Керамічны рычаг/тарцавы эфектар з карбіду крэмнію — перадавыя тэхналогіі дакладнага маніпулявання для вытворчасці паўправаднікоў

Кароткае апісанне:

Керамічная відэльцавая рычаг з карбіду крэмнію, якую часта называюць керамічным канцавым эфектарам, — гэта высокапрадукцыйны кампанент дакладнай апрацоўкі, спецыяльна распрацаваны для транспарціроўкі, выраўноўвання і пазіцыянавання пласцін у высокатэхналагічных галінах прамысловасці, асабліва ў вытворчасці паўправаднікоў і фотаэлектрычных элементаў. Гэты кампанент, выраблены з выкарыстаннем высакаякаснай карбід-крэмніевай керамікі, спалучае ў сабе выключную механічную трываласць, звышнізкае цеплавое пашырэнне і найвышэйшую ўстойлівасць да цеплавых удараў і карозіі.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Агляд прадукту

У адрозненне ад традыцыйных канцавых эфектараў, вырабленых з алюмінію, нержавеючай сталі ці нават кварца, керамічныя канцавыя эфектары з карбіду крэмнію забяспечваюць непераўзыдзеную прадукцыйнасць у вакуумных камерах, чыстых памяшканнях і жорсткіх умовах апрацоўкі, што робіць іх ключавой часткай робатаў для апрацоўкі пласцін наступнага пакалення. З ростам попыту на вытворчасць без забруджвання і больш жорсткімі допускамі ў вытворчасці мікрасхем выкарыстанне керамічных канцавых эфектараў хутка становіцца галіновым стандартам.

Прынцып вытворчасці

ВырабКерамічныя канцавыя эфектары SiCуключае ў сябе серыю высокадакладных, высокачыстых працэсаў, якія забяспечваюць як прадукцыйнасць, так і даўгавечнасць. Звычайна выкарыстоўваюцца два асноўныя працэсы:

Рэакцыйна звязаны карбід крэмнію (RB-SiC)

У гэтым працэсе загатоўка, вырабленая з парашка карбіду крэмнію і звязальнага рэчыва, прасякнута расплаўленым крэмніем пры высокіх тэмпературах (~1500°C), які рэагуе з рэшткавым вугляродам, утвараючы шчыльны, цвёрды кампазіт SiC-Si. Гэты метад забяспечвае выдатны кантроль памераў і з'яўляецца эканамічна выгадным для буйнамаштабнай вытворчасці.

Спечаны карбід крэмнію без ціску (SSiC)

Карбід крэмнію (SSiC) вырабляецца шляхам спякання ультратонкага парашка высокай чысціні пры надзвычай высокіх тэмпературах (>2000°C) без выкарыстання дабавак або звязальнай фазы. У выніку атрымліваецца прадукт з амаль 100% шчыльнасцю і найвышэйшымі механічнымі і цеплавымі ўласцівасцямі, даступнымі сярод матэрыялаў з карбідам крэмнію. Ён ідэальна падыходзіць для выкарыстання ў надзвычай крытычных умовах апрацоўкі пласцін.

Пасляапрацоўка

Дакладная апрацоўка на станках з ЧПУДасягае высокай плоскасці і паралельнасці.
Аздабленне паверхніАлмазная паліроўка памяншае шурпатасць паверхні да <0,02 мкм.
ІнспекцыяДля праверкі кожнай дэталі выкарыстоўваюцца аптычная інтэрфераметрыя, КММ і неразбуральны кантроль.

Гэтыя крокі гарантуюць, штоSiC-канцавы эфектарзабяспечвае стабільную дакладнасць размяшчэння пласцін, выдатную планарнасць і мінімальнае ўтварэнне часціц.

Асноўныя характарыстыкі і перавагі

Асаблівасць	Апісанне
Звышвысокая цвёрдасць	Цвёрдасць па Вікерсу > 2500 HV, устойлівасць да зносу і сколаў.
Нізкае цеплавое пашырэнне	КТР ~4,5×10⁻⁶/K, што забяспечвае памерную стабільнасць пры цыклічнай тэмпературы.
Хімічная інертнасць	Устойлівы да ўздзеяння HF, HCl, плазменных газаў і іншых каразійных рэчываў.
Выдатная ўстойлівасць да цеплавых удараў	Падыходзіць для хуткага нагрэву/астуджэння ў вакуумных і печных сістэмах.
Высокая калянасць і трываласць	Падтрымлівае доўгія кансольныя вілкі без прагіну.
Нізкае газааддзяленне	Ідэальна падыходзіць для асяроддзяў звышвысокага вакууму (UHV).
Гатовы да чыстых памяшканняў класа 1 па ISO	Праца без часціц забяспечвае цэласнасць пласціны.

Прыкладанні

Керамічны рычаг/канцавы эфектар з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваецца ў галінах прамысловасці, якія патрабуюць надзвычайнай дакладнасці, чысціні і хімічнай устойлівасці. Асноўныя сцэнарыі прымянення ўключаюць:

Вытворчасць паўправаднікоў

Загрузка/выгрузка пласцін у сістэмах нанясення (CVD, PVD), травлення (RIE, DRIE) і ачысткі.
Рабатызаваная транспарціроўка пласцін паміж FOUP, касетамі і тэхналагічнымі інструментамі.
Высокатэмпературная апрацоўка падчас тэрмічнай апрацоўкі або адпалу.

Вытворчасць фотаэлектрычных элементаў

Далікатная транспарціроўка далікатных крэмніевых пласцін або сонечных падкладак на аўтаматызаваных лініях.

Прамысловасць плоскіх дысплеяў (FPD)

Перамяшчэнне вялікіх шкляных панэляў або падкладак у вытворчых асяроддзях OLED/LCD.

Паўправадніковыя злучэнні / MEMS

Выкарыстоўваецца ў вытворчых лініях GaN, SiC і MEMS, дзе кантроль забруджвання і дакладнасць пазіцыянавання маюць вырашальнае значэнне.

Яго роля ў якасці канцавога эфектара асабліва важная для забеспячэння бездэфектнага і стабільнага кіравання падчас адчувальных аперацый.

Магчымасці налады

Мы прапануем шырокі спектр магчымасцей налады для задавальнення розных патрабаванняў да абсталявання і працэсаў:

Дызайн відэльцаўДвухзубыя, шматпальцавыя або двух'ярусныя макеты.
Сумяшчальнасць памераў пласцінАд 2 да 12 цаляў вафель.
Мантажныя інтэрфейсыСумяшчальны з OEM-рабатызаванымі рукамі.
Дапушчальныя адхіленні таўшчыні і паверхніДаступная плоскасць на ўзроўні мікрон і закругленне краёў.
Асаблівасці супраць слізгаценняДадатковыя тэкстуры паверхні або пакрыцці для надзейнага счаплення пласціны.

Кожныкерамічны канцавы эфектарраспрацоўваецца сумесна з кліентамі, каб забяспечыць дакладную пасадку з мінімальнымі зменамі інструментаў.

Часта задаваныя пытанні (FAQ)

Пытанне 1: Чым SiC лепшы за кварц для прымянення ў канцавым эфектары?
А1:Нягледзячы на тое, што кварц звычайна выкарыстоўваецца дзеля сваёй чысціні, яму не хапае механічнай трываласці і ён схільны да паломак пад нагрузкай або тэмпературным перападам. Карбід крэмнію (SiC) забяспечвае найвышэйшую трываласць, зносаўстойлівасць і тэрмічную стабільнасць, што значна зніжае рызыку прастояў і пашкоджання пласцін.

Пытанне 2: Ці сумяшчальны гэты керамічны рычаг з відэльцам з усімі рабатызаванымі манетчыкамі пласцін?
А2:Так, нашы керамічныя канцавыя эфектары сумяшчальныя з большасцю асноўных сістэм апрацоўкі пласцін і могуць быць адаптаваны да вашых канкрэтных мадэляў робатаў з дакладнымі інжынернымі чарцяжамі.

Пытанне 3: Ці можа ён апрацоўваць пласціны памерам 300 мм без дэфармацыі?
А3:Безумоўна. Высокая калянасць карбіду крэмнію дазваляе нават тонкім, доўгім рычагам надзейна ўтрымліваць пласціны памерам 300 мм без прагінаў і адхіленняў падчас руху.

Пытанне 4: Які тыповы тэрмін службы керамічнага канцавога эфектара з карбіду крэмнію?
А4:Пры правільным выкарыстанні канцавы эфектар з карбіду крэмнію можа праслужыць у 5-10 разоў даўжэй, чым традыцыйныя кварцавыя або алюмініевыя мадэлі, дзякуючы выдатнай устойлівасці да тэрмічных і механічных нагрузак.

Пытанне 5: Ці прапануеце вы паслугі па замене або хуткаму прататыпаванню?
А5:Так, мы падтрымліваем хуткую вытворчасць узораў і прапануем паслугі па замене на аснове чарцяжоў САПР або дэталяў, атрыманых шляхам зваротнага праектавання з існуючага абсталявання.

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на высокатэхналагічнай распрацоўцы, вытворчасці і продажы спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.