Станок для рэзкі алмазнага дроту з карбіду крэмнія 4/6/8/12 цаляў апрацоўка зліткаў SiC

Станок для рэзкі алмазнага дроту з карбіду крэмнію 4/6/8/12 цаляў Апрацоўка зліткаў SiC Рэкамендаванае выява

Кароткае апісанне:

Станок для рэзкі з карбіду крэмнію з алмазным дротам - гэта своеасаблівае высокадакладнае абсталяванне для апрацоўкі зліткаў карбіду крэмнію (SiC), якое выкарыстоўвае тэхналогію алмазнай пілы з алмазным дротам (дыяметр лініі 0,1~0,3 мм) з дапамогай высокахуткаснага перамяшчэння зліткаў SiC для рэзкі некалькіх дротаў з карбідам крэмнію для дасягнення высокадакладнай падрыхтоўкі пласціны з невялікім пашкоджаннем. Абсталяванне шырока выкарыстоўваецца ў сілавых паўправадніках SiC (MOSFET/SBD), радыёчастотных прыладах (GaN-on-SiC) і апрацоўцы падкладкі оптаэлектронных прылад, з'яўляецца ключавым абсталяваннем у прамысловай ланцужку SiC.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Прынцып працы:

1. Фіксацыя злітка: злітак SiC (4H/6H-SiC) замацоўваецца на рэжучай платформе праз прыстасаванне для забеспячэння дакладнасці становішча (±0,02 мм).

2. Рух алмазнай лініі: алмазная лінія (гальванічныя алмазныя часціцы на паверхні) прыводзіцца ў рух сістэмай накіроўвалых колаў для высакахуткаснай цыркуляцыі (хуткасць лініі 10~30 м/с).

3. Рэжучая падача: злітак падаецца ўздоўж зададзенага кірунку, і алмазная лінія разразаецца адначасова з некалькімі паралельнымі лініямі (100~500 ліній), каб сфармаваць некалькі пласцін.

4. Астуджэнне і выдаленне габлюшкі: распыліце астуджальную вадкасць (дэіянізаваную ваду + дабаўкі) у зону рэзкі, каб паменшыць цеплавое пашкоджанне і выдаліць стружку.

Асноўныя параметры:

1. Хуткасць рэзкі: 0,2~1,0 мм/мін (у залежнасці ад напрамку крышталя і таўшчыні SiC).

2. Нацяжэнне шнура: 20 ~ 50 Н (занадта высокае, лёгка зламаць шнур, занадта нізкае ўплывае на дакладнасць рэзкі).

3. Таўшчыня пласціны: стандартная 350~500 мкм, пласціна можа дасягаць 100 мкм.

Асноўныя характарыстыкі:

(1) Дакладнасць рэзкі
Дапушчальнае адхіленне таўшчыні: ±5 мкм (@350 мкм пласціна), лепш, чым звычайная рэзка раствора (±20 мкм).

Шурпатасць паверхні: Ra<0,5 мкм (не патрабуецца дадатковае шліфаванне, каб паменшыць колькасць наступнай апрацоўкі).

Дэфармацыя: <10 мкм (паменшыць складанасць наступнай паліроўкі).

(2) Эфектыўнасць апрацоўкі
Шматрадковая рэзка: рэзка 100~500 кавалкаў за раз, павялічваючы вытворчую магутнасць у 3~5 разоў (у параўнанні з аднарадковай рэзкай).

Тэрмін службы лініі: алмазная лінія можа рэзаць 100~300 км SiC (у залежнасці ад цвёрдасці злітка і аптымізацыі працэсу).

(3) Апрацоўка з нізкім уронам
Паломка краю: <15 мкм (традыцыйная рэзка > 50 мкм), паляпшае выхад пласцін.

Падпавярхоўны пласт пашкоджанняў: <5 мкм (паменшыць выдаленне паліроўкі).

(4) Ахова навакольнага асяроддзя і эканоміка
Адсутнасць забруджвання растворам: зніжэнне выдаткаў на ўтылізацыю вадкасці ў параўнанні з рэзкай раствора.

Выкарыстанне матэрыялаў: страты пры рэзанні <100 мкм/ фрэза, эканомія сыравіны SiC.

Рэжучы эфект:

1. Якасць пласціны: адсутнасць макраскапічных расколін на паверхні, мала мікраскапічных дэфектаў (кантралюемае расцяжэнне дыслакацыі). Можна непасрэдна ўвайсці ў звяно грубай паліроўкі, скараціць паток працэсу.

2. Кансістэнцыя: адхіленне таўшчыні пласціны ў партыі складае <±3%, падыходзіць для аўтаматызаванай вытворчасці.

3. Дастасавальнасць: Падтрымка рэзкі зліткаў 4H/6H-SiC, сумяшчальная з токаправодным/паўізаляваным тыпам.

Тэхнічныя характарыстыкі:

Спецыфікацыя	Дэталі
Памеры (Д × Ш × У)	2500x2300x2500 або наладзіць
Дыяпазон памераў апрацоўчага матэрыялу	4, 6, 8, 10, 12 цаляў карбіду крэмнію
Шурпатасць паверхні	Ra≤0,3u
Сярэдняя хуткасць рэзкі	0,3 мм/мін
Вага	5,5т
Этапы налады працэсу рэзкі	≤30 крокаў
Шум абсталявання	≤80 дБ
Нацяжэнне сталёвага дроту	0~110N (0,25 нацяжэння дроту складае 45N)
Хуткасць сталёвага дроту	0~30 м/с
Агульная магутнасць	50 кВт
Дыяметр алмазнай дроту	≥0,18 мм
Тарцавая плоскасць	≤0,05 мм
Хуткасць рэзкі і ломкі	≤1% (за выключэннем чалавечых прычын, крамянёвага матэрыялу, лініі, тэхнічнага абслугоўвання і іншых прычын)

Паслугі XKH:

XKH забяспечвае поўны тэхналагічны сэрвіс станка для рэзкі з карбіду крэмнію з алмазным дротам, уключаючы выбар абсталявання (супастаўленне дыяметра дроту/хуткасці дроту), распрацоўку працэсу (аптымізацыя параметраў рэзкі), пастаўку расходных матэрыялаў (алмазны дрот, накіравальнае кола) і пасляпродажную падтрымку (абслугоўванне абсталявання, аналіз якасці рэзкі), каб дапамагчы кліентам дасягнуць высокага выхаду (>95%), недарагога масавага вытворчасці карбід-карбідных пласцін. Ён таксама прапануе індывідуальныя мадэрнізацыі (напрыклад, ультратонкую рэзку, аўтаматызаваную загрузку і разгрузку) з тэрмінам выканання 4-8 тыдняў.