100 мм 4 цалі GaN на сапфіравай эпітаксіяльнай пласціне з нітрыду галію

(1) Высокая тэмпература выпечкі, сапфіравую падкладку спачатку награваюць да 1050 ℃ у атмасферы вадароду, мэта складаецца ў тым, каб ачысціць паверхню падкладкі;

(2) Калі тэмпература падкладкі апускаецца да 510 ℃, на паверхню сапфіравай падкладкі наносіцца нізкатэмпературны буферны пласт GaN/AlN таўшчынёй 30 нм;

(3) Тэмпература павышаецца да 10 ℃, уводзяць рэакцыйны газ аміяк, трыметылгалій і сілан, адпаведна кантралююць адпаведную хуткасць патоку, і вырошчваюць легіраваны крэмніем GaN N-тыпу таўшчынёй 4 мкм;

(4) Рэакцыйны газ трыметыл алюмінія і трыметыл галію быў выкарыстаны для падрыхтоўкі кантынентаў N-тыпу A⒑, легаваных крэмніем, таўшчынёй 0,15 мкм;

(5) 50-нм InGaN, легіраваны цынкам, быў падрыхтаваны шляхам увядзення трыметылгалію, трыметыліндыя, дыэтылцынку і аміяку пры тэмпературы 800 ℃ і рэгулявання розных хуткасцей патоку адпаведна;

(6) Тэмпературу павялічылі да 1020 ℃, увялі трыметылалюміній, трыметылгалій і біс (цыклапентадыеніл)магній для падрыхтоўкі 0,15 мкм Mg, легаванага P-тыпу AlGaN, і 0,5 мкм Mg, легаванага P-тыпу G, глюкозы крыві;

(7) Высакаякасная плёнка GaN Sibuyan тыпу P была атрымана шляхам адпалу ў атмасферы азоту пры 700 ℃;

(8) Пратручванне паверхні G-стазісу P-тыпу, каб выявіць паверхню G-стазісу N-тыпу;

(9) Выпарэнне кантактных пласцін Ni/Au на паверхні p-GaNI, выпарэнне кантактных пласцін △/Al на паверхні ll-GaN з адукацыяй электродаў.