p-тып 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC падкладка 4 цалі 〈111〉± 0,5°Нулявы MPD
Кампазітныя падкладкі тыпу 4H/6H-P з карбіду крэмнію. Табліца агульных параметраў
4 цалевы дыяметр крэмніюКарбідная (SiC) падкладка Спецыфікацыя
| Клас | Нулявая вытворчасць MPD Клас (Z) Клас) | Стандартная вытворчасць Клас (P) Клас) | Фіктивны клас (D Клас) | ||
| Дыяметр | 99,5 мм~100,0 мм | ||||
| Таўшчыня | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Арыентацыя пласціны | Па-за воссю: 2,0°-4,0° у напрамку [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, OВось n: 〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
| Шчыльнасць мікратруб | 0 см-2 | ||||
| Супраціўленне | p-тыпу 4H/6H-P | ≤0,1 Ом·см | ≤0,3 Ом·см | ||
| n-тыпу 3C-N | ≤0,8 мОм·см | ≤1 м Ом см | |||
| Асноўная арыентацыя кватэры | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
| Даўжыня асноўнай плоскай паверхні | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Даўжыня другаснай плоскай паверхні | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Другасная плоская арыентацыя | Сіліконавая паверхня ўверх: 90° па гадзіннікавай стрэлцы ад галоўнай плоскай паверхні±5,0° | ||||
| Выключэнне па краях | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Лук/Дэфармацыя | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Шурпатасць | Польскі Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Краёвыя расколіны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Сукупная даўжыня ≤ 10 мм, адзінкавая даўжыня ≤ 2 мм | |||
| Шасцігранныя пласціны з дапамогай высокаінтэнсіўнага святла | Агульная плошча ≤0,05% | Агульная плошча ≤0,1% | |||
| Палітыпныя зоны пад уздзеяннем святла высокай інтэнсіўнасці | Няма | Агульная плошча ≤3% | |||
| Візуальныя ўключэнні вугляроду | Агульная плошча ≤0,05% | Агульная плошча ≤3% | |||
| Драпіны на крэмніевай паверхні ад высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Агульная даўжыня ≤1 × дыяметр пласціны | |||
| Краёвыя сколы высокай інтэнсіўнасці святла | Не дапускаецца шырыня і глыбіня ≥0,2 мм | Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны | |||
| Забруджванне паверхні крэмнію высокай інтэнсіўнасцю | Няма | ||||
| Упакоўка | Касета для некалькіх пласцін або кантэйнер для адной пласціны | ||||
Заўвагі:
※Ліміты на дэфекты распаўсюджваюцца на ўсю паверхню пласціны, за выключэннем зоны, дзе не выяўлены краю. # Драпіны варта правяраць толькі на паверхні крэмнію.
Падкладка з карбіду крэмнію тыпу P тыпу 4H/6H-P 3C-N памерам 4 цалі з арыентацыяй 〈111〉± 0,5° і класам Zero MPD шырока выкарыстоўваецца ў высокапрадукцыйных электронных прыладах. Яе выдатная цеплаправоднасць і высокая прабойная напруга робяць яе ідэальнай для сілавой электронікі, такой як высакавольтныя выключальнікі, інвертары і пераўтваральнікі энергіі, якія працуюць у экстрэмальных умовах. Акрамя таго, устойлівасць падкладкі да высокіх тэмператур і карозіі забяспечвае стабільную працу ў жорсткіх умовах. Дакладная арыентацыя 〈111〉± 0,5° павышае дакладнасць вырабу, што робіць яе прыдатнай для радыёчастотных прылад і высокачастотных прымяненняў, такіх як радарныя сістэмы і абсталяванне бесправадной сувязі.
Перавагі кампазітных падкладак з карбіду крэмнію N-тыпу ўключаюць:
1. Высокая цеплаправоднасць: эфектыўнае рассейванне цяпла, што робіць яго прыдатным для выкарыстання ў умовах высокіх тэмператур і ў прыладах з высокай магутнасцю.
2. Высокае прабойнае напружанне: Забяспечвае надзейную працу ў высокавольтных прыладах, такіх як пераўтваральнікі харчавання і інвертары.
3. Нулявы MPD (мікрадэфект труб): гарантуе мінімальныя дэфекты, забяспечваючы стабільнасць і высокую надзейнасць у крытычна важных электронных прыладах.
4. Устойлівасць да карозіі: трываласць у суровых умовах, што забяспечвае працяглую функцыянальнасць у складаных умовах.
5. Дакладная арыентацыя 〈111〉± 0,5°: дазваляе дакладна выраўноўваць падчас вытворчасці, паляпшаючы прадукцыйнасць прылады ў высокачастотных і радыёчастотных прыкладаннях.
У цэлым, 4-цалевая падкладка з карбіду крэмнію тыпу P з арыентацыяй 〈111〉± 0,5° і класам Zero MPD з'яўляецца высокапрадукцыйным матэрыялам, ідэальным для складаных электронных прылад. Яго выдатная цеплаправоднасць і высокая прабойная напруга робяць яго ідэальным для сілавой электронікі, такой як высакавольтныя выключальнікі, інвертары і пераўтваральнікі. Клас Zero MPD гарантуе мінімальныя дэфекты, забяспечваючы надзейнасць і стабільнасць у крытычна важных прыладах. Акрамя таго, устойлівасць падкладкі да карозіі і высокіх тэмператур гарантуе даўгавечнасць у жорсткіх умовах. Дакладная арыентацыя 〈111〉± 0,5° дазваляе дакладна выраўноўваць падчас вытворчасці, што робіць яго вельмі прыдатным для радыёчастотных прылад і высокачастотных прымяненняў.
Падрабязная дыяграма
