Падкладка з карбіду крэмнію тыпу P 4H/6H-P 3C-N 4 цалі таўшчынёй 350 мкм Вытворчы клас Фігурны клас
4-цалевая падкладка SiC тыпу P, табліца параметраў 4H/6H-P 3C-N
4 дыяметр цалі сіліконуКарбідная (SiC) падкладка Спецыфікацыя
| Клас | Нулявая вытворчасць MPD Клас (Z) Клас) | Стандартная вытворчасць Клас (P) Клас) | Фіктивны клас (D Клас) | ||
| Дыяметр | 99,5 мм~100,0 мм | ||||
| Таўшчыня | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Арыентацыя пласціны | Па-за воссю: 2,0°-4,0° у напрамку [1120] ± 0,5° для 4H/6H-P, OВось n: 〈111〉± 0,5° для 3C-N | ||||
| Шчыльнасць мікратруб | 0 см-2 | ||||
| Супраціўленне | p-тыпу 4H/6H-P | ≤0,1 Ом·см | ≤0,3 Ом·см | ||
| n-тыпу 3C-N | ≤0,8 мОм·см | ≤1 м Ом см | |||
| Асноўная арыентацыя кватэры | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
| Даўжыня асноўнай плоскай паверхні | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Даўжыня другаснай плоскай паверхні | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Другасная плоская арыентацыя | Сіліконавая паверхня ўверх: 90° па гадзіннікавай стрэлцы ад галоўнай плоскай паверхні±5,0° | ||||
| Выключэнне па краях | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Лук/Дэфармацыя | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Шурпатасць | Польскі Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Краёвыя расколіны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Сукупная даўжыня ≤ 10 мм, адзінкавая даўжыня ≤ 2 мм | |||
| Шасцігранныя пласціны з дапамогай высокаінтэнсіўнага святла | Агульная плошча ≤0,05% | Агульная плошча ≤0,1% | |||
| Палітыпныя зоны пад уздзеяннем высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Агульная плошча ≤3% | |||
| Візуальныя ўключэнні вугляроду | Агульная плошча ≤0,05% | Агульная плошча ≤3% | |||
| Драпіны на крэмніевай паверхні ад высокаінтэнсіўнага святла | Няма | Агульная даўжыня ≤1 × дыяметр пласціны | |||
| Краёвыя сколы высокай інтэнсіўнасці святла | Не дапускаецца шырыня і глыбіня ≥0,2 мм | Дапускаецца 5, ≤1 мм кожны | |||
| Забруджванне паверхні крэмнію высокай інтэнсіўнасцю | Няма | ||||
| Упакоўка | Касета для некалькіх пласцін або кантэйнер для адной пласціны | ||||
Заўвагі:
※Ліміты на дэфекты распаўсюджваюцца на ўсю паверхню пласціны, за выключэннем зоны, дзе не выяўлены краю. # Драпіны варта правяраць толькі на паверхні крэмнію.
Падкладка з карбіду крэмнію тыпу P 4H/6H-P 3C-N таўшчынёй 350 мкм шырока ўжываецца ў вытворчасці перадавых электронных і сілавых прылад. Дзякуючы выдатнай цеплаправоднасці, высокаму напружанню прабоя і высокай устойлівасці да экстрэмальных умоў эксплуатацыі, гэтая падкладка ідэальна падыходзіць для высокапрадукцыйнай сілавой электронікі, такой як высакавольтныя перамыкачы, інвертары і радыёчастотныя прылады. Падкладкі вытворчага класа выкарыстоўваюцца ў буйной вытворчасці, забяспечваючы надзейную і высокадакладную працу прылад, што мае вырашальнае значэнне для сілавой электронікі і высокачастотных прымяненняў. Падкладкі макетнага класа, з іншага боку, у асноўным выкарыстоўваюцца для каліброўкі працэсаў, выпрабаванняў абсталявання і распрацоўкі прататыпаў, дапамагаючы падтрымліваць кантроль якасці і стабільнасць працэсаў у вытворчасці паўправаднікоў.
Спецыфікацыя Перавагі кампазітных падкладак з карбіду крэмнію N-тыпу ўключаюць
- Высокая цеплаправоднасцьЭфектыўнае рассейванне цяпла робіць падкладку ідэальнай для прымянення пры высокіх тэмпературах і высокай магутнасці.
- Высокае напружанне прабоюПадтрымлівае працу пры высокім напружанні, забяспечваючы надзейнасць сілавой электронікі і радыёчастотных прылад.
- Устойлівасць да суровых умоў эксплуатацыіУстойлівы да экстрэмальных умоў, такіх як высокія тэмпературы і агрэсіўнае асяроддзе, што забяспечвае працяглы тэрмін службы.
- Дакладнасць вытворчага класаЗабяспечвае высокую якасць і надзейную працу ў буйной вытворчасці, падыходзіць для перадавых энергетычных і радыёчастотных прымяненняў.
- Фіктивны ўзровень для тэсціраванняЗабяспечвае дакладную каліброўку працэсаў, тэставанне абсталявання і стварэнне прататыпаў без шкоды для вытворчых пласцін.
У цэлым, 4-цалевая падкладка з карбіду крэмнію тыпу P 4H/6H-P 3C-N таўшчынёй 350 мкм прапануе значныя перавагі для высокапрадукцыйных электронных прылад. Яе высокая цеплаправоднасць і напружанне прабоя робяць яе ідэальнай для выкарыстання ў умовах высокай магутнасці і высокіх тэмператур, а ўстойлівасць да суровых умоў забяспечвае даўгавечнасць і надзейнасць. Падкладка вытворчага класа забяспечвае дакладную і стабільную працу ў маштабнай вытворчасці сілавой электронікі і радыёчастотных прылад. У той жа час падкладка макетнага класа неабходная для каліброўкі працэсаў, выпрабаванняў абсталявання і стварэння прататыпаў, падтрымліваючы кантроль якасці і стабільнасць у вытворчасці паўправаднікоў. Гэтыя асаблівасці робяць падкладкі з карбіду крэмнію вельмі універсальнымі для складаных прымяненняў.
Падрабязная дыяграма
