Керамічны паддон з карбіду крэмнію, прысоска, пастаўка керамічнай трубкі з карбіду крэмнію, высокатэмпературнае спяканне, апрацоўка на заказ
Асноўныя характарыстыкі:
1. Керамічны паддон з карбіду крэмнію
- Высокая цвёрдасць і зносаўстойлівасць: цвёрдасць блізкая да алмаза і можа вытрымліваць механічны знос пры апрацоўцы пласцін на працягу доўгага часу.
- Высокая цеплаправоднасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння: хуткае рассейванне цяпла і стабільнасць памераў, што дазваляе пазбегнуць дэфармацыі, выкліканай цеплавым напружаннем.
- Высокая плоскасць і якасць паверхні: плоскасць паверхні дасягае мікроннага ўзроўню, што забяспечвае поўны кантакт паміж пласцінай і дыскам, памяншаючы забруджванне і пашкоджанні.
Хімічная стабільнасць: высокая каразійная ўстойлівасць, падыходзіць для вільготнай ачысткі і травлення ў вытворчасці паўправаднікоў.
2. Керамічная трубка з карбіду крэмнію
- Высокатэмпературная ўстойлівасць: можа працаваць пры высокіх тэмпературах вышэй за 1600°C на працягу доўгага часу, падыходзіць для паўправадніковых высокатэмпературных працэсаў.
Выдатная каразійная ўстойлівасць: устойлівая да кіслот, шчолачаў і розных хімічных растваральнікаў, падыходзіць для жорсткіх умоў працэсу.
- Высокая цвёрдасць і зносаўстойлівасць: супрацьстаяць эрозіі часціц і механічнаму зносу, падаўжаюць тэрмін службы.
- Высокая цеплаправоднасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння: хуткая цеплаправоднасць і стабільнасць памераў, што памяншае дэфармацыю або расколіны, выкліканыя цеплавым напружаннем.
Параметр прадукту：
Параметр керамічнага паддона з карбіду крэмнію:
| (Матэрыяльная маёмасць) | (Адзінка) | (sic) | |
| (Утрыманне SiC) | (вага)% | >99 | |
| (Сярэдні памер зерня) | мікрон | 4-10 | |
| (Шчыльнасць) | кг/дм3 | >3,14 | |
| (Відачная парознасць) | Vo1% | <0,5 | |
| (цвёрдасць па Вікерсу) | ВН 0,5 | Сярэдні бал | 28 |
| *() Трываласць на згіб* (тры балы) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Міцнасць на сціск) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модуль пругкасці) | 20ºC | Сярэдні бал | 420 |
| (Вязкасць разрушэння) | МПа/м⁻¹ | 3.5 | |
| (Цеплаправоднасць) | 20°C | Вт/(м*К) | 160 |
| (Супраціўленне) | 20°C | Ом·см | 106-108 |
(Каэфіцыент цеплавога пашырэння) | a(пакаёвая тэмпература**...80ºC) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Максімальная рабочая тэмпература) | °C | 1700 год | |
Параметр керамічнай трубкі з карбіду крэмнію:
| Прадметы | Індэкс |
| α-SIC | 99% мін. |
| Бачная парыстасць | 16% максімум |
| Аб'ёмная шчыльнасць | 2,7 г/см3 мін |
| Трываласць на выгіб пры высокай тэмпературы | 100 МПа мін. |
| Каэфіцыент цеплавога пашырэння | К-1 4,7x10 -6 |
| Каэфіцыент цеплаправоднасці (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Максімальная працоўная тэмпература | 1650ºC |
Асноўныя сферы прымянення:
1. Керамічная пласціна з карбіду крэмнію
- Рэзка і паліроўка пласцін: служыць апорнай платформай для забеспячэння высокай дакладнасці і стабільнасці падчас рэзкі і паліроўкі.
- Працэс літаграфіі: пласціна фіксуецца ў літаграфічнай машыне для забеспячэння высокай дакладнасці пазіцыянавання падчас экспазіцыі.
- Хіміка-механічная паліроўка (ХМП): выступае ў якасці апорнай платформы для паліравальных дыскаў, забяспечваючы раўнамерны ціск і размеркаванне цяпла.
2. Керамічная трубка з карбіду крэмнію
- Высокатэмпературная печная труба: выкарыстоўваецца для высокатэмпературнага абсталявання, такога як дыфузійная печ і акісляльная печ, для перавозкі пласцін для апрацоўкі пры высокай тэмпературы.
- Працэс CVD/PVD: у якасці апорнай трубкі ў рэакцыйнай камеры, устойлівай да высокіх тэмператур і агрэсіўных газаў.
- Аксэсуары для паўправадніковага абсталявання: для цеплаабменнікаў, газаправодаў і г.д., для павышэння эфектыўнасці рэгулявання тэмпературы абсталявання.
XKH прапануе поўны спектр паслуг па вырабе керамічных латкоў, прысосак і керамічных трубак з карбіду крэмнію. Керамічныя латкі і прысоскі з карбіду крэмнію XKH могуць быць выраблены ў адпаведнасці з патрабаваннямі кліента розных памераў, формаў і шурпатасці паверхні, а таксама падтрымліваюць спецыяльную апрацоўку пакрыцця, павышаюць зносаўстойлівасць і каразійную стойкасць. Для керамічных трубак з карбіду крэмнію XKH можа вырабляць розныя ўнутраныя і вонкавыя дыяметры, даўжыні і складаныя структуры (напрыклад, фігурныя або сітаватыя трубкі), а таксама забяспечваць паліроўку, антыакісляльнае пакрыццё і іншыя працэсы апрацоўкі паверхні. XKH гарантуе, што кліенты могуць у поўнай меры скарыстацца перавагамі керамічных вырабаў з карбіду крэмнію, каб задаволіць высокія патрабаванні такіх вытворчых галін, як паўправаднікі, святлодыёды і фотаэлектрыка.
Падрабязная дыяграма
