Керамічная керамічная паддон крэмній Керамічная керамічная труба для керамічнай трубкі Пастаўка высокай тэмпературы, заказная апрацоўка
Асноўныя асаблівасці:
1. Керамічны латок з карбіду крэмнію
- Высокая цвёрдасць і зносаўстойлівасць: цвёрдасць блізка да алмаза і можа вытрымліваць механічнае знос пры апрацоўцы пласцін на працягу доўгага часу.
- Высокая цеплаправоднасць і каэфіцыент нізкага цеплавога пашырэння: хуткае рассейванне цяпла і стабільнасць памераў, пазбягаючы дэфармацыі, выкліканай цеплавым напружаннем.
- Высокая плоскасць і аздабленне паверхні: плоскасць паверхні дасягае ўзроўню мікрон, забяспечваючы поўны кантакт паміж пласцінай і дыскам, зніжаючы забруджванне і пашкоджанне.
Хімічная ўстойлівасць: моцная каразійная ўстойлівасць, прыдатная для працэсаў ачысткі і тручэння ў вытворчасці паўправаднікоў.
2. Керамічная трубка крэмній -карбід
- Высокая тэмпературная ўстойлівасць: ён можа працаваць у высокіх тэмпературных умовах вышэй за 1600 ° С на працягу доўгага часу, падыходзіць для паўправадніковага працэсу высокай тэмпературы.
Выдатная ўстойлівасць да карозіі: устойлівая да кіслот, шчолачы і мноства хімічных растваральнікаў, прыдатны для жорсткіх умоў працэсу.
- Высокая цвёрдасць і зносаўстойлівасць: супрацьстаяць эрозіі часціц і механічным зносам, падоўжыць тэрмін службы.
- Высокая цеплаправоднасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння: хуткае правядзенне стабільнасці цяпла і вымярэння, зніжэнне дэфармацыі або парэпанне, выкліканае цеплавым напружаннем.
Параметр прадукту:
Параметр керамічнага латка з карбіду крэмнію:
(Матэрыяльная ўласцівасць) | (Блок) | (SSIC) | |
(Змест SIC) | (WT)% | > 99 | |
(Сярэдні памер збожжа) | мікрарон | 4-10 | |
(Шчыльнасць) | кг/dm3 | > 3.14 | |
(Відавочная сітаватасць) | VO1% | <0,5 | |
(Цвёрдасць Вікерса) | HV 0,5 | Балон | 28 |
*() Трываласць згінання* (тры кропкі) | 20ºC | МПА | 450 |
(Трываласць на сціск) | 20ºC | МПА | 3900 |
(Эластычны модуль) | 20ºC | Балон | 420 |
(Трываласць на разлом) | MPA/M '% | 3.5 | |
(Цеплаправоднасць) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
(Супраціў) | 20 ° ºC | Ом.cm | 106-108 |
(Каэфіцыент цеплавога пашырэння) | A (rt ** ... 80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Максімальная працоўная тэмпература) | oºc | 1700 |
Параметр керамічнай трубкі крэмнію:
Прадметы | Указальнік |
α-SIC | 99% мін |
Відавочная сітаватасць | 16% Макс |
Масавая шчыльнасць | 2,7 г/см3 мін |
Сіла выгібу пры высокай тэмпературы | 100 МПа мін |
Каэфіцыент цеплавога пашырэння | K -1 4,7x10 -6 |
Каэфіцыент цеплаправоднасці (1400ºC) | 24 w/mk |
Макс. Працоўная тэмпература | 1650ºC |
Асноўныя прыкладанні:
1. Керамічная пласціна з карбіду крэмнію
- Рэзка і паліроўка пласцін: служыць падшыпнікам для забеспячэння высокай дакладнасці і ўстойлівасці падчас рэзкі і паліроўкі.
- Працэс літаграфіі: пласціна фіксуецца ў машыне літаграфіі, каб забяспечыць высокую дакладнасць пазіцыянавання падчас экспазіцыі.
- Хімічная механічная паліроўка (CMP): дзейнічае як платформа падтрымкі для паліроўкі, забяспечваючы раўнамернае ціск і размеркаванне цяпла.
2. Керамічная трубка крэмній -карбід
- Труба печы з высокай тэмпературай: выкарыстоўваецца для абсталявання з высокай тэмпературай, напрыклад, дыфузійнай печы і акісляльнай печы, каб перанесці пласціны для лячэння высокай тэмпературы.
- Працэс ССЗ/ПВД: як падшыпнік у рэакцыйнай камеры, устойлівы да высокіх тэмператур і агрэсіўных газаў.
- Аксэсуары для паўправадніковага абсталявання: для цеплаабменнікаў, газавых трубаправодаў і г.д., для павышэння эфектыўнасці цеплавога кіравання абсталяваннем.
XKH прапануе поўны спектр карыстацкіх паслуг для керамічных латкоў з карбіду крэмнію, усмоктвальных кубкаў і керамічных труб з карбіду крэмнію. Керамічныя паддоны з карбіду крэмнію і прысоскі, XKH можна наладзіць у адпаведнасці з патрабаваннямі кліента розных памераў, формаў і шурпатасці паверхні, а таксама падтрымліваць спецыяльнае лячэнне пакрыцця, павышэнне ўстойлівасці да зносу і ўстойлівасць да карозіі; Для керамічных труб з карбіду крэмнію XKH можа наладзіць розныя ўнутраныя дыяметры, знешні дыяметр, даўжыню і складаную структуру (напрыклад, у форме трубкі або порыстай трубкі), а таксама забяспечыць паліроўку, антыаксідацыйнае пакрыццё і іншыя працэсы апрацоўкі паверхні. XKH гарантуе, што кліенты могуць у поўнай меры скарыстацца перавагамі прадукцыйнасці керамічных прадуктаў крэмнію для задавальнення патрабаванняў высокакласных вытворчых палёў, такіх як паўправаднікі, святлодыёды і фотаэлектрыкі.
Падрабязная схема



