Шкляныя падкладкі TGV, штампоўка 12-цалевых пласцін

Шкляныя падкладкі лепш працуюць з пункту гледжання цеплавых уласцівасцей, фізічнай стабільнасці, больш устойлівыя да цяпла і менш схільныя да дэфармацыі з-за высокіх тэмператур;

Акрамя таго, унікальныя электрычныя ўласцівасці шклянога стрыжня дазваляюць знізіць дыэлектрычныя страты, што дазваляе атрымліваць больш выразны сігнал і перадаваць магутнасць. У выніку страты магутнасці падчас перадачы сігналу змяншаюцца, і агульная эфектыўнасць чыпа натуральным чынам павышаецца. Таўшчыня падложкі са шклянога стрыжня можа быць паменшана прыкладна ўдвая ў параўнанні з пластыкам ABF, а патанчэнне паляпшае хуткасць перадачы сігналу і энергаэфектыўнасць.

Тэхналогія фарміравання адтулін TGV:

Метад лазернага травлення выкарыстоўваецца для індукавання бесперапыннай зоны дэнатурацыі з дапамогай імпульснага лазера, а затым апрацаванае лазерам шкло змяшчаюць у раствор плавікавай кіслаты для травлення. Хуткасць травлення шкла дэнатураванай зоны ў плавікавай кіслаце вышэйшая, чым у недэнатураванага шкла, што прыводзіць да ўтварэння скразных адтулін.

Запаўненне TGV:

Спачатку робяцца глухія адтуліны для TGV. Па-другое, пачатковы пласт наносіцца ўнутр глухой адтуліны TGV метадам фізічнага асаджэння з паравой фазы (PVD). Па-трэцяе, гальванізацыйнае пакрыццё знізу ўверх дазваляе дасягнуць бясшвоўнага запаўнення TGV; нарэшце, шляхам часовага злучэння, шліфавання, хіміка-механічнай паліроўкі (CMP), аголення медзі і адлучэння, фармуецца запоўненая металам пераносная пласціна TGV.