Прэміум-сапфіравыя ліфт-штыфты Монакрыштальны ліфт-штыфт Al₂O₃ для пласцін

Кароткае апісанне:

Сапфіравыя пад'ёмныя штыфты ўяўляюць сабой крытычна важнае прасоўванне ў галіне кампанентаў для апрацоўкі паўправаднікоў. Яны выраблены з монакрышталічнага сапфіра ультравысокай чысціні (Al₂O₃) для задавальнення высокіх патрабаванняў сучасных тэхналогій мікравытворчасці. Гэтыя дакладныя кампаненты сталі незаменнымі ў вытворчасці паўправадніковых прылад, сістэмах эпітаксіяльнага росту святлодыёдаў і перадавых прымяненнях для апрацоўкі пласцін. Унікальная крышталічная структура сінтэтычнага сапфіра надае матэрыялу незвычайныя ўласцівасці, якія дазваляюць гэтым пад'ёмным штыфтам пераўзыходзіць традыцыйныя альтэрнатывы ў самых складаных эксплуатацыйных умовах. Іх выключная тэрмічная стабільнасць падтрымлівае механічную цэласнасць пры экстрэмальных тэмпературных градыентах, а іх уласцівая хімічная ўстойлівасць забяспечвае стабільную прадукцыйнасць пры ўздзеянні агрэсіўных хімічных працэсаў. Гэта спалучэнне ўласцівасцей робіць сапфіравыя пад'ёмныя штыфты пераважным рашэннем для крытычных задач па апрацоўцы пласцін, дзе дакладнасць на нанаметровым узроўні, кантроль забруджвання і надзейнасць працэсу маюць першараднае значэнне.


Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Тэхнічныя параметры

Хімічны склад Al2O3
Цвёрдасць 9 Мохс
Аптычная прырода Аднавосевы
Паказчык праламлення 1,762–1,770
Падвойнае праламленне 0,008–0,010
Дысперсія Нізкі, 0,018
Бляск Шклопадобнае цела
Плеахроізм Ад сярэдняга да моцнага
Дыяметр 0,4 мм-30 мм
Дапушчальнае дыяметра 0,004 мм-0,05 мм
даўжыня 2 мм-150 мм
дапушчальная даўжыня 0,03 мм-0,25 мм
Якасць паверхні 40/20
Кругласць паверхні RZ0.05
Карыстальніцкая форма абодва канцы плоскія, адзін канец рэдус, абодва канцы рэдус,
сядлавыя штыфты і спецыяльныя формы

Асноўныя характарыстыкі

1. Выключная цвёрдасць і зносаўстойлівасць: з цвёрдасцю па шкале Мооса 9, саступаючы толькі алмазу, сапфіравыя ліфт-штыфты дэманструюць характарыстыкі зносаўстойлівасці, якія значна пераўзыходзяць традыцыйныя альтэрнатывы з карбіду крэмнію, аксіду алюмінію, керамікі або металічных сплаваў. Гэтая надзвычайная цвёрдасць азначае значнае зніжэнне ўтварэння часціц і патрабаванняў да абслугоўвання, прычым тэрмін службы звычайна ў 3-5 разоў даўжэйшы, чым у традыцыйных матэрыялаў у падобных умовах прымянення.

2. Выдатная ўстойлівасць да высокіх тэмператур: Распрацаваныя для працяглай працы пры тэмпературах, якія перавышаюць 1000°C без дэградацыі, сапфіравыя пад'ёмныя штыфты захоўваюць стабільнасць памераў і механічную трываласць у самых складаных тэрмічных працэсах. Гэта робіць іх асабліва каштоўнымі для такіх крытычна важных ужыванняў, як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD), металаарганічнае хімічнае асаджэнне з паравой фазы (MOCVD) і сістэмы высокатэмпературнага адпалу, дзе неадпаведнасць цеплавога пашырэння можа паўплываць на выхад працэсу.

3. Хімічная інертнасць: Структура монакрышталічнага сапфіра дэманструе выдатную ўстойлівасць да ўздзеяння HF кіслаты, хімічных рэчываў на аснове хлору і іншых агрэсіўных тэхналагічных газаў, якія звычайна сустракаюцца ў вытворчасці паўправаднікоў. Гэтая хімічная стабільнасць забяспечвае стабільную працу ў плазменных асяроддзях і прадухіляе ўтварэнне паверхневых дэфектаў, якія могуць прывесці да забруджвання пласціны.

4. Нізкае забруджванне часціцамі: вырабленыя з бездэфектных, высокачыстых крышталяў сапфіра (звычайна >99,99%), гэтыя пад'ёмныя штыфты дэманструюць мінімальнае асыпанне часціц нават пасля працяглага выкарыстання. Іх непарыстая структура паверхні і паліраваная аздабленне адпавядаюць самым строгім патрабаванням чыстых памяшканняў, непасрэдна спрыяючы павышэнню прадукцыйнасці працэсаў вытворчасці паўправадніковых вузлоў.

Высокадакладная апрацоўка: Выкарыстоўваючы перадавыя тэхналогіі алмазнага шліфавання і лазернай апрацоўкі, сапфіравыя пад'ёмныя штыфты могуць вырабляцца з субмікроннымі допускамі і аздабленнем паверхні ніжэй за 0,05 мкм Ra. Для вырашэння канкрэтных праблем апрацоўкі пласцін у вытворчай абсталяванні наступнага пакалення могуць быць распрацаваны спецыяльныя геаметрыі, у тым ліку канічныя профілі, спецыяльныя канфігурацыі наканечнікаў і інтэграваныя функцыі выраўноўвання.

Асноўныя прымянення

1. Вытворчасць паўправаднікоў: сапфіравыя пад'ёмныя штыфты адыгрываюць важную ролю ў перадавых сістэмах апрацоўкі пласцін, забяспечваючы надзейную падтрымку і дакладнае пазіцыянаванне падчас фоталітаграфіі, травлення, нанясення і кантролю. Іх тэрмічная і хімічная стабільнасць робіць іх асабліва каштоўнымі ў інструментах EUV-літаграфіі і перадавых упакоўках, дзе важная памерная стабільнасць у нанаметровым маштабе.

2. Святлодыёдная эпітаксія (MOCVD): У сістэмах эпітаксіяльнага росту на аснове нітрыду галію (GaN) і падобных паўправадніковых злучэнняў сапфіравыя ліфт-штыфты забяспечваюць стабільную падтрымку пласцін пры тэмпературах, якія часта перавышаюць 1000°C. Іх супастаўныя характарыстыкі цеплавога пашырэння з сапфіравымі падложкамі мінімізуюць выгінанне пласцін і ўтварэнне слізгацення падчас працэсу эпітаксіяльнага росту.

3. Фотаэлектрычная прамысловасць: Высокаэфектыўная вытворчасць сонечных элементаў выкарыстоўвае унікальныя ўласцівасці сапфіра ў працэсах высокатэмпературнай дыфузіі, спякання і нанясення тонкіх плёнак. Зносаўстойлівасць кантактаў асабліва каштоўная ў умовах масавай вытворчасці, дзе тэрмін службы кампанентаў непасрэдна ўплывае на вытворчыя выдаткі.

4. Дакладная оптыка і апрацоўка электронікі: Акрамя паўправадніковых прымяненняў, сапфіравыя пад'ёмныя штыфты знаходзяць прымяненне ў апрацоўцы далікатных аптычных кампанентаў, прылад MEMS і спецыяльных падкладак, дзе апрацоўка без забруджвання і прадухіленне драпін маюць вырашальнае значэнне. Іх электраізаляцыйныя ўласцівасці робяць іх ідэальнымі для прымянення з прыладамі, адчувальнымі да электрастатыкі.

Паслугі XKH па пад'ёмных штыфтах з сапфіру

XKH забяспечвае комплексную тэхнічную падтрымку і індывідуальныя рашэнні для сапфіравых пад'ёмных штыфтоў:

1. Паслугі па распрацоўцы на заказ
· Падтрымка налады памераў, геаметрыі і апрацоўкі паверхняў
· Рэкамендацыі па выбары матэрыялаў і аптымізацыі тэхнічных параметраў
· Сумеснае праектаванне прадукту і праверка мадэлявання
2. Магчымасці дакладнай вытворчасці
· Высокадакладная апрацоўка з кантролем дапушчальных адхіленняў у межах ±1 мкм
· Спецыяльная апрацоўка, у тым ліку люстраная паліроўка і зняцце фаскі па краях
· Дадатковыя рашэнні для мадыфікацыі паверхні, такія як антыпрыгарныя пакрыцці
3. Сістэма забеспячэння якасці
· Строгае ўкараненне кантролю ўваходных матэрыялаў і кантролю працэсаў
· Поўнамерны аптычны кантроль і аналіз марфалогіі паверхні
· Прадастаўленне справаздач аб выпрабаваннях прадукцыйнасці прадукцыі
4. Паслугі па ланцужку паставак
· Хуткая дастаўка стандартных прадуктаў
· Спецыяльнае кіраванне запасамі для ключавых кліентаў
5. Тэхнічная падтрымка
· Кансультацыі па прыкладных рашэннях
· Хуткае рэагаванне на пасляпродажнае абслугоўванне
Мы імкнемся прадастаўляць высакаякасныя вырабы з сапфіравых пад'ёмных штыфтоў і прафесійныя тэхнічныя паслугі, каб адпавядаць строгім патрабаванням паўправадніковай, святлодыёднай і іншых перадавых галін прамысловасці.

Сапфіравыя пад'ёмныя штыфты 1
Сапфіравыя пад'ёмныя штыфты 4