LNOI пласціна (ніабат літыя на ізалятары) тэлекамунікацыйныя датчыкі высокага электрааптычнага ўзроўню
Падрабязная дыяграма
Агляд
Унутры скрынкі для пласцін ёсць сіметрычныя пазы, памеры якіх строга аднолькавыя, каб падтрымліваць два бакі пласціны. Крыштальная скрынка звычайна выраблена з напаўпразрыстага пластыкавага матэрыялу PP, устойлівага да тэмпературы, зносу і статычнай электрычнасці. Розныя колеры дабавак выкарыстоўваюцца для адрознення сегментаў металічнага працэсу ў вытворчасці паўправаднікоў. З-за малога памеру ключа паўправаднікоў, шчыльнай структуры і вельмі строгіх патрабаванняў да памеру часціц у вытворчасці, скрынка для пласцін павінна гарантаваць чыстае асяроддзе для падключэння да рэакцыйнай поласці мікраасяроддзя скрынкі для пласцін розных вытворчых машын.
Метадалогія вырабу
Выраб пласцін LNOI складаецца з некалькіх дакладных этапаў:
Крок 1: Імплантацыя іонаў геліюІоны гелію ўводзяцца ў аб'ёмны крышталь LN з дапамогай іённага імплантатара. Гэтыя іоны засядаюцца на пэўнай глыбіні, утвараючы аслабленую плоскасць, якая ў рэшце рэшт спрыяе аддзяленню плёнкі.
Крок 2: Фарміраванне асноўнай падкладкіАсобная крэмніевая або ламінавая пласціна акісляецца або пакрываецца пластамі SiO2 з дапамогай PECVD або тэрмічнага акіслення. Яе верхняя паверхня планарызуецца для аптымальнага злучэння.
Крок 3: Злучэнне LN з падкладкайІонна-імплантаваны крышталь LN пераварочваецца і мацуецца да асноўнай пласціны з дапамогай прамога злучэння пласцін. У даследчых умовах бензацыклабутылен (BCB) можа быць выкарыстаны ў якасці клею для спрашчэння злучэння ў менш жорсткіх умовах.
Крок 4: Тэрмічная апрацоўка і аддзяленне плёнкіАдпал актывуе ўтварэнне бурбалак на глыбіні імплантацыі, што дазваляе аддзяліць тонкую плёнку (верхні пласт LN) ад асноўнай масы. Для завяршэння адслаення выкарыстоўваецца механічная сіла.
Крок 5: Паліроўка паверхніДля згладжвання верхняй паверхні лінейнага струменя (LN) ужываецца хімічна-механічная паліроўка (CMP), што паляпшае аптычную якасць і выхад прылады.
Тэхнічныя параметры
| Матэрыял | Аптычны Клас LiNbO3 вафлі (белыя or Чорны) | |
| Кюры Тэмпература | 1142±0,7℃ | |
| Рэзка Кут | X/Y/Z і г.д. | |
| Дыяметр/памер | 2”/3”/4” ±0,03 мм | |
| Тол(±) | <0,20 мм ±0,005 мм | |
| Таўшчыня | 0,18～0,5 мм або больш | |
| Пачатковая Кватэра | 16 мм/22 мм/32 мм | |
| ТТВ | <3 мкм | |
| Лук | -30 | |
| Дэфармацыя | <40 мкм | |
| Арыентацыя Кватэра | Усё даступна | |
| Паверхня Тып | Аднабаковая паліроўка (SSP) / двухбаковая паліроўка (DSP) | |
| Паліраваны бок Ra | <0,5 нм | |
| С/Д | 20/10 | |
| Край Крытэрыі | R=0,2 мм C-тыпу or Булнос | |
| Якасць | Бясплатна of расколіны (бурбалкі і уключэнні) | |
| Аптычны легіраваны | Mg/Fe/Zn/MgO і г.д. для аптычны клас ЛН вафлі за запытана | |
| Вафля Паверхня Крытэрыі | Паказчык праламлення | No=2,2878/Ne=2,2033 пры даўжыні хвалі 632 нм/метад прызматычнага разветвителя. |
| Забруджванне, | Няма | |
| Часціцы c>0,3 мкм m | <=30 | |
| Драпіны, сколы | Няма | |
| Дэфект | Няма расколін па краях, драпін, слядоў ад пілы, плям | |
| Упакоўка | Колькасць/Вафельная скрынка | 25 шт. у скрынцы |
Выпадкі выкарыстання
Дзякуючы сваёй універсальнасці і прадукцыйнасці, LNOI выкарыстоўваецца ў многіх галінах прамысловасці:
Фатоніка:Кампактныя мадулятары, мультыплексары і фатонныя схемы.
РФ/Акустыка:Акустааптычныя мадулятары, радыёчастотныя фільтры.
Квантавыя вылічэнні:Нелінейныя змяшальнікі частаты і генератары фатонных пар.
Абарона і аэракасмічная прамысловасць:Аптычныя гіраскопы з нізкімі стратамі, прылады са зрушэннем частаты.
Медыцынскія прылады:Аптычныя біясенсары і высокачастотныя сігнальныя зонды.
Часта задаваныя пытанні
Пытанне: Чаму ў аптычных сістэмах перавага аддаецца LNOI перад SOI?
A:LNOI мае выдатныя электрааптычныя каэфіцыенты і больш шырокі дыяпазон празрыстасці, што забяспечвае больш высокую прадукцыйнасць у фатонных схемах.
Пытанне: Ці абавязковая CMP пасля падзелу?
A:Так. Пасля іённай рэзкі паверхня лімфатычнага вузла шурпатая і павінна быць адпаліравана, каб адпавядаць аптычным патрабаванням.
Пытанне: Які максімальны памер пласціны даступны?
A:Камерцыйныя пласціны LNOI ў асноўным маюць памер 3 і 4 цалі, хоць некаторыя пастаўшчыкі распрацоўваюць варыянты памерам 6 цаляў.
Пытанне: Ці можна паўторна выкарыстоўваць пласт LN пасля падзелу?
A:Асноўны крышталь можна паліраваць і выкарыстоўваць паўторна некалькі разоў, хоць якасць можа пагоршыцца пасля некалькіх цыклаў.
Пытанне: Ці сумяшчальныя пласціны LNOI з апрацоўкай CMOS?
A:Так, яны распрацаваны ў адпаведнасці з традыцыйнымі працэсамі вырабу паўправаднікоў, асабліва пры выкарыстанні крэмніевых падложак.
