Узорчатая сапфіравая падкладка PSS 2 цалі 4 цалі 6 цаляў сухога травлення ICP можа выкарыстоўвацца для святлодыёдных чыпаў
Асноўная характарыстыка
1. Характарыстыкі матэрыялу: Матэрыял падкладкі — гэта монакрышталічны сапфір (Al₂O₃), які валодае высокай цвёрдасцю, высокай цеплаўстойлівасцю і хімічнай стабільнасцю.
2. Структура паверхні: Паверхня фармуецца з дапамогай фоталітаграфіі і травлення ў перыядычныя мікра-нанаструктуры, такія як конусы, піраміды або шасцікутныя масівы.
3. Аптычныя характарыстыкі: Дзякуючы дызайну паверхні з малюнкам, поўнае адлюстраванне святла на мяжы падзелу змяншаецца, а эфектыўнасць святлоадводу паляпшаецца.
4. Цеплавыя характарыстыкі: сапфіравая падкладка мае выдатную цеплаправоднасць, падыходзіць для прымянення ў магутных святлодыёдах.
5. Характарыстыкі памераў: распаўсюджаныя памеры - 2 цалі (50,8 мм), 4 цалі (100 мм) і 6 цаляў (150 мм).
Асноўныя вобласці прымянення
1. Вытворчасць святлодыёдаў:
Палепшаная эфектыўнасць святлоадводу: PSS памяншае страты святла дзякуючы дызайну малюнка, значна паляпшаючы яркасць і святлоаддачу святлодыёдаў.
Палепшаная якасць эпітаксіяльнага росту: узорчатая структура забяспечвае лепшую базу для росту эпітаксіяльных слаёў GaN і паляпшае прадукцыйнасць святлодыёдаў.
2. Лазерны дыёд (ЛД):
Магутныя лазеры: высокая цеплаправоднасць і стабільнасць PSS падыходзяць для магутных лазерных дыёдаў, паляпшаючы прадукцыйнасць і надзейнасць рассейвання цяпла.
Нізкі парог току: аптымізацыя эпітаксіяльнага росту, зніжэнне парога току лазернага дыёда і павышэнне эфектыўнасці.
3. Фотапрыёмнік:
Высокая адчувальнасць: высокая прапускальнасць святла і нізкая шчыльнасць дэфектаў PSS паляпшаюць адчувальнасць і хуткасць рэакцыі фотадэтэктара.
Шырокі спектральны дыяпазон: падыходзіць для фотаэлектрычнага выяўлення ў ультрафіялетавым да бачнага дыяпазону.
4. Сілавое электроніка:
Супраціўленне высокаму напружанню: высокая ізаляцыя і тэрмічная стабільнасць сапфіра падыходзяць для прылад высокага напружання.
Эфектыўнае рассейванне цяпла: высокая цеплаправоднасць паляпшае прадукцыйнасць рассейвання цяпла сілавых прылад і падаўжае тэрмін службы.
5. Радыёчастотныя прылады:
Высокачастотныя характарыстыкі: нізкія дыэлектрычныя страты і высокая тэрмічная стабільнасць PSS падыходзяць для высокачастотных радыёчастотных прылад.
Нізкі ўзровень шуму: высокая плоскасць і нізкая шчыльнасць дэфектаў зніжаюць шум прылады і паляпшаюць якасць сігналу.
6. Біясенсары:
Высокаадчувальнае выяўленне: высокая прапускальнасць святла і хімічная стабільнасць PSS падыходзяць для высокаадчувальных біясенсараў.
Біясумяшчальнасць: Біясумяшчальнасць сапфіра робіць яго прыдатным для медыцынскіх і біядэтэктарных прымяненняў.
Узорчатая сапфіравая падкладка (PSS) з эпітаксіяльным матэрыялам GaN:
Падкладка з сапфіру з узорам (PSS) з'яўляецца ідэальнай падкладкай для эпітаксіяльнага росту GaN (нітрыду галію). Пастаянная рашоткі сапфіра блізкая да GaN, што можа паменшыць неадпаведнасці рашоткі і дэфекты пры эпітаксіяльным росце. Мікра-нанаструктура паверхні PSS не толькі паляпшае эфектыўнасць экстракцыі святла, але і паляпшае якасць крышталя эпітаксіяльнага пласта GaN, тым самым паляпшаючы прадукцыйнасць і надзейнасць святлодыёда.
Тэхнічныя параметры
| Пункт | Узорчатая сапфіравая падкладка (2~6 цаляў) | ||
| Дыяметр | 50,8 ± 0,1 мм | 100,0 ± 0,2 мм | 150,0 ± 0,3 мм |
| Таўшчыня | 430 ± 25 мкм | 650 ± 25 мкм | 1000 ± 25 мкм |
| Арыентацыя паверхні | Кут адхілення плоскасці C (0001) ад восі M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Плоскасць C (0001) адхілена ад восі A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Асноўная арыентацыя кватэры | Плоскасць А (11-20) ± 1,0° | ||
| Даўжыня асноўнай плоскай паверхні | 16,0 ± 1,0 мм | 30,0 ± 1,0 мм | 47,5 ± 2,0 мм |
| R-плоскасць | 9 гадзін | ||
| Аздабленне пярэдняй паверхні | Узорны | ||
| Аздабленне задняй паверхні | SSP: дробнашліфаваны, Ra=0,8-1,2 мкм; DSP: эпіпаліраваны, Ra<0,3 нм | ||
| Лазерная маркіроўка | Задні бок | ||
| ТТВ | ≤8 мкм | ≤10 мкм | ≤20 мкм |
| ЛУК | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм |
| ВАРТ | ≤12 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Выключэнне па краях | ≤2 мм | ||
| Спецыфікацыя шаблону | Структура формы | Купал, конус, піраміда | |
| Вышыня ўзору | 1,6~1,8 мкм | ||
| Дыяметр шаблону | 2,75~2,85 мкм | ||
| Прастора ўзору | 0,1~0,3 мкм | ||
Кампанія XKH спецыялізуецца на пастаўцы высакаякасных, індывідуальных узорных сапфіравых падложак (PSS) з тэхнічнай падтрымкай і пасляпродажным абслугоўваннем, каб дапамагчы кліентам дасягнуць эфектыўных інавацый у галіне святлодыёдаў, дысплеяў і оптаэлектронікі.
1. Высокаякасны пастаўшчык PSS: узорныя сапфіравыя падкладкі розных памераў (2", 4", 6") для задавальнення патрэб святлодыёдных, дысплейных і оптаэлектронных прылад.
2. Індывідуальны дызайн: наладзьце мікра-нанаструктуру паверхні (напрыклад, конус, піраміду або шасцікутны масіў) у адпаведнасці з патрэбамі кліента, каб аптымізаваць эфектыўнасць святловыдзялення.
3. Тэхнічная падтрымка: Забяспечвае распрацоўку прыкладанняў PSS, аптымізацыю працэсаў і тэхнічныя кансультацыі, каб дапамагчы кліентам палепшыць прадукцыйнасць прадукту.
4. Падтрымка эпітаксіяльнага росту: для забеспячэння высакаякаснага эпітаксіяльнага росту прадугледжаны PSS, сумяшчальны з эпітаксіяльным матэрыялам GaN.
5. Тэсціраванне і сертыфікацыя: Прадастаўленне справаздачы аб праверцы якасці PSS, каб гарантаваць адпаведнасць прадукцыі галіновым стандартам.
Падрабязная дыяграма
