Вафельная лодка з карбіду крэмнію (SiC)

Кароткае апісанне:

Лодка для пласцін з карбіду крэмнію (SiC) — гэта паўправадніковы тэхналагічны носьбіт, выраблены з высакаякаснага матэрыялу SiC, прызначаны для ўтрымання і транспарціроўкі пласцін падчас крытычных высокатэмпературных працэсаў, такіх як эпітаксія, акісленне, дыфузія і адпал.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Агляд кварцавага шкла

З хуткім развіццём сілавых паўправаднікоў і прылад з шырокай забароненай зонай, традыцыйныя кварцавыя лодкі сутыкаюцца з такімі абмежаваннямі, як дэфармацыя пры высокіх тэмпературах, моцнае забруджванне часціцамі і кароткі тэрмін службы. Ложачкі на пласцінах SiC, якія адрозніваюцца выдатнай тэрмічнай стабільнасцю, нізкім узроўнем забруджвання і падоўжаным тэрмінам службы, усё часцей замяняюць кварцавыя лодкі і становяцца пераважным выбарам у вытворчасці прылад з SiC.

Асноўныя характарыстыкі

1. Матэрыяльныя перавагі

Выраблены з высокачыстага SiC звысокая цвёрдасць і трываласць.
Тэмпература плаўлення вышэй за 2700°C, значна вышэй, чым у кварца, што забяспечвае доўгатэрміновую стабільнасць у экстрэмальных умовах.

2. Цеплавыя ўласцівасці

Высокая цеплаправоднасць для хуткай і раўнамернай перадачы цяпла, мінімізуючы напружанне пласціны.
Каэфіцыент цеплавога пашырэння (КТР) дакладна адпавядае падкладкам SiC, што памяншае выгіб і расколіны на пласцінах.

3. Хімічная стабільнасць

Стабільны пры высокіх тэмпературах і розных атмасферах (H₂, N₂, Ar, NH₃ і г.д.).
Выдатная ўстойлівасць да акіслення, прадухіляе раскладанне і ўтварэнне часціц.

4. Прадукцыйнасць працэсу

Гладкая і шчыльная паверхня памяншае асыпанне часціц і забруджванне.
Захоўвае стабільнасць памераў і грузападымальнасць пасля працяглага выкарыстання.

5. Эфектыўнасць выдаткаў

Тэрмін службы ў 3–5 разоў даўжэйшы, чым у кварцавых лодак.
Меншая частата тэхнічнага абслугоўвання, што скарачае час прастою і выдаткі на замену.

Прыкладанні

Эпітаксія з карбіду крэмніюПадтрымка 4-цалевых, 6-цалевых і 8-цалевых падложак з карбіду крэмнію падчас эпітаксіяльнага росту пры высокай тэмпературы.
Выраб сілавых прыладІдэальна падыходзіць для SiC MOSFET, дыёдаў з бар'ерам Шоткі (SBD), IGBT і іншых прылад.
Тэрмічная апрацоўкаПрацэсы адпалу, нітрыдавання і карбанізацыі.
Акісленне і дыфузіяСтабільная платформа для акіслення і дыфузіі пры высокай тэмпературы.

Тэхнічныя характарыстыкі

Пункт	Спецыфікацыя
Матэрыял	Высокачысты карбід крэмнію (SiC)
Памер вафлі	4 цалі / 6 цаляў / 8 цаляў (наладжваецца)
Максімальная рабочая тэмпература.	≤ 1800°C
КТР цеплавога пашырэння	4,2 × 10⁻⁶ /K (блізка да падкладкі SiC)
Цеплаправоднасць	120–200 Вт/м·К
Шурпатасць паверхні	Ra < 0,2 мкм
Паралелізм	±0,1 мм
Тэрмін службы	≥ 3× даўжэйшыя за кварцавыя лодкі

Параўнанне: кварцавая лодка супраць лодкі з карбіду крэмнію

Вымярэнне	Кварцавая лодка	Лодка з карбіду крэмнію
Тэмпературная ўстойлівасць	≤ 1200°C, дэфармацыя пры высокай тэмпературы.	≤ 1800°C, тэрмаўстойлівы
Супадзенне CTE з SiC	Вялікая разыходнасць, рызыка стрэсу пласціны	Блізкае супадзенне, памяншае расколіны на пласцінах
Забруджванне часціцамі	Высокі, утварае прымешкі	Нізкая, гладкая і шчыльная паверхня
Тэрмін службы	Кароткая, частая замена	Доўгі тэрмін службы, у 3–5 разоў даўжэйшы
Падыходны працэс	Звычайная крэмніевая эпітаксія	Аптымізаваны для эпітаксіі SiC і сілавых прылад

Часта задаваныя пытанні – Карбід-крэмніевыя (SiC) пласцінныя лодкі

1. Што такое лодка з карбіду крэмнію (SiC)?

Лодка для пласцін з карбіду крэмнію (SIC) — гэта паўправадніковы тэхналагічны носьбіт, выраблены з высакаякаснага карбіду крэмнію. Ён выкарыстоўваецца для ўтрымання і транспарціроўкі пласцін падчас высокатэмпературных працэсаў, такіх як эпітаксія, акісленне, дыфузія і адпал. У параўнанні з традыцыйнымі кварцавымі лодкамі, лодкі для пласцін з карбіду крэмнію забяспечваюць найлепшую тэрмічную стабільнасць, меншае забруджванне і больш працяглы тэрмін службы.

2. Чаму варта выбраць лодкі з карбіду крэмнію, а не кварцавыя лодкі?

Устойлівасць да больш высокіх тэмпературСтабільны да 1800°C у параўнанні з кварцам (≤1200°C).
Лепшае супадзенне CTEБлізка да падкладак SiC, што мінімізуе напружанне і расколіны на пласцінах.
Меншае ўтварэнне часціцГладкая, шчыльная паверхня памяншае забруджванне.
Большы тэрмін службыУ 3–5 разоў даўжэйшыя за кварцавыя лодкі, што зніжае кошт эксплуатацыі.

3. Якія памеры пласцін могуць падтрымліваць лодкі з карбідам крэмнію?

Мы прапануем стандартныя дызайны для4-цалевы, 6-цалевы і 8-цалевыпласціны з поўнай магчымасцю налады ў адпаведнасці з патрэбамі кліентаў.

4. У якіх працэсах звычайна выкарыстоўваюцца лодкі з карбіду крэмнію (SiC)?

Эпітаксіяльны рост SiC
Вытворчасць паўправадніковых прылад (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Высокатэмпературны адпал, нітрыдацыя і карбанізацыя
Працэсы акіслення і дыфузіі

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на распрацоўцы, вытворчасці і продажы высокатэхналагічных матэрыялаў спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.