пласціны і ліквідацыі пашкоджанняў. Пасля разразання вафлі лёгка ламаюцца, таму што цяпер у іх вострыя краю. Краю пласцін распрацаваны такім чынам, што далікатныя, вострыя краю ўхіляюцца і верагоднасць слізгацення зніжаецца. У выніку аперацыі фармавання абзы рэгулюецца дыяметр пласціны, акругляецца пласціна (пасля нарэзкі адрэзаная пласціна мае авальную форму), робяць надрэзы або арыентаваныя плоскасці або вызначаюць памеры.
Падрабязная схема


