N-тыпу SiC на кампазітных падкладках Si дыяметрам 6 цаляў

等级Клас

U 级

П级

D级

Нізкая ступень БЛД

Вытворчы клас

Фіктивны клас

直径Дыяметр

150,0 мм±0,25 мм

厚度Таўшчыня

500 мкм±25 мкм

晶片方向Арыентацыя пласціны

Па-за воссю: 4,0° у напрамку < 11-20 > ±0,5° для 4H-N Па восі: < 0001 > ±0,5° для 4H-SI

主定位边方向Асноўная кватэра

{10-10}±5,0°

主定位边长度Даўжыня асноўнай плоскай паверхні

47,5 мм±2,5 мм

边缘Выключэнне краю

3 мм

总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Лук /Warp

≤15 мкм / ≤40 мкм / ≤60 мкм

微管密度和基面位错Палітычная дыягностыка і палітычная дыягностыка

MPD≤1 см-2

MPD≤5 см-2

MPD ≤15 см-2

БПД≤1000 см-2

电阻率Супраціўленне

≥1E5 Ом·см

表面粗糙度Шурпатасць

Польскі Ra≤1 нм

CMP Ra≤0,5 нм

裂纹(强光灯观测) #

Няма

Сукупная даўжыня ≤10 мм, адзінкавая даўжыня ≤2 мм

Трэшчыны ад высокаінтэнсіўнага святла

六方空洞（强光灯观测)*

Агульная плошча ≤1%

Агульная плошча ≤5%

Шасцігранныя пласціны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла

多型(强光灯观测)*

Няма

Агульная плошча ≤5%

Палітыпныя зоны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла

划痕(强光灯观测)*&

3 драпіны да 1×дыяметра пласціны

5 драпін да 1×дыяметра пласціны

Драпіны ад высокаінтэнсіўнага святла

агульная даўжыня

агульная даўжыня

崩边# Крайні чып

Няма

Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны

表面污染物（强光灯观测)

Няма

Забруджванне святлом высокай інтэнсіўнасці