Вафля з кварцавага шкла JGS1 JGS2 BF33 Вафля 8 цаляў 12 цаляў 725 ± 25 мкм або індывідуальныя
Спецыфікацыя
спец | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Дыяметр | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
Таўшчыня | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Першасная кватэра | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / Выемка | Выемка | Выемка | Выемка |
LTV (5 мм x 5 мм) | <0,5 мкм | <0,5 мкм | <0,5 мкм | <0,5 мкм | <0,5 мкм |
TTV | < 2 мкм | < 3 мкм | <3um | <10 мкм | <10 мкм |
Лук | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
Дэфармацыя | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
Закругленне краю | Сумяшчальны са стандартам SEMI M1.2/звярніцеся да IEC62276 | ||||
Тып паверхні | Аднабаковы паліраваны / Двухбаковы паліраваны | ||||
Паліраваны бок Ra | Ra≤1 нм | ||||
Крытэрыі тыльнага боку | Ra 0.2-0.7um або індывідуальныя |
Пласціна з кварцавага шкла JGS1 JGS2 BF33 Табліца параметраў пласціны
Ужыванне
Пласціны з кварцавага шкла, вырабленыя з JGS1, JGS2 і BF33, шырока выкарыстоўваюцца ў розных галінах высокадакладнай прамысловасці. Гэтыя пласціны ідэальна падыходзяць для вытворчасці паўправаднікоў, у тым ліку падкладак для фотамаскаў і оптыкі на ўзроўні пласцін. Яны таксама падыходзяць для аптычных кампанентаў, лазераў і датчыкаў у такіх галінах, як тэлекамунікацыі, аэракасмічная прамысловасць і медыцынскае абсталяванне. Іх высокая тэрмаўстойлівасць і ўстойлівасць да тэрмічнага ўдару робяць іх ідэальнымі для экстрэмальных тэмпературных асяроддзяў, у той час як іх выключнае прапусканне мае вырашальнае значэнне для ультрафіялетавай (УФ) і інфрачырвонай (ІЧ) оптыкі.
Уласцівасці
Тыпы матэрыялу:
JGS1: Высокая прапускальнасць УФ, выдатна падыходзіць для ультрафіялетавага святла.
JGS2: Збалансаваны каэфіцыент прапускання ў УФ, бачным і інфрачырвоным дыяпазонах, прыдатны для агульнага аптычнага выкарыстання.
BF33: боросиликатное шкло з высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай трываласцю. Параметры памеру:
Даступны ў стандартных памерах 8-цалевых і 12-цалевых пласцін.
Індывідуальныя памеры могуць быць выраблены ў залежнасці ад канкрэтных патрабаванняў. Таўшчыня:
Стандартная таўшчыня складае 725 ± 25 мкм.
Наладжвальная таўшчыня даступная для задавальнення розных прамысловых патрэб.
Цеплавыя ўласцівасці:
Выдатная тэрмастабільнасць, падыходзіць для выкарыстання ў асяроддзях з высокай тэмпературай.
Высокая ўстойлівасць да тэрмічнага ўдару.
Хімічная ўстойлівасць:
Высокая ўстойлівасць да карозіі ад кіслот, шчолачаў і большасці хімічных рэчываў, асабліва ў BF33.
Аптычныя ўласцівасці:
Пласціны JGS1 і JGS2 забяспечваюць высокую аптычную прапускальнасць ва ўльтрафіялетавым (УФ), бачным і інфрачырвоным (ІЧ) дыяпазонах.
Ідэальна падыходзіць для дакладных аптычных кампанентаў, фатонікі і лазераў.
Якасць паверхні:
Высокая роўнасць і гладкасць паверхні, што забяспечвае дакладнасць вытворчасці паўправаднікоў і аптычных прылад.
Гэтыя ўласцівасці робяць пласціны JGS1, JGS2 і BF33 універсальнымі і надзейнымі для высокапрадукцыйных прымянення ў такіх галінах, як оптыка, электроніка і паўправаднікі.
У цэлым
Пласціны з кварцавага шкла, вырабленыя з JGS1, JGS2 і BF33, забяспечваюць выключную прадукцыйнасць у розных патрабавальных прылажэннях. Даступныя ў стандартных памерах 8 цаляў і 12 цаляў з таўшчынёй 725 ± 25 мкм, гэтыя пласціны таксама можна наладзіць у адпаведнасці з пэўнымі патрабаваннямі. JGS1 і JGS2 забяспечваюць высокую аптычную прапускальнасць ў УФ-, бачным і ВК-дыяпазоне, а BF33 забяспечвае выдатную хімічную ўстойлівасць і тэрмічную стабільнасць. З высокай плоскасцю і гладкасцю паверхні гэтыя пласціны ідэальна падыходзяць для прэцызійных галін прамысловасці, такіх як паўправаднікі, оптыка і фатоніка, забяспечваючы надзейнасць і даўгавечнасць у экстрэмальных умовах і крытычна важных прыкладаннях.