Керамічная рычажная перадача з карбіду крэмнію для пераноскі пласцін

Кароткае апісанне:

Пласціны LiNbO₃ прадстаўляюць сабой залаты стандарт у інтэграванай фатоніцы і дакладнай акустыцы, забяспечваючы беспрэцэдэнтную прадукцыйнасць у сучасных оптаэлектронных сістэмах. Як вядучы вытворца, мы ўдасканалілі мастацтва вытворчасці гэтых інжынерных падкладак з дапамогай перадавых метадаў ураўнаважвання пераносу пара, дасягнуўшы вядучай у галіны крышталічнай дасканаласці з шчыльнасцю дэфектаў ніжэй за 50/см².

Вытворчыя магчымасці XKH ахопліваюць дыяметры ад 75 мм да 150 мм, з дакладным кантролем арыентацыі (X/Y/Z-рэз ±0,3°) і спецыялізаванымі варыянтамі легіравання, у тым ліку рэдказямельнымі элементамі. Унікальнае спалучэнне ўласцівасцей пласцін LiNbO₃, у тым ліку іх выдатны каэфіцыент r₃₃ (32±2 пм/В) і шырокая празрыстасць ад блізкага ультрафіялетавага да сярэдняга інфрачырвонага дыяпазону, робіць іх незаменнымі для фатонных схем наступнага пакалення і высокачастотных акустычных прылад.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Керамічны канцавы эфектар SiC Анатацыя

Керамічны канцавы эфектар з карбіду крэмнію (SiC) з'яўляецца найважнейшым кампанентам у высокадакладных сістэмах апрацоўкі пласцін, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў і ў перадавых асяроддзях мікравытворчасці. Распрацаваны ў адпаведнасці з высокімі патрабаваннямі да звышчыстых, высокатэмпературных і вельмі стабільных асяроддзяў, гэты спецыялізаваны канцавы эфектар забяспечвае надзейную і бясшкодную транспарціроўку пласцін падчас ключавых этапаў вытворчасці, такіх як літаграфія, травленне і нанясенне пакрыццяў.

Выкарыстоўваючы цудоўныя ўласцівасці карбіду крэмнію, такія як высокая цеплаправоднасць, надзвычайная цвёрдасць, выдатная хімічная інертнасць і мінімальнае цеплавое пашырэнне, керамічны канцавы эфектар з карбіду крэмнію забяспечвае непераўзыдзеную механічную калянасць і стабільнасць памераў нават пры хуткіх тэрмічных цыклах або ў каразійных працэсных камерах. Яго нізкі ўзровень утварэння часціц і характарыстыкі плазмаўстойлівасці робяць яго асабліва прыдатным для чыстых памяшканняў і вакуумнай апрацоўкі, дзе падтрыманне цэласнасці паверхні пласцін і зніжэнне забруджвання часціцамі маюць першараднае значэнне.

Керамічны канцавы эфектар SiC Ужыванне

1. Апрацоўка паўправадніковых пласцін

Керамічныя канцавыя эфектары з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай прамысловасці для апрацоўкі крэмніевых пласцін падчас аўтаматызаванай вытворчасці. Гэтыя канцавыя эфектары звычайна мацуюцца на рабатызаваных маніпулятарах або вакуумных сістэмах перадачы і прызначаны для працы з пласцінамі розных памераў, такіх як 200 мм і 300 мм. Яны неабходныя ў такіх працэсах, як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD), фізічнае асаджэнне з паравой фазы (PVD), травленне і дыфузія, дзе звычайныя высокія тэмпературы, вакуумныя ўмовы і агрэсіўныя газы. Выключная тэрмаўстойлівасць і хімічная стабільнасць карбіду крэмнію робяць яго ідэальным матэрыялам, які можа вытрымліваць такія суровыя ўмовы без дэградацыі.

2. Сумяшчальнасць з чыстымі памяшканнямі і вакуумам

У чыстых памяшканнях і вакуумных умовах, дзе забруджванне часціцамі павінна быць мінімізавана, кераміка з карбіду крэмнію (SIC) прапануе значныя перавагі. Шчыльная, гладкая паверхня матэрыялу супраціўляецца ўтварэнню часціц, дапамагаючы падтрымліваць цэласнасць пласцін падчас транспарціроўкі. Гэта робіць канцавыя эфектары з карбіду крэмнію асабліва прыдатнымі для крытычна важных працэсаў, такіх як экстрэмальная ультрафіялетавая літаграфія (EUV) і атамна-слаёвае нанясенне (ALD), дзе чысціня мае вырашальнае значэнне. Акрамя таго, нізкае газааддзяленне і высокая плазмаўстойлівасць SiC забяспечваюць надзейную працу ў вакуумных камерах, падаўжаючы тэрмін службы інструментаў і зніжаючы частату тэхнічнага абслугоўвання.

3. Высокадакладныя сістэмы пазіцыянавання

Дакладнасць і стабільнасць маюць жыццёва важнае значэнне ў перадавых сістэмах апрацоўкі пласцін, асабліва ў метралагічнай, кантрольнай і выраўноўвальнай абсталяванні. Кераміка з карбіду крэмнію мае надзвычай нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння і высокую калянасць, што дазваляе канцавому эфектару захоўваць сваю структурную дакладнасць нават пры тэрмічных цыклах або механічных нагрузках. Гэта гарантуе, што пласціны застаюцца дакладна выраўнаванымі падчас транспарціроўкі, мінімізуючы рызыку мікрадрапін, няправільнага выраўноўвання або памылак вымярэння — фактараў, якія становяцца ўсё больш важнымі ў тэхналагічных вузлах з тэхналагічнай тэхналогіяй менш за 5 нм.

Уласцівасці керамічнага канцавога эфектара SiC

1. Высокая механічная трываласць і цвёрдасць

Кераміка з карбіду крэмнію валодае выключнай механічнай трываласцю, трываласць на выгіб часта перавышае 400 МПа, а цвёрдасць па Вікерсу — вышэй за 2000 HV. Гэта робіць яе вельмі ўстойлівай да механічных нагрузак, удараў і зносу нават пасля працяглага выкарыстання. Высокая калянасць карбіду крэмнію таксама мінімізуе прагін падчас хуткаснай перадачы пласцін, забяспечваючы дакладнае і паўтаральнае пазіцыянаванне.

2. Выдатная тэрмічная стабільнасць

Адной з найкаштоўнейшых уласцівасцей SiC-керамікі з'яўляецца яе здольнасць вытрымліваць надзвычай высокія тэмпературы — часта да 1600°C у інэртных атмасферах — без страты механічнай цэласнасці. Іх нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння (~4,0 x 10⁻⁶ /K) забяспечвае стабільнасць памераў пры тэрмічных цыклах, што робіць іх ідэальнымі для такіх ужыванняў, як CVD, PVD і высокатэмпературны адпал.

Пытанні і адказы з керамічным канцавым эфектарам SiC

Пытанне: Які матэрыял выкарыстоўваецца ў канчатковым эфектары пласціны?

А：Выкарыстоўвальныя элементы для пласцін звычайна вырабляюцца з матэрыялаў, якія забяспечваюць высокую трываласць, тэрмаўстойлівасць і нізкі ўзровень утварэння часціц. Сярод іх кераміка з карбіду крэмнію (SiC) з'яўляецца адным з самых перадавых і пераважных матэрыялаў. Кераміка SiC надзвычай цвёрдая, тэрмаўстойлівая, хімічна інертная і ўстойлівая да зносу, што робіць яе ідэальнай для апрацоўкі далікатных крэмніевых пласцін у чыстых памяшканнях і вакуумных асяроддзях. У параўнанні з кварцам або пакрытымі металамі, SiC забяспечвае найлепшую размерную стабільнасць пры высокіх тэмпературах і не адкідвае часціцы, што дапамагае прадухіліць забруджванне.