Шкляныя падкладкі TGV 12-цалёвая пласціна Штампоўка шкла
Шкляныя падкладкі працуюць лепш з пункту гледжання цеплавых уласцівасцей, фізічнай стабільнасці, больш тэрмаўстойлівыя і менш схільныя да дэфармацыі або дэфармацыі з-за высокіх тэмператур;
Акрамя таго, унікальныя электрычныя ўласцівасці шклянога стрыжня дазваляюць знізіць дыэлектрычныя страты, дазваляючы больш выразны сігнал і перадачу энергіі. У выніку страты магутнасці падчас перадачы сігналу зніжаюцца, а агульная эфектыўнасць чыпа натуральным чынам павышаецца. Таўшчыню шкляной падкладкі ядра можна паменшыць прыкладна ўдвая ў параўнанні з пластыкам ABF, а станчэнне паляпшае хуткасць перадачы сігналу і энергаэфектыўнасць.
Тэхналогія фармавання адтулін ТГВ:
Метад лазернага тручэння выкарыстоўваецца для стварэння бесперапыннай зоны дэнатурацыі з дапамогай імпульснага лазера, а затым апрацаванае лазерам шкло змяшчаецца ў раствор плавікавай кіслаты для тручэння. Хуткасць тручэння шкла зоны дэнатурацыі ў плавікадароднай кіслаце вышэй, чым у недэнатураванага шкла для адукацыі скразных адтулін.
Запаўненне TGV:
Спачатку робяцца глухія адтуліны TGV. Па-другое, затравочны пласт быў нанесены ўнутры глухой адтуліны TGV шляхам фізічнага нанясення з паравай фазы (PVD). Па-трэцяе, гальваніка знізу ўверх дасягае бясшвоўнага запаўнення TGV; Нарэшце, праз часовае склейванне, зваротнае шліфаванне, хіміка-механічнае паліраванне (CMP), уздзеянне медзі, раз'яднанне, фарміраванне напоўненай металам перадачы TGV.