Кансольная лапатка з карбіду крэмнію (кансольная лапатка з карбіду крэмнію)

Кансольная лапатка з карбіду крэмнію (SiC Cantilever Paddle) Выява

Кароткае апісанне:

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Агляд прадукту

Кансольная лапатка з карбіду крэмнію, вырабленая з высокапрадукцыйнага рэакцыйна-звязанага карбіду крэмнію (RBSiC), з'яўляецца найважнейшым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў сістэмах загрузкі і апрацоўкі пласцін для паўправадніковых і фотаэлектрычных прымяненняў.
У параўнанні з традыцыйнымі кварцавымі або графітавымі лапаткамі, кансольныя лапаткі з карбіду крэмнію (SIC) валодаюць найвышэйшай механічнай трываласцю, высокай цвёрдасцю, нізкім цеплавым пашырэннем і выдатнай каразійнай устойлівасцю. Яны захоўваюць выдатную структурную стабільнасць пры высокіх тэмпературах, адпавядаючы строгім патрабаванням да вялікіх памераў пласцін, падоўжанага тэрміну службы і звышнізкага ўзроўню забруджвання.

З пастаянным развіццём паўправадніковых працэсаў у напрамку павелічэння дыяметра пласцін, павышэння прапускной здольнасці і больш чыстых асяроддзяў апрацоўкі, кансольныя лапаткі з карбіду крэмнію паступова замянілі традыцыйныя матэрыялы, стаўшы пераважным выбарам для дыфузійных печаў, LPCVD і звязанага з імі высокатэмпературнага абсталявання.

Асаблівасці прадукту

Выдатная стабільнасць пры высокіх тэмпературах
- Надзейна працуе пры тэмпературы 1000–1300℃ без дэфармацыі.
- Максімальная тэмпература эксплуатацыі да 1380℃.
Высокая грузападымальнасць
- Трываласць на выгіб да 250–280 МПа, што значна вышэй, чым у кварцавых лапатак.
- Здольны апрацоўваць пласціны вялікага дыяметра (300 мм і больш).
Павялічаны тэрмін службы і мінімальнае тэхнічнае абслугоўванне
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), добра спалучаецца з пакрыццямі, атрыманымі метадам LPCVD.
- Змяншае расколіны і адслойванне, выкліканыя напружаннем, значна падаўжаючы цыклы чысткі і абслугоўвання.
Устойлівасць да карозіі і чысціня
- Выдатная ўстойлівасць да кіслот і шчолачаў.
- Шчыльная мікраструктура з адкрытай порыстасцю <0,1%, што мінімізуе ўтварэнне часціц і вызваленне прымешак.
Аўтаматызавана-сумяшчальны дызайн
- Стабільная геаметрыя папярочнага сячэння з высокай дакладнасцю памераў.
- Бездакорна інтэгруецца з рабатызаванымі сістэмамі загрузкі і разгрузкі пласцін, што дазваляе цалкам аўтаматызаваць вытворчасць.

Фізічныя і хімічныя ўласцівасці

Пункт	Адзінка	Дадзеныя
Максімальная тэмпература эксплуатацыі	℃	1380 год
Шчыльнасць	г/см³	3.04 – 3.08
Адкрытая параватасць	%	< 0,1
Трываласць на выгіб	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модуль пругкасці	Сярэдні бал	330 (20℃), 300 (1200℃)
Цеплаправоднасць	Вт/м·К	45 (1200℃)
Каэфіцыент цеплавога пашырэння	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Цвёрдасць па Вікерсу	HV2	≥ 2100
Устойлівасць да кіслот/шчолачаў	-	Выдатна

Стандартныя даўжыні:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Нестандартныя памеры даступныя па запыце

Прыкладанні

Паўправадніковая прамысловасць
- LPCVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы пры нізкім ціску)
- Дыфузійныя працэсы (фосфар, бор і г.д.)
- Тэрмічнае акісленне
Фотаэлектрычная прамысловасць
- Дыфузія і пакрыццё полікрэмніевых і монакрышталічных пласцін
- Высокатэмпературны адпал і пасівацыя
Іншыя палі
- Высокатэмпературныя агрэсіўныя асяроддзі
- Сістэмы дакладнага маніпулявання пласцінамі, якія патрабуюць працяглага тэрміну службы і нізкага ўзроўню забруджвання

Перавагі для кліентаў

Зніжэнне эксплуатацыйных выдаткаў– Большы тэрмін службы ў параўнанні з кварцавымі лапаткамі, што мінімізуе час прастою і частату замены.
Больш высокая ўраджайнасць– Вельмі нізкае забруджванне забяспечвае чысціню паверхні пласцін і зніжае ўзровень дэфектаў.
Будучыня гатовы– Сумяшчальнасць з вялікімі памерамі пласцін і паўправадніковымі працэсамі наступнага пакалення.
Павышаная прадукцыйнасць– Поўная сумяшчальнасць з рабатызаванымі сістэмамі аўтаматызацыі, што падтрымлівае вытворчасць вялікіх аб'ёмаў.

Часта задаваныя пытанні – кансольная лапатка з карбіду крэмнію

Пытанне 1: Што такое кансольная лапатка з карбіду крэмнію?
A: Гэта кампанент для падтрымкі і апрацоўкі пласцін, выраблены з рэакцыйна злучанага карбіду крэмнію (RBSiC). Ён шырока выкарыстоўваецца ў дыфузійных печах, LPCVD і іншых высокатэмпературных паўправадніковых і фотаэлектрычных працэсах.

Пытанне 2: Чаму варта выбраць карбід крэмнію, а не кварцавыя лапаткі?
A: У параўнанні з кварцавымі лапаткамі, лапаткі з карбіду крэмнію прапануюць:

Больш высокая механічная трываласць і грузападымальнасць
Палепшаная тэрмічная стабільнасць пры тэмпературах да 1380℃
Значна большы тэрмін службы і менш цыклаў тэхнічнага абслугоўвання
Меншы рызыка ўтварэння часціц і забруджвання
Сумяшчальнасць з большымі памерамі пласцін (300 мм і больш)

Пытанне 3: Якія памеры пласцін можа падтрымліваць кансольная лапатка SiC?
A: Стандартныя лапаткі даступныя для печаў памерам 2378 мм, 2550 мм і 2660 мм. Даступныя індывідуальныя памеры для падтрымкі пласцін памерам да 300 мм і больш.

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на распрацоўцы, вытворчасці і продажы высокатэхналагічных матэрыялаў спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.