Звышдакладная платформа з паветраным падшыпнікам з карбіду крэмнію

Звышдакладны пнеўматычны падшыпнік з карбіду крэмнію (SiC) на выяве

Кароткае апісанне:

З пастаянным развіццём паўправадніковай прамысловасці, абсталяванне для апрацоўкі і кантролю патрабуе ўсё больш высокай прадукцыйнасці. Абапіраючыся на шырокі вопыт у галіне кіравання рухам і пазіцыянавання на нанаметровым узроўні, мы распрацавалі планарную двухвосевую звышдакладную платформа на паветраных падшыпніках тыпу H.

Дашліце нам ліст

Асаблівасці

Падрабязная дыяграма

Агляд

Распрацаваная з выкарыстаннем керамічнай структуры з карбіду крэмнію (SiC), аптымізаванай метадам канчатковых элементаў, і тэхналогіі кампенсаваных паветраных падшыпнікаў, платформа забяспечвае выдатную дакладнасць, калянасць і дынамічны водгук. Яна ідэальна падыходзіць для:

Апрацоўка і кантроль паўправаднікоў
Мікра/нанавытворчасць і метралогія
Нанаметровая рэзка і паліроўка на ляту
Высокахуткаснае дакладнае сканаванне

Асноўныя характарыстыкі

Напраўляльная з паветраных падшыпнікаў SiCдля звышвысокай калянасці і дакладнасці
Высокая дынамікахуткасць да 1 м/с, паскарэнне да 4 g, хуткае ссяданне
Двайны прывад партальнай восі Yзабяспечвае высокую грузападымальнасць і стабільнасць
Параметры кадавальнікааптычная рашотка або лазерны інтэрферометр
Дакладнасць пазіцыянавання±0,15 мкм;паўтаральнасць±75 нм
Аптымізаваная пракладка кабеляўдля чыстага дызайну і доўгатэрміновай надзейнасці
Наладжвальныя канфігурацыідля патрэб канкрэтнага прыкладання

Звышдакладная канструкцыя і бескантактавая архітэктура прамога прывада

Керамічная рамка з карбіду крэмнію: ~5× большая калянасць, чым у алюмініевага сплаву, і ~5× меншае цеплавое пашырэнне, што забяспечвае стабільнасць на высокай хуткасці і цеплавую ўстойлівасць.
Кампенсаваны паветраны падшыпнікЗапатэнтаваная канструкцыя павышае калянасць, грузападымальнасць і стабільнасць руху.
Дынамічная прадукцыйнасцьПадтрымлівае хуткасць 1 м/с і паскарэнне 4 g, ідэальна падыходзіць для высокапрадукцыйных працэсаў.
Беспраблемная інтэграцыяСумяшчальны з сістэмамі вібраізаляцыі, паваротнымі платформамі, модулямі нахілу і платформамі для апрацоўкі пласцін.
Кіраванне кабеляміКантраляваны радыус выгібу мінімізуе нагрузку для падаўжэння тэрміну службы.

Бесстрыжневы лінейны рухавікПлыўны рух без неабходнасці ўдасканалення.
Шматматорны прывадРазмяшчэнне рухавіка ў плоскасці нагрузкі паляпшае прамалінейнасць, роўнасць і вуглавую дакладнасць.
Цеплавая ізаляцыяРухавікі ізаляваныя ад канструкцыі сцэны; для цыклаў высокай нагрузкі магчыма паветранае або вадзяное астуджэнне.

Тэхнічныя характарыстыкі

Мадэль	400-400	500-500	600-600
Сякеры	X (сканаванне) / Y (крок)	X (сканаванне) / Y (крок)	X (сканаванне) / Y (крок)
Ход (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Дакладнасць (мкм)	±0,15	±0,2	±0,2
Паўтаральнасць (нм)	±75	±100	±100
Разрозненне (нм)	0,3	0,3	0,3
Максімальная хуткасць (м/с)	1	1	1
Паскарэнне (g)	4	4	4
Прамалінейнасць (мкм)	±0,2	±0,3	±0,4
Стабільнасць (нм)	±5	±5	±5
Максімальная нагрузка (кг)	20	20	20
Тангаж/Крэн/Рысканне (дугавая секунда)	±1	±1	±1

Умовы выпрабаванняў:

Падача паветра: чыстае, сухое; кропка расы ≤ 0°F; фільтрацыя часціц ≤ 0,25 мкм; або 99,99% азоту.
Дакладнасць вымярэнняў: 25 мм вышэй за цэнтр прадметнага стала пры тэмпературы 20±1 °C і адноснай вільготнасці 40–60%.

Прыкладанні

Паўправадніковая літаграфія, кантроль і апрацоўка пласцін
Мікра/нанавытворчасць і дакладная метралогія
Вытворчасць высакаякаснай оптыкі і інтэрфераметрыя
Аэракасмічныя і перадавыя навуковыя даследаванні

Часта задаваныя пытанні – платформа з карбіду крэмнію для паветраных падшыпнікаў

1. Што такое паветрана-носісты этап?

Пнеўматычная платформа выкарыстоўвае тонкую плёнку сціснутага паветра паміж платформай і накіроўвалай для забеспячэннябез трэння, без зносу і звышплыўны рухУ адрозненне ад звычайных механічных падшыпнікаў, ён ліквідуе заедзенне, забяспечвае дакладнасць на нанаметровым узроўні і падтрымлівае доўгатэрміновую надзейнасць.

2. Чаму для вырабу сцэны выкарыстоўваецца карбід крэмнію (SiC)?

Высокая калянасць: ~5× больш, чым у алюмініевага сплаву, што мінімізуе дэфармацыю падчас дынамічнага руху.
Нізкае цеплавое пашырэнне: ~5× ніжэй, чым у алюмінія, захоўваючы дакладнасць пры перападах тэмпературы.
ЛёгкіМеншая шчыльнасць у параўнанні са сталлю, што дазваляе працаваць на высокай хуткасці і з высокім паскарэннем.
Выдатная стабільнасцьВыдатнае дэмпфіраванне і калянасць для звышдакладнага пазіцыянавання.

3. Ці патрабуецца змазка або тэхнічнае абслугоўванне сцэны?

Не патрабуецца традыцыйная змазка, бо ёсцьбез механічнага кантактуРэкамендаванае тэхнічнае абслугоўванне ўключае:

Пастаўкачыстае, сухое сціснутае паветра або азот
Перыядычная праверка фільтраў і асушальнікаў
Маніторынг кабеляў і сістэм астуджэння

4. Якія патрабаванні да падачы паветра?

Кропка расы: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Фільтрацыя часціц: ≤ 0,25 мкм
Чыстае, сухое паветра або азот чысцінёй 99,99%
Стабільны ціск з мінімальнымі ваганнямі

Пра нас

Кампанія XKH спецыялізуецца на распрацоўцы, вытворчасці і продажы высокатэхналагічных матэрыялаў спецыяльнага аптычнага шкла і новых крышталічных матэрыялаў. Наша прадукцыя падыходзіць для аптычнай электронікі, бытавой электронікі і ваеннай прамысловасці. Мы прапануем аптычныя кампаненты з сапфіра, вечкі для лінзаў мабільных тэлефонаў, кераміку, LT, карбід крэмнію SIC, кварц і паўправадніковыя крышталічныя пласціны. Валодаючы кваліфікаванымі ведамі і сучасным абсталяваннем, мы дасягаем поспехаў у апрацоўцы нестандартнай прадукцыі, імкнучыся стаць вядучым высокатэхналагічным прадпрыемствам у галіне оптаэлектронных матэрыялаў.