Прэміум-сапфіравыя ліфт-штыфты Монакрыштальны ліфт-штыфт Al₂O₃ для пласцін
Тэхнічныя параметры
Хімічны склад | Al2O3 |
Цвёрдасць | 9 Мохс |
Аптычная прырода | Аднавосевы |
Паказчык праламлення | 1,762–1,770 |
Падвойнае праламленне | 0,008–0,010 |
Дысперсія | Нізкі, 0,018 |
Бляск | Шклопадобнае цела |
Плеахроізм | Ад сярэдняга да моцнага |
Дыяметр | 0,4 мм-30 мм |
Дапушчальнае дыяметра | 0,004 мм-0,05 мм |
даўжыня | 2 мм-150 мм |
дапушчальная даўжыня | 0,03 мм-0,25 мм |
Якасць паверхні | 40/20 |
Кругласць паверхні | RZ0.05 |
Карыстальніцкая форма | абодва канцы плоскія, адзін канец рэдус, абодва канцы рэдус, сядлавыя штыфты і спецыяльныя формы |
Асноўныя характарыстыкі
1. Выключная цвёрдасць і зносаўстойлівасць: з цвёрдасцю па шкале Мооса 9, саступаючы толькі алмазу, сапфіравыя ліфт-штыфты дэманструюць характарыстыкі зносаўстойлівасці, якія значна пераўзыходзяць традыцыйныя альтэрнатывы з карбіду крэмнію, аксіду алюмінію, керамікі або металічных сплаваў. Гэтая надзвычайная цвёрдасць азначае значнае зніжэнне ўтварэння часціц і патрабаванняў да абслугоўвання, прычым тэрмін службы звычайна ў 3-5 разоў даўжэйшы, чым у традыцыйных матэрыялаў у падобных умовах прымянення.
2. Выдатная ўстойлівасць да высокіх тэмператур: Распрацаваныя для працяглай працы пры тэмпературах, якія перавышаюць 1000°C без дэградацыі, сапфіравыя пад'ёмныя штыфты захоўваюць стабільнасць памераў і механічную трываласць у самых складаных тэрмічных працэсах. Гэта робіць іх асабліва каштоўнымі для такіх крытычна важных ужыванняў, як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD), металаарганічнае хімічнае асаджэнне з паравой фазы (MOCVD) і сістэмы высокатэмпературнага адпалу, дзе неадпаведнасць цеплавога пашырэння можа паўплываць на выхад працэсу.
3. Хімічная інертнасць: Структура монакрышталічнага сапфіра дэманструе выдатную ўстойлівасць да ўздзеяння HF кіслаты, хімічных рэчываў на аснове хлору і іншых агрэсіўных тэхналагічных газаў, якія звычайна сустракаюцца ў вытворчасці паўправаднікоў. Гэтая хімічная стабільнасць забяспечвае стабільную працу ў плазменных асяроддзях і прадухіляе ўтварэнне паверхневых дэфектаў, якія могуць прывесці да забруджвання пласціны.
4. Нізкае забруджванне часціцамі: вырабленыя з бездэфектных, высокачыстых крышталяў сапфіра (звычайна >99,99%), гэтыя пад'ёмныя штыфты дэманструюць мінімальнае асыпанне часціц нават пасля працяглага выкарыстання. Іх непарыстая структура паверхні і паліраваная аздабленне адпавядаюць самым строгім патрабаванням чыстых памяшканняў, непасрэдна спрыяючы павышэнню прадукцыйнасці працэсаў вытворчасці паўправадніковых вузлоў.
Высокадакладная апрацоўка: Выкарыстоўваючы перадавыя тэхналогіі алмазнага шліфавання і лазернай апрацоўкі, сапфіравыя пад'ёмныя штыфты могуць вырабляцца з субмікроннымі допускамі і аздабленнем паверхні ніжэй за 0,05 мкм Ra. Для вырашэння канкрэтных праблем апрацоўкі пласцін у вытворчай абсталяванні наступнага пакалення могуць быць распрацаваны спецыяльныя геаметрыі, у тым ліку канічныя профілі, спецыяльныя канфігурацыі наканечнікаў і інтэграваныя функцыі выраўноўвання.
Асноўныя прымянення
1. Вытворчасць паўправаднікоў: сапфіравыя пад'ёмныя штыфты адыгрываюць важную ролю ў перадавых сістэмах апрацоўкі пласцін, забяспечваючы надзейную падтрымку і дакладнае пазіцыянаванне падчас фоталітаграфіі, травлення, нанясення і кантролю. Іх тэрмічная і хімічная стабільнасць робіць іх асабліва каштоўнымі ў інструментах EUV-літаграфіі і перадавых упакоўках, дзе важная памерная стабільнасць у нанаметровым маштабе.
2. Святлодыёдная эпітаксія (MOCVD): У сістэмах эпітаксіяльнага росту на аснове нітрыду галію (GaN) і падобных паўправадніковых злучэнняў сапфіравыя ліфт-штыфты забяспечваюць стабільную падтрымку пласцін пры тэмпературах, якія часта перавышаюць 1000°C. Іх супастаўныя характарыстыкі цеплавога пашырэння з сапфіравымі падложкамі мінімізуюць выгінанне пласцін і ўтварэнне слізгацення падчас працэсу эпітаксіяльнага росту.
3. Фотаэлектрычная прамысловасць: Высокаэфектыўная вытворчасць сонечных элементаў выкарыстоўвае унікальныя ўласцівасці сапфіра ў працэсах высокатэмпературнай дыфузіі, спякання і нанясення тонкіх плёнак. Зносаўстойлівасць кантактаў асабліва каштоўная ў умовах масавай вытворчасці, дзе тэрмін службы кампанентаў непасрэдна ўплывае на вытворчыя выдаткі.
4. Дакладная оптыка і апрацоўка электронікі: Акрамя паўправадніковых прымяненняў, сапфіравыя пад'ёмныя штыфты знаходзяць прымяненне ў апрацоўцы далікатных аптычных кампанентаў, прылад MEMS і спецыяльных падкладак, дзе апрацоўка без забруджвання і прадухіленне драпін маюць вырашальнае значэнне. Іх электраізаляцыйныя ўласцівасці робяць іх ідэальнымі для прымянення з прыладамі, адчувальнымі да электрастатыкі.
Паслугі XKH па пад'ёмных штыфтах з сапфіру
XKH забяспечвае комплексную тэхнічную падтрымку і індывідуальныя рашэнні для сапфіравых пад'ёмных штыфтоў:
1. Паслугі па распрацоўцы на заказ
· Падтрымка налады памераў, геаметрыі і апрацоўкі паверхняў
· Рэкамендацыі па выбары матэрыялаў і аптымізацыі тэхнічных параметраў
· Сумеснае праектаванне прадукту і праверка мадэлявання
2. Магчымасці дакладнай вытворчасці
· Высокадакладная апрацоўка з кантролем дапушчальных адхіленняў у межах ±1 мкм
· Спецыяльная апрацоўка, у тым ліку люстраная паліроўка і зняцце фаскі па краях
· Дадатковыя рашэнні для мадыфікацыі паверхні, такія як антыпрыгарныя пакрыцці
3. Сістэма забеспячэння якасці
· Строгае ўкараненне кантролю ўваходных матэрыялаў і кантролю працэсаў
· Поўнамерны аптычны кантроль і аналіз марфалогіі паверхні
· Прадастаўленне справаздач аб выпрабаваннях прадукцыйнасці прадукцыі
4. Паслугі па ланцужку паставак
· Хуткая дастаўка стандартных прадуктаў
· Спецыяльнае кіраванне запасамі для ключавых кліентаў
5. Тэхнічная падтрымка
· Кансультацыі па прыкладных рашэннях
· Хуткае рэагаванне на пасляпродажнае абслугоўванне
Мы імкнемся прадастаўляць высакаякасныя вырабы з сапфіравых пад'ёмных штыфтоў і прафесійныя тэхнічныя паслугі, каб адпавядаць строгім патрабаванням паўправадніковай, святлодыёднай і іншых перадавых галін прамысловасці.

