Працэс, які выконваецца з дапамогай паўправадніковага лазернага абсталявання для адрыву, пачынаецца з апраменьвання донарскага злітка з аднаго боку высокаэнергетычным ультрафіялетавым лазерным праменем. Гэты прамень шчыльна факусуецца на пэўнай унутранай глыбіні, звычайна ўздоўж спецыяльна арганізаванай мяжы міжфазнай мяжы, дзе паглынанне энергіі максімальнае дзякуючы аптычнаму, цеплавому або хімічнаму кантрасту.

У гэтым пласце паглынання энергіі лакалізаваны нагрэў прыводзіць да хуткага мікравыбуху, пашырэння газу або раскладання міжфазнага пласта (напрыклад, плёнкі стрэсара або ахвярнага аксіду). Гэта дакладна кантраляванае разбурэнне прыводзіць да таго, што верхні крышталічны пласт — таўшчынёй у дзясяткі мікраметраў — чыста аддзяляецца ад асноўнага злітка.

Паўправадніковае лазернае абсталяванне для адрыву выкарыстоўвае сінхранізаваныя з рухам сканіруючыя галоўкі, праграмуемае кіраванне воссю Z і рэфлектаметрыю ў рэжыме рэальнага часу, каб гарантаваць, што кожны імпульс падае энергію дакладна ў мэтавую плоскасць. Абсталяванне таксама можа быць настроена на рэжым пакетнай або шматімпульснай працы для павышэння плаўнасці адрыву і мінімізацыі рэшткавага напружання. Важна адзначыць, што, паколькі лазерны прамень ніколі фізічна не датыкаецца з матэрыялам, рызыка мікратрэшчынаў, выгібу або сколаў паверхні значна зніжаецца.

Гэта робіць метад лазернага аддзялення ад пласцін рэвалюцыйным, асабліва ў тых выпадках, калі патрабуюцца ультраплоскія, ультратонкія пласціны з субмікроннай TTV (агульнай варыяцыяй таўшчыні).