Керамічны паддон з карбіду крэмнію для носьбіта пласцін з устойлівасцю да высокіх тэмператур
Керамічны паддон з карбіду крэмнію (SiC Podnos)
Высокапрадукцыйны керамічны кампанент на аснове карбіду крэмнію (SiC), распрацаваны для перадавых прамысловых ужыванняў, такіх як вытворчасць паўправаднікоў і святлодыёдаў. Яго асноўныя функцыі ўключаюць выкарыстанне ў якасці носьбіта пласцін, платформы для працэсу травлення або падтрымкі высокатэмпературных працэсаў, выкарыстоўваючы выключную цеплаправоднасць, устойлівасць да высокіх тэмператур і хімічную стабільнасць для забеспячэння аднастайнасці працэсу і выхаду прадукцыі.
Асноўныя характарыстыкі
1. Цеплавыя характарыстыкі
- Высокая цеплаправоднасць: 140–300 Вт/м·К, што значна пераўзыходзіць традыцыйны графіт (85 Вт/м·К), што дазваляе хутка рассейваць цяпло і зніжаць цеплавую нагрузку.
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння: 4,0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), што блізка да крэмнію (2,6×10⁻⁶/℃), што мінімізуе рызыку цеплавой дэфармацыі.
2. Механічныя ўласцівасці
- Высокая трываласць: трываласць на выгіб ≥320 МПа (20℃), устойлівасць да сціску і ўдару.
- Высокая цвёрдасць: цвёрдасць па шкале Мооса 9,5, саступаючы толькі алмазу, забяспечваючы найвышэйшую зносаўстойлівасць.
3. Хімічная стабільнасць
- Устойлівасць да карозіі: устойлівая да моцных кіслот (напрыклад, HF, H₂SO₄), падыходзіць для выкарыстання ў працэсах травлення.
- Немагнітны: Уласная магнітная ўспрымальнасць <1×10⁻⁶ emu/g, што дазваляе пазбегнуць перашкод для дакладных прыбораў.
4. Экстрэмальная ўстойлівасць да навакольнага асяроддзя
- Высокатэмпературная ўстойлівасць: працяглая эксплуатацыйная тэмпература да 1600–1900℃; кароткачасовая ўстойлівасць да 2200℃ (у асяроддзі без кіслароду).
- Цеплавая ўстойлівасць да ўдараў: вытрымлівае рэзкія перапады тэмпературы (ΔT >1000℃) без расколін.
Прыкладанні
| Сфера прымянення | Канкрэтныя сцэнарыі | Тэхнічная каштоўнасць |
| Вытворчасць паўправаднікоў | Траўленне пласцін (ICP), нанясенне тонкіх плёнак (MOCVD), паліроўка CMP | Высокая цеплаправоднасць забяспечвае аднастайныя тэмпературныя палі; нізкае цеплавое пашырэнне мінімізуе дэфармацыю пласцін. |
| Вытворчасць святлодыёдаў | Эпітаксіяльны рост (напрыклад, GaN), нарэзка пласцін, упакоўка | Падаўляе шматтыпныя дэфекты, павялічваючы святлоаддачу і тэрмін службы святлодыёдаў. |
| Фотаэлектрычная прамысловасць | Печы для спякання крэмніевых пласцін, апоры абсталявання PECVD | Устойлівасць да высокіх тэмператур і цеплавых удараў падаўжае тэрмін службы абсталявання. |
| Лазер і оптыка | Падкладкі для астуджэння магутных лазераў, апоры аптычных сістэм | Высокая цеплаправоднасць забяспечвае хуткае рассейванне цяпла, стабілізуючы аптычныя кампаненты. |
| Аналітычныя прыборы | Трымальнікі ўзораў TGA/DSC | Нізкая цеплаёмістасць і хуткая цеплавая рэакцыя паляпшаюць дакладнасць вымярэнняў. |
Перавагі прадукту
- Усебаковыя характарыстыкі: цеплаправоднасць, трываласць і каразійная ўстойлівасць значна пераўзыходзяць кераміку з аксіду алюмінію і нітрыду крэмнію, што адпавядае экстрэмальным эксплуатацыйным патрабаванням.
- Лёгкая канструкцыя: шчыльнасць 3,1–3,2 г/см³ (40% сталі), што зніжае інэрцыйную нагрузку і павышае дакладнасць руху.
- Даўгавечнасць і надзейнасць: тэрмін службы перавышае 5 гадоў пры тэмпературы 1600℃, што скарачае час прастою і зніжае эксплуатацыйныя выдаткі на 30%.
- Налада: Падтрымлівае складаныя геаметрыі (напрыклад, сітаватыя прысоскі, шматслаёвыя латкі) з памылкай плоскаснасці <15 мкм для дакладных ужыванняў.
Тэхнічныя характарыстыкі
| Катэгорыя параметраў | Індыкатар |
| Фізічныя ўласцівасці | |
| Шчыльнасць | ≥3,10 г/см³ |
| Трываласць на выгіб (20℃) | 320–410 МПа |
| Цеплаправоднасць (20℃) | 140–300 Вт/(м·К) |
| Каэфіцыент цеплавога пашырэння (25–1000℃) | 4,0×10⁻⁶/℃ |
| Хімічныя ўласцівасці | |
| Кіслотаўстойлівасць (HF/H₂SO₄) | Няма карозіі пасля 24-гадзіннага апускання |
| Дакладнасць апрацоўкі | |
| Плоскасць | ≤15 мкм (300×300 мм) |
| Шурпатасць паверхні (Ra) | ≤0,4 мкм |
Паслугі XKH
XKH прапануе комплексныя прамысловыя рашэнні, якія ахопліваюць распрацоўку на заказ, дакладную апрацоўку і строгі кантроль якасці. Для распрацоўкі на заказ яна прапануе рашэнні з высокачыстых (>99,999%) і порыстых (30–50% порыстасці) матэрыялаў у спалучэнні з 3D-мадэляваннем і сімуляцыяй для аптымізацыі складаных геаметрыйных формаў для такіх прымяненняў, як паўправаднікі і аэракасмічная прамысловасць. Дакладная апрацоўка выконваецца па спрошчаным працэсе: апрацоўка парашка → ізастатычнае/сухое прэсаванне → спяканне пры 2200°C → шліфаванне з ЧПУ/алмазным шліфаваннем → кантроль, што забяспечвае паліроўку на нанаметровым узроўні і дапушчальнасць памераў ±0,01 мм. Кантроль якасці ўключае поўнатэхналагічныя выпрабаванні (склад рэнтгенаўскай дыфракцыі, мікраструктура SEM, трохкропкавы выгін) і тэхнічную падтрымку (аптымізацыя працэсу, кругласутачныя кансультацыі, дастаўка ўзораў на працягу 48 гадзін), пастаўляючы надзейныя, высокапрадукцыйныя кампаненты для перадавых прамысловых патрэб.
Часта задаваныя пытанні (FAQ)
1. Пытанне: У якіх галінах прамысловасці выкарыстоўваюцца керамічныя латкі з карбіду крэмнію?
A: Шырока выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў (апрацоўка пласцін), сонечнай энергіі (працэсы PECVD), медыцынскім абсталяванні (кампаненты МРТ) і аэракасмічнай прамысловасці (высокатэмпературныя дэталі) дзякуючы сваёй надзвычайнай цеплаўстойлівасці і хімічнай стабільнасці.
2. Пытанне: Чым карбід крэмнію пераўзыходзіць кварцавыя/шкляныя паддоны?
A: Больш высокая ўстойлівасць да цеплавых удараў (да 1800°C у параўнанні з 1100°C у кварца), нулявое магнітнае ўздзеянне і больш працяглы тэрмін службы (5+ гадоў у параўнанні з 6-12 месяцамі ў кварца).
3. Пытанне: Ці могуць латкі з карбіду крэмнію працаваць у кіслым асяроддзі?
A: Так. Устойлівыя да ўздзеяння HF, H2SO4 і NaOH з карозіяй <0,01 мм/год, што робіць іх ідэальнымі для хімічнага травлення і ачысткі пласцін.
4. Пытанне: Ці сумяшчальныя латкі з карбіду крэмнію з аўтаматызацыяй?
A: Так. Прызначаны для вакуумнага ўсмоктвання і рабатызаванай апрацоўкі, з роўнасцю паверхні <0,01 мм для прадухілення забруджвання часціцамі ў аўтаматызаваных вытворчых памяшканнях.
5. Пытанне: Як параўнаць кошт у параўнанні з традыцыйнымі матэрыяламі?
A: Больш высокія першапачатковыя выдаткі (у 3-5 разоў больш кварца), але на 30-50% ніжэйшая агульная вартасць уласнага капіталу дзякуючы падоўжанаму тэрміну службы, скарачэнню часу прастою і эканоміі энергіі дзякуючы лепшай цеплаправоднасці.
