150 мм 200 мм 6 цаляў 8 цаляў GaN на крэмніевай эпітаксіяльнай пласціне з нітрыду галію

Кароткае апісанне:

6-цалевая пласціна GaN Epi-layer - гэта высакаякасны паўправадніковы матэрыял, які складаецца з слаёў нітрыду галію (GaN), вырашчаных на крамянёвай падкладцы. Матэрыял валодае выдатнымі электроннымі транспартнымі ўласцівасцямі і ідэальна падыходзіць для вырабу магутных і высокачашчынных паўправадніковых прыбораў.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Спосаб вырабу

Вытворчы працэс уключае вырошчванне слаёў GaN на сапфіравай падкладцы з выкарыстаннем перадавых метадаў, такіх як металаарганічнае хімічнае асаджэнне з паравой фазы (MOCVD) або малекулярна-прамянёвая эпітаксія (MBE). Працэс нанясення ажыццяўляецца ў кантраляваных умовах для забеспячэння высокай якасці крышталя і аднастайнай плёнкі.

Прымяненне 6-цалёвага GaN-On-Sapphire: 6-цалевыя чыпы з сапфіравай падкладкай шырока выкарыстоўваюцца ў мікрахвалевай сувязі, радыёлакацыйных сістэмах, бесправадных тэхналогіях і оптаэлектроніцы.

Некаторыя распаўсюджаныя прыкладанні ўключаюць

1. ВЧ-ўзмацняльнік магутнасці

2. Індустрыя святлодыёднага асвятлення

3. Абсталяванне бесправадной сеткі сувязі

4. Электронныя прылады ў асяроддзі з высокай тэмпературай

5. Оптыка-электронныя прылады

Тэхнічныя характарыстыкі вырабаў

- Памер: дыяметр падкладкі складае 6 цаляў (каля 150 мм).

- Якасць паверхні: паверхня была тонка адпаліравана, каб забяспечыць выдатную якасць люстэрка.

- Таўшчыня: таўшчыню пласта GaN можна наладзіць у адпаведнасці з канкрэтнымі патрабаваннямі.

- Упакоўка: падкладка старанна запакаваная антыстатычнымі матэрыяламі, каб прадухіліць пашкоджанне падчас транспарціроўкі.

- Краі пазіцыянавання: падкладка мае спецыяльныя краю пазіцыянавання, якія палягчаюць выраўноўванне і працу падчас падрыхтоўкі прылады.

- Іншыя параметры: Канкрэтныя параметры, такія як тонкасць, удзельнае супраціўленне і канцэнтрацыя допінгу, можна рэгуляваць у адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка.

Дзякуючы выдатным уласцівасцям матэрыялу і разнастайным прымяненням, 6-цалевыя пласціны з сапфіравай падкладкай з'яўляюцца надзейным выбарам для распрацоўкі высокапрадукцыйных паўправадніковых прылад у розных галінах прамысловасці.

Субстрат	6” 1 мм <111> Si р-тыпу	6” 1 мм <111> Si р-тыпу
Epi ThickAvg	~5 мкм	~7 мкм
Epi ThickUnif	<2%	<2%
Лук	+/-45 мкм	+/-45 мкм
Крэкінг	<5 мм	<5 мм
Вертыкальны БВ	>1000В	>1400В
HEMT Al%	25-35%	25-35%
HEMT ThickAvg	20-30 нм	20-30 нм
Insitu SiN Cap	5-60 нм	5-60 нм
2DEG канц.	~10¹³cm^-2	~10¹³cm^-2
Мабільнасць	~2000см²/ супраць (<2%)	~2000см²/ супраць (<2%)
Рш	<330 Ом/кв (<2%)	<330 Ом/кв (<2%)