Высокачыстыя плаўленыя кварцавыя пласціны для паўправадніковых, фатонічных і аптычных прымяненняў 2″4″6″8″12″

Кароткае апісанне:

плаўлены кварц— таксама вядомы якплаўлены крэмній— гэта некрышталічная (аморфная) форма дыяксіду крэмнію (SiO₂). У адрозненне ад боросілікатнага або іншага прамысловага шкла, плаўлены кварц не ўтрымлівае прымешак або дабавак, прапаноўваючы хімічна чысты склад SiO₂. Ён вядомы сваёй выключнай аптычнай прапускальнасцю як у ультрафіялетавым (УФ), так і ў інфрачырвоным (ІЧ) спектры, пераўзыходзячы традыцыйныя шкляныя матэрыялы.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Пласціны з плаўленага кварцавага шкла і аптычнага кварца-2

Агляд кварцавага шкла

Кварцавыя пласціны складаюць аснову незлічоных сучасных прылад, якія кіруюць сучасным лічбавым светам. Ад навігацыі ў вашым смартфоне да асновы базавых станцый 5G, кварц ціха забяспечвае стабільнасць, чысціню і дакладнасць, неабходныя ў высокапрадукцыйнай электроніцы і фатоніцы. Незалежна ад таго, ці падтрымлівае ён гнуткія схемы, ці дазваляе выкарыстоўваць датчыкі MEMS, ці ж стварае аснову для квантавых вылічэнняў, унікальныя характарыстыкі кварца робяць яго незаменным ва ўсіх галінах прамысловасці.

«Плаўлены крэмній» або «плаўлены кварц» — гэта аморфная фаза кварца (SiO2). У адрозненне ад боросілікатнага шкла, плаўлены крэмній не мае дабавак; таму ён існуе ў чыстым выглядзе, SiO2. Плаўлены крэмній мае больш высокую прапускальнасць у інфрачырвоным і ультрафіялетавым спектры ў параўнанні са звычайным шклом. Плаўлены крэмній вырабляецца шляхам плаўлення і паўторнага зацвярдзення ультрачыстага SiO2. Сінтэтычны плаўлены крэмній, з іншага боку, вырабляецца з багатых крэмніем хімічных папярэднікаў, такіх як SiCl4, якія газіфікуюцца, а затым акісляюцца ў атмасферы H2 + O2. Пыл SiO2, які ўтвараецца ў гэтым выпадку, плаўляецца з крэмніем на падкладцы. Блокі плаўленага крэмнію разразаюцца на пласціны, пасля чаго пласціны паліруюцца.

Пласціны з плаўленага кварцавага шкла і аптычнага кварца

Асноўныя характарыстыкі і перавагі кварцавай шкляной пласціны

Звышвысокая чысціня (≥99,99% SiO2)
Ідэальна падыходзіць для ультрачыстых паўправадніковых і фатонічных працэсаў, дзе забруджванне матэрыялу павінна быць мінімізавана.
Шырокі дыяпазон цеплавых эксплуатацыйных характарыстык
Захоўвае структурную цэласнасць пры крыягенных тэмпературах да больш чым 1100°C без дэфармацыі або пагаршэння якасці.
Выдатная прапускальнасць ультрафіялетавага і інфрачырвонага выпраменьвання
Забяспечвае выдатную аптычную выразнасць ад глыбокага ультрафіялетавага (DUV) да блізкага інфрачырвонага (NIR) дыяпазону, падтрымліваючы дакладныя аптычныя прымяненні.
Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
Паляпшае стабільнасць памераў пры ваганнях тэмпературы, зніжаючы напружанне і павышаючы надзейнасць працэсу.
Выдатная хімічная ўстойлівасць
Інэртны да большасці кіслот, шчолачаў і растваральнікаў, што робіць яго прыдатным для хімічна агрэсіўных асяроддзяў.
Гнуткасць аздаблення паверхні
Даступныя з ультрагладкім, аднабаковым або двухбаковым паліраваным пакрыццём, сумяшчальныя з патрабаваннямі фатонікі і MEMS.

Працэс вытворчасці кварцавай шкляной пласціны

Пласціны з плаўленага кварца вырабляюцца праз серыю кантраляваных і дакладных этапаў:

Выбар сыравіны
Выбар высакаякаснага прыроднага кварца або сінтэтычных крыніц SiO₂.
Плаўленне і зліццё
Кварц плавяць пры тэмпературы ~2000°C у электрычных печах у кантраляванай атмасферы для ліквідацыі ўключэнняў і бурбалак.
Фарміраванне блокаў
Расплаўлены крэмнезём астуджаюць у цвёрдыя блокі або зліткі.
Нарэзка вафель
Для разразання зліткаў на нарыхтоўкі пласцін выкарыстоўваюцца дакладныя алмазныя або дроцяныя пілы.
Шліфоўка і паліроўка
Абедзве паверхні выраўноўваюцца і паліруюцца, каб адпавядаць дакладным аптычным патрабаванням, таўшчыні і шурпатасці.
Ачыстка і праверка
Пласціны чысцяцца ў чыстых памяшканнях класа ISO 100/1000 і падвяргаюцца строгаму кантролю на наяўнасць дэфектаў і адпаведнасць памераў.

Уласцівасці кварцавай шкляной пласціны

спецыфікацыя	адзінка	4"	6"	8"	10 цаляў	12 цаляў
Дыяметр / памер (або квадрат)	mm	100	150	200	250	300
Дапушчальнае адхіленне (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Таўшчыня	mm	0,10 або больш	0,30 або больш	0,40 або больш	0,50 або больш	0,50 або больш
Асноўная плоская спасылка	mm	32,5	57,5	Паўвыемка	Паўвыемка	Паўвыемка
LTV (5 мм × 5 мм)	мкм	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
ТТВ	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Лук	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Дэфармацыя	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5 мм × 5 мм) < 0,4 мкм	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Закругленне краёў	mm	Адпавядае стандарту SEMI M1.2 / глядзіце IEC62276
Тып паверхні		Аднабаковая паліроўка / двухбаковая паліроўка
Паліраваны бок Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Крытэрыі адваротнага боку	мкм	агульныя 0,2-0,7 або індывідуальныя

Кварц у параўнанні з іншымі празрыстымі матэрыяламі

Маёмасць	Кварцавае шкло	Борасілікатнае шкло	Сапфір	Стандартнае шкло
Максімальная рабочая тэмпература	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Прапусканне ультрафіялетавага выпраменьвання	Выдатна (JGS1)	Бедны	Добра	Вельмі дрэнна
Хімічная ўстойлівасць	Выдатна	Умераны	Выдатна	Бедны
Чысціня	Вельмі высокая	Ад нізкага да ўмеранага	Высокі	Нізкі
Цеплавое пашырэнне	Вельмі нізкі	Умераны	Нізкі	Высокі
Кошт	Ад сярэдняга да высокага	Нізкі	Высокі	Вельмі нізкі

Часта задаваныя пытанні аб кварцавых шкляных вафлях

Пытанне 1: У чым розніца паміж плаўленым кварцам і плаўленым крэмнезёмам?
Хоць абодва з'яўляюцца аморфнымі формамі SiO₂, плаўлены кварц звычайна атрымліваецца з прыродных крыніц кварца, у той час як плаўлены крэмній вырабляецца сінтэтычным шляхам. Функцыянальна яны маюць падобныя характарыстыкі, але плаўлены крэмній можа мець крыху больш высокую чысціню і аднастайнасць.

Пытанне 2: Ці можна выкарыстоўваць плаўленыя кварцавыя пласціны ў асяроддзі высокага вакууму?
Так. Дзякуючы нізкаму газааддзяленню і высокай тэрмаўстойлівасці, плаўленыя кварцавыя пласціны выдатна падыходзяць для вакуумных сістэм і аэракасмічнай прамысловасці.

Пытанне 3: Ці падыходзяць гэтыя пласціны для выкарыстання ў глыбокім УФ-лазерным выпраменьванні?
Безумоўна. Плаўлены кварц мае высокую прапускальнасць да ~185 нм, што робіць яго ідэальным для оптыкі DUF, літаграфічных масак і эксімерных лазерных сістэм.

Пытанне 4: Ці падтрымліваеце вы выраб пласцін на заказ?
Так. Мы прапануем поўную наладу, уключаючы дыяметр, таўшчыню, якасць паверхні, плоскія паверхні/надрэзы і лазернае малюнак, у залежнасці ад вашых канкрэтных патрабаванняў да прымянення.

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на высокатэхналагічнай распрацоўцы, вытворчасці і продажы спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.

Сапфіравая пласціна, пустая, высокачыстая сырая сапфіравая падкладка для апрацоўкі 5