Станок для алмазнай рэзкі карбіду крэмнію з алмазным дротам, апрацоўка зліткаў SiC 4/6/8/12 цаляў

Станок для алмазнай рэзкі карбіду крэмнію з апрацоўкай зліткаў SiC 4/6/8/12 цаляў. Выява.

Кароткае апісанне:

Станок для алмазнай рэзкі карбіду крэмнію (SiC) — гэта высокадакладнае абсталяванне для рэзкі зліткаў карбіду крэмнію (SiC). Яно выкарыстоўвае тэхналогію алмазнай дроцяной пілы і дазваляе хутка рухацца алмазным дротам (дыяметр лініі 0,1~0,3 мм) для шматдротавай рэзкі зліткаў SiC, што дазваляе дасягнуць высокай дакладнасці і нізкай ступені пашкоджання пласцін. Абсталяванне шырока выкарыстоўваецца ў апрацоўцы падложак для сілавых паўправаднікоў SiC (MOSFET/SBD), радыёчастотных прылад (GaN-на-SiC) і оптаэлектронных прылад, з'яўляецца ключавым абсталяваннем у ланцужку SiC прамысловасці.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Прынцып працы:

1. Фіксацыя зліткаў: злітак з карбіду крэмнію (4H/6H-SiC) фіксуецца на рэжучай платформе з дапамогай прыстасавання для забеспячэння дакладнасці пазіцыянавання (±0,02 мм).

2. Рух алмазнай лініі: алмазная лінія (гальванізаваныя алмазныя часціцы на паверхні) прыводзіцца ў рух сістэмай накіроўвалых колаў для высокай хуткасці цыркуляцыі (хуткасць лініі 10~30 м/с).

3. Падача для рэзання: злітак падаецца ўздоўж зададзенага кірунку, і алмазная лінія адначасова рэжацца некалькімі паралельнымі лініямі (100~500 ліній) для ўтварэння некалькіх пласцін.

4. Астуджэнне і выдаленне стружкі: распыліце астуджальную вадкасць (дэіянізаваную ваду + дабаўкі) у зоне рэзання, каб паменшыць пашкоджанне ад нагрэву і выдаліць стружку.

Асноўныя параметры:

1. Хуткасць рэзання: 0,2~1,0 мм/мін (у залежнасці ад кірунку крышталя і таўшчыні SiC).

2. Нацяжэнне лёскі: 20~50 Н (занадта высокае лёгка парваць лёску, занадта нізкае ўплывае на дакладнасць рэзкі).

3. Таўшчыня пласціны: стандартная 350~500 мкм, пласціна можа дасягаць 100 мкм.

Асноўныя характарыстыкі:

(1) Дакладнасць рэзкі
Дапушчальная таўшчыня: ±5 мкм (@пласціна 350 мкм), лепш, чым пры звычайнай рэзцы растворам (±20 мкм).

Шурпатасць паверхні: Ra <0,5 мкм (не патрабуецца дадатковае шліфаванне для памяншэння аб'ёму наступнай апрацоўкі).

Дэфармацыя: <10 мкм (зніжае цяжкасці наступнай паліроўкі).

(2) Эфектыўнасць апрацоўкі
Шматлінейная рэзка: рэзка 100~500 дэталяў адначасова, павелічэнне вытворчых магутнасцей у 3~5 разоў (у параўнанні з адналінейнай рэзкай).

Тэрмін службы лініі: алмазная лінія можа рэзаць 100~300 км SiC (у залежнасці ад цвёрдасці злітка і аптымізацыі працэсу).

(3) Апрацоўка з нізкім узроўнем пашкоджанняў
Паломка краю: <15 мкм (традыцыйная рэзка >50 мкм), паляпшае выхад пласціны.

Падпавярхоўны пашкоджаны пласт: <5 мкм (памяншае выдаленне паліроўкі).

(4) Ахова навакольнага асяроддзя і эканоміка
Адсутнасць забруджвання раствора: Зніжэнне выдаткаў на ўтылізацыю адходаў у параўнанні з рэзкай раствора.

Выкарыстанне матэрыялу: страты пры рэзанні <100 мкм/разец, эканомія сыравіны SiC.

Эфект рэзкі:

1. Якасць пласціны: адсутнасць макраскапічных расколін на паверхні, мала мікраскапічных дэфектаў (кантраляванае пашырэнне дыслакацый). Магчымасць непасрэднага ўваходу ў звяно грубай паліроўкі, скарачэнне тэхналагічнага працэсу.

2. Кансістэнцыя: адхіленне таўшчыні пласціны ў партыі складае <±3%, што падыходзіць для аўтаматызаванай вытворчасці.

3. Прыдатнасць: Падтрымка рэзкі зліткаў 4H/6H-SiC, сумяшчальнасць з токаправодным/паўізаляваным тыпам.

Тэхнічная спецыфікацыя：

Спецыфікацыя	Падрабязнасці
Памеры (Д × Ш × В)	2500x2300x2500 або наладзіць
Дыяпазон памераў апрацоўванага матэрыялу	4, 6, 8, 10, 12 цаляў карбіду крэмнію
Шурпатасць паверхні	Ra≤0,3 мкм
Сярэдняя хуткасць рэзання	0,3 мм/мін
Вага	5,5 т
Этапы налады працэсу рэзкі	≤30 крокаў
Шум абсталявання	≤80 дБ
Нацяжэнне сталёвага дроту	0~110 Н (нацяжэнне дроту 0,25 — 45 Н)
Хуткасць сталёвага дроту	0~30 м/с
Агульная магутнасць	50 кВт
Дыяметр алмазнага дроту	≥0,18 мм
Канчатковая плоскасць	≤0,05 мм
Хуткасць рэзання і разбурэння	≤1% (за выключэннем прычын, звязаных з чалавекам, крэмніевым матэрыялам, лініяй, абслугоўваннем і іншымі прычынамі)

Паслугі XKH:

Кампанія XKH прадастаўляе поўны спектр паслуг па рэзцы алмазным дротам з карбіду крэмнію, уключаючы выбар абсталявання (падбор дыяметра дроту/хуткасці дроту), распрацоўку працэсу (аптымізацыя параметраў рэзкі), пастаўку расходных матэрыялаў (алмазны дрот, накіроўвалы круг) і пасляпродажную падтрымку (абслугоўванне абсталявання, аналіз якасці рэзкі), каб дапамагчы кліентам дасягнуць высокай прадукцыйнасці (>95%), нізкай кошту масавай вытворчасці пласцін SiC. Яна таксама прапануе індывідуальныя мадэрнізацыі (напрыклад, ультратонкая рэзка, аўтаматызаваная загрузка і разгрузка) з тэрмінам выканання 4-8 тыдняў.